公开(公告)号：CN108169516B

公开(公告)日：2022-01-25

申请号：CN201711263648.8

申请日：2017-12-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木暮翔太

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本申请公开了物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。该物理量传感器包括：基部；配线，配置于所述基部；支撑部，包括接合于所述基部的第一接合部及接合于所述配线的第二接合部；悬架部，连接于所述支撑部；以及电极指，支撑于所述悬架部，其中，所述支撑部包括第一伸出部，该第一伸出部位于所述第一接合部和所述悬架部之间，与所述基部分开。

公开(公告)号：CN106338281B

公开(公告)日：2019-10-29

申请号：CN201610509140.0

申请日：2016-06-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木暮翔太 ,  田中悟

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明提供一种具有优异的温度特性的物理量传感器，并提供一种具备该物理量传感器的电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器(1)具备可动质量部(32)，其具有第一可动电极部(322a)和第二可动电极部(322b)，所述第一可动电极部(322a)具有与第一固定电极部(213a)对置的部分，所述第二可动电极部(322b)具有与第二固定电极部(213b)对置的部分，并且所述可动质量部(32)在俯视观察时呈包围第一固定电极侧固定部(21a)、第二固定电极侧固定部(21b)、第一可动电极侧固定部(31a)以及第二可动电极侧固定部(31b)的形状。

公开(公告)号：CN106338281A

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201610509140.0

申请日：2016-06-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木暮翔太 ,  田中悟

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明提供一种具有优异的温度特性的物理量传感器，并提供一种具备该物理量传感器的电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器部(322a)和第二可动电极部(322b)，所述第一可动电极部(322a)具有与第一固定电极部(213a)对置的部分，所述第二可动电极部(322b)具有与第二固定电极部(213b)对置的部分，并且所述可动质量部(32)在俯视观察时呈包围第一固定电极侧固定部(21a)、第二固定电极侧固定部(21b)、第一可动电极侧固定部(31a)以及第二可动电极侧固定部(31b)的形状。(1)具备可动质量部(32)，其具有第一可动电极

公开(公告)号：CN115494261A

公开(公告)日：2022-12-20

申请号：CN202210668710.6

申请日：2022-06-14

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木暮翔太 ,  松浦由幸

IPC: G01P15/02

Abstract: 本发明提供惯性传感器及惯性测量装置，能够抑制面内旋转动作。惯性传感器(1)是在将相互正交的三个轴设为X轴、Y轴及Z轴时，检测基于所述Z轴上的位移的物理量的惯性传感器(1)，具备：基板(11)以及可动体(31)，所述可动体(31)固定于基板(11)，绕沿X轴的摆动轴(P)摆动，且具有相互对置的两个平面(31a、31b)及将它们之间连起来的侧面(31c)，可动体(31)具有相对于摆动轴(P)持预定的角度而配置的第一延伸部(41)以及与第一延伸部(41)的侧面(31c)对置而配置的第二延伸部(42)。

公开(公告)号：CN106338620B

公开(公告)日：2020-09-22

申请号：CN201610514759.0

申请日：2016-07-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木暮翔太

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种物理量的检测精度较优异的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：底基板(2)；元件片(4)，其被接合在底基板(2)上。此外，元件片(4)具有：固定部(481)、(491)，其被固定在底基板(2)上；第一固定电极指(483)，其被固定部(481)支承；第二固定电极指(493)，其被固定部(491)支承；固定部(41)，其位于固定部(481)、(491)之间，且被固定在底基板(2)上；可动部(42)，其能够相对于固定部(41)而进行位移；弹性部(43)，其对固定部(41)与可动部(42)进行连结；第一可动电极指(423)，其被可动部(42)支承，且与第一固定电极指(483)对置配置；第二可动电极指(424)，其被可动部(42)支承，且与第二固定电极指(493)对置配置。

公开(公告)号：CN106441259B

公开(公告)日：2020-03-24

申请号：CN201610463385.4

申请日：2016-06-23

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木暮翔太 ,  田中悟

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明提供具有优异的温度特性的物理量传感器以及具备该物理量传感器的电子设备及移动体。物理量传感器具备：可动电极侧固定部；具有第一固定电极部的第一固定电极侧固定部及具有第二固定电极部的第二固定电极侧固定部；可动质量部，其具有第一可动电极部及第二可动电极部，并且呈包围可动电极侧固定部、第一固定电极侧固定部及第二固定电极侧固定部的形状，其中，所述第一可动电极部具有与第一固定电极部对置的部分，所述第二可动电极部具有与第二固定电极部对置的部分；弹性部，其对可动电极侧固定部与可动质量部进行连接。

公开(公告)号：CN106441259A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610463385.4

申请日：2016-06-23

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木暮翔太 ,  田中悟

IPC: G01C19/5656

Abstract: 本发明提供具有优异的温度特性的物理量传感器以及具备该物理量传感器的电子设备及移动体。物理量传感器具备：可动电极侧固定部；具有第一固定电极部的第一固定电极侧固定部及具有第二固定电极部的第二固定电极侧固定部；可动质量部，其具有第一可动电极部及第二可动电极部，并且呈包围可动电极侧固定部、第一固定电极侧固定部及第二固定电极侧固定部的形状，其中，所述第一可动电极部具有与第一固定电极部对置的部分，所述第二可动电极部具有与第二固定电极部对置的部分；弹性部，其对可动电极侧固定部与可动质量部进行连接。

公开(公告)号：CN106338620A

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201610514759.0

申请日：2016-07-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木暮翔太

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种物理量的检测精度较优异的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：底基板(2)；元件片(4)，其被接合在底基板(2)上。此外，元件片(4)具有：固定部(481)、(491)，其被固定在底基板(2)上；第一固定电极指(483)，其被固定部(491)支承；固定部(41)，其位于固定部(481)、(491)之间，且被固定在底基板(2)上；可动部(42)，其能够相对于固定部(41)而进行位移；弹性部(43)，其对固定部(41)与可动部(42)进行连结；第一可动电极指(423)，其被可动部(42)支承，且与第一固定电极指(483)对置配置；第二可动电极指(424)，其被可动部(42)支承，且与第二固定电极指(493)对置配置。(481)支承；第二固定电极指(493)，其被固定部

公开(公告)号：CN116893281A

公开(公告)日：2023-10-17

申请号：CN202310323613.8

申请日：2023-03-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木暮翔太

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01C21/16

Abstract: 本申请提供降低由库仑力引起的动作的不良情况的物理量传感器及惯性测量装置。物理量传感器(1)包括基板(2)、第一固定部(40)、第二固定部(80)、第一支承梁(42)、第二支承梁(82)、第一可动体(MB1)、第二可动体(MB2)、以及屏蔽部(S)。在基板(2)上设置有第一固定电极(10A)及第二固定电极(10B)。第一可动体(MB1)设置为可以以沿着第二方向(DR2)的第一旋转轴为中心相对于基板(2)进行摆动。第二可动体(MB2)设置为可以以沿着第二方向(DR2)的第二旋转轴为中心相对于基板(2)进行摆动。屏蔽部(S)在第一可动体(MB1)和第二可动体(MB2)之间沿着第一方向(DR1)设置。

公开(公告)号：CN108169516A

公开(公告)日：2018-06-15

申请号：CN201711263648.8

申请日：2017-12-04

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 木暮翔太

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: 本申请公开了物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备及移动体。该物理量传感器包括：基部；配线，配置于所述基部；支撑部，包括接合于所述基部的第一接合部及接合于所述配线的第二接合部；悬架部，连接于所述支撑部；以及电极指，支撑于所述悬架部，其中，所述支撑部包括第一伸出部，该第一伸出部位于所述第一接合部和所述悬架部之间，与所述基部分开。