-
公开(公告)号：CN108700612B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201780014063.4
申请日：2017-02-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松浦由幸
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , H01L29/84
Abstract: 本发明可减少露出了基底基板(基体)的绝缘部与传感器部(可动体)之间的静电引力，并抑制传感器部(可动体)的向基底基板的吸附。加速度传感器(100)(传感器装置)具有：基体(10)，其具备凹部(第二凹部)、固定电极、以及隔着绝缘部而并排设置的虚拟电极；可动体(20)，其以可摆动的方式被支承在基体上，可动体具有与固定电极对置的第一区域、与虚拟电极的一部分对置的第二区域、以及对第一区域和第二区域进行连接的连接部，固定电极设置有被延伸设置至与连接部对置的位置为止的延设电极部，在可动体的俯视观察时，延设电极部的至少一部分与连接部对置，并且，在延设电极部与虚拟电极之间所具有的绝缘部在凹部内与连接部对置。
-
公开(公告)号：CN108700612A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780014063.4
申请日：2017-02-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松浦由幸
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , H01L29/84
Abstract: 本发明可减少露出了基底基板(基体)的绝缘部与传感器部(可动体)之间的静电引力，并抑制传感器部(可动体)的向基底基板的吸附。加速度传感器(100)(传感器装置)具有：基体(10)，其具备凹部(第二凹部)、固定电极、以及隔着绝缘部而并排设置的虚拟电极；可动体(20)，其以可摆动的方式被支承在基体上，可动体具有与固定电极对置的第一区域、与虚拟电极的一部分对置的第二区域、以及对第一区域和第二区域进行连接的连接部，固定电极设置有被延伸设置至与连接部对置的位置为止的延设电极部，在可动体的俯视观察时，延设电极部的至少一部分与连接部对置，并且，在延设电极部与虚拟电极之间所具有的绝缘部在凹部内与连接部对置。
-
公开(公告)号：CN117705075A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311184052.4
申请日：2023-09-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及惯性测量装置。惯性测量装置具备：基板；第一惯性传感器，检测第一轴的物理量，且相对于所述基板垂直地配置；壳体，设置为覆盖所述第一惯性传感器，且具有刚性；以及填充部件，配置于所述第一惯性传感器与所述壳体之间。
-
公开(公告)号：CN116892927A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202310373749.X
申请日：2023-04-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C21/16
Abstract: 本发明提供惯性测量装置，该惯性测量装置包括至少具有第一检测轴的第一惯性传感器和至少具有第二检测轴并与所述第一惯性传感器成对的第二惯性传感器，所述第一惯性传感器及所述第二惯性传感器以所述第一惯性传感器的第一检测轴的朝向和所述第二惯性传感器的第二检测轴的朝向彼此旋转了180°的状态安装于所述电路基板，具备收纳所述电路基板的壳体，在所述第一惯性传感器及所述第二惯性传感器与所述壳体之间填充有树脂。
-
公开(公告)号：CN115494261A
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202210668710.6
申请日：2022-06-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01P15/02
Abstract: 本发明提供惯性传感器及惯性测量装置，能够抑制面内旋转动作。惯性传感器(1)是在将相互正交的三个轴设为X轴、Y轴及Z轴时，检测基于所述Z轴上的位移的物理量的惯性传感器(1)，具备：基板(11)以及可动体(31)，所述可动体(31)固定于基板(11)，绕沿X轴的摆动轴(P)摆动，且具有相互对置的两个平面(31a、31b)及将它们之间连起来的侧面(31c)，可动体(31)具有相对于摆动轴(P)持预定的角度而配置的第一延伸部(41)以及与第一延伸部(41)的侧面(31c)对置而配置的第二延伸部(42)。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109119486A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201810660672.3
申请日：2018-06-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松浦由幸
IPC: H01L29/84
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/0894 , G01P15/131 , G01P2015/0831 , H01L29/84
Abstract: 本申请公开了一种振动器件、振动器件模块、电子设备及移动体，所述振动器件具备：基体，包括可动离子；可动部，在俯视观察下配置为与所述基体重叠；以及导体部，在俯视观察下与所述可动部重叠，所述可动部被施加第一电压，该第一电压的电位以基准电位为基准进行周期性变化，所述导体部被施加第二电压，若将该第二电压进行时间平均则成为所述基准电位。
-
公开(公告)号：CN117705076A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311193435.8
申请日：2023-09-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松浦由幸
IPC: G01C19/5783 , G01C21/16 , G01C21/26 , G01P15/125 , G01P15/08 , G01P1/02 , G01P15/18
Abstract: 一种惯性测量装置，具备：第一壳体和第二壳体；基板，配置于由所述第一壳体和所述第二壳体形成的空间中，并具有第一面和第二面，在所述第一面配置有第一惯性传感器；第一填充部件，填充于所述基板的所述第一面及所述第一惯性传感器与所述第一壳体之间；以及第二填充部件，填充于所述基板的所述第二面与所述第二壳体之间。
-
公开(公告)号：CN109119486B
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN201810660672.3
申请日：2018-06-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松浦由幸
IPC: H01L29/84
Abstract: 本申请公开了一种振动器件、振动器件模块、电子设备及移动体，所述振动器件具备：基体，包括可动离子；可动部，在俯视观察下配置为与所述基体重叠；以及导体部，在俯视观察下与所述可动部重叠，所述可动部被施加第一电压，该第一电压的电位以基准电位为基准进行周期性变化，所述导体部被施加第二电压，若将该第二电压进行时间平均则成为所述基准电位。
-
公开(公告)号：CN111190027B
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN201911026025.8
申请日：2019-10-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松浦由幸
IPC: G01P15/125 , G01P15/08 , G01P15/18
Abstract: 本申请公开了具有优异的检测灵敏度的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器具有：基板，将沿着Z轴的方向作为厚度方向；以及传感器元件，设置于所述基板，并检测物理量，所述传感器元件具有：可动部，相对于所述基板在沿着作为所述物理量的检测轴的所述X轴的方向上位移；以及固定电极，固定于所述基板，所述可动部具有：可动电极，与所述固定电极在沿着所述X轴的方向上相对配置；以及质量部，支承所述可动电极，沿着所述Z轴的方向的长度比所述可动电极长。
-
公开(公告)号：CN111190027A
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201911026025.8
申请日：2019-10-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 松浦由幸
IPC: G01P15/125 , G01P15/08 , G01P15/18
Abstract: 本申请公开了具有优异的检测灵敏度的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器具有：基板，将沿着Z轴的方向作为厚度方向；以及传感器元件，设置于所述基板，并检测物理量，所述传感器元件具有：可动部，相对于所述基板在沿着作为所述物理量的检测轴的所述X轴的方向上位移；以及固定电极，固定于所述基板，所述可动部具有：可动电极，与所述固定电极在沿着所述X轴的方向上相对配置；以及质量部，支承所述可动电极，沿着所述Z轴的方向的长度比所述可动电极长。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
10
records
(took 0.04 seconds)
