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公开(公告)号:CN118056650A
公开(公告)日:2024-05-21
申请号:CN202311527481.7
申请日:2023-11-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B25J18/00
Abstract: 提供能够实现小型化的机器人。一种机器人,其特征在于,具备:基台;第一臂,绕沿着水平方向的第一旋转轴的轴可旋转地连接到所述基台;第二臂,所述基端部绕与所述第一旋转轴平行的第二旋转轴的轴可旋转地连接到所述第一臂;第一驱动源,具有输出旋转驱动所述第一臂的旋转力的第一输出轴;第二驱动源,具有输出旋转驱动所述第二臂的旋转力的第二输出轴;以及连杆机构,以所述第一臂的基端侧为起点,通过多个连杆连接到所述第一臂的前端侧,并将由所述第二驱动源产生的旋转力向所述第二臂传递,当从铅垂方向观察时,所述第一驱动源的重心(G1)和所述第二驱动源的重心(G2)中的至少一方隔着所述第一旋转轴位于与所述第二臂的前端部相反的一侧。
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公开(公告)号:CN107990885B
公开(公告)日:2023-07-07
申请号:CN201710906663.3
申请日:2017-09-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5747 , G01C25/00
Abstract: 本发明提供一种陀螺传感器、陀螺传感器的制造方法、电子设备及移动体。所述陀螺传感器的特征在于,具有:基板;固定部,其被固定在所述基板上;驱动部,其在沿着第一轴的第一方向上进行驱动;质量部,其与所述驱动部连接,并沿着所述第一方向进行位移;检测部,其被包含在所述质量部中,且通过所作用的科里奥利力而能够在沿着与所述第一轴正交的第二轴的第二方向上进行位移;以及弹性部,其对所述质量部和所述固定部进行连接,所述弹性部的外周面具有主面、侧面和连接所述主面与所述侧面的连接面,所述连接面具有曲面状的曲面部。
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公开(公告)号:CN106969760B
公开(公告)日:2022-02-18
申请号:CN201610947746.2
申请日:2016-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5649
Abstract: 本发明提供一种物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体。振动片(1)具有:检测臂(221),其沿着Z轴方向进行驱动振动,且通过被施加角速度而沿着X轴方向进行检测振动;第一电极部(331)、第二电极部(332)、第三电极部(341)、第四电极部(342)以及第一接地电极部(351)、第二接地电极部(352)、第三接地电极部(353)、第四接地电极部(354),它们被配置在检测臂(221)上。并且,第一电极部(331)与第一接地电极部(351)之间所产生的信号和第二电极部(332)与第二接地电极部(352)之间所产生的信号在驱动振动时为反相,在检测振动时为同相。此外,第三电极部(341)与第三接地电极部(353)之间所产生的信号和第四电极部(342)与第四接地电极部(354)之间所产生的信号在驱动振动时为反相,在检测振动时为同相。
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公开(公告)号:CN109668554A
公开(公告)日:2019-04-23
申请号:CN201811197971.4
申请日:2018-10-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C21/16
Abstract: 本发明提供物理量传感器、惯性测量装置、电子设备以及移动体,能够减少相对于作为检测对象的物理量以外的物理量的影响,并能够高精度地检测作为检测对象的物理量。本发明的物理量传感器具备:基板;第一检测电极,具备第一电极指;第一弹簧,将所述第一检测电极支承为相对于所述基板能够沿第一方向位移;第二检测电极,具备在所述第一方向上与所述第一电极指隔开间隔而配置的第二电极指;以及第二弹簧,将所述第二检测电极支承为相对于所述基板能够沿所述第一方向位移,所述第一弹簧的所述第一方向上的弹簧常数与所述第二弹簧的所述第一方向上的弹簧常数相等。
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公开(公告)号:CN104880180B
公开(公告)日:2018-05-01
申请号:CN201510237883.2
申请日:2011-11-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: H01L41/253 , G01C19/5607 , H01L41/0475 , H01L41/09 , H01L41/107 , H03H9/21 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供振动片、传感器单元及其制造方法、电子设备。振动陀螺元件(11)具有基部(21)、以及从基部(21)的Y轴方向的两端部起分别延伸的一对驱动用振动臂(22a、22b)和一对检测用振动臂(23a、23b)。并且,从由基部(21)的X轴方向的两端部起分别延伸的连接臂(24a、24b)各自的末端部起,设有与驱动用振动臂(22a、22b)并行延伸的调节用振动臂(125a、125b)。在各调节用振动臂(125a、125b)的末端侧具有作为加宽部的施重部(127a、127b)。在各调节用振动臂(125a、125b)的主面设有用于对振动陀螺元件(11)的泄漏输出进行调节的作为膜体的调节用电极(145a、145b)。
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公开(公告)号:CN107070407A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201610941789.X
申请日:2016-10-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03L1/04 , H01L23/34 , H01L23/345 , H01L24/09 , H01L24/48 , H01L2224/04042 , H01L2224/48106 , H01L2224/48227 , H01L2224/85423 , H01L2224/85444 , H01L2224/85447 , H01L2924/00014 , H01L2924/351 , H03B5/32 , H03B2200/0008 , H03B2200/001 , H03B2200/0012 , H03B2200/0018 , H03L1/02 , H03L1/028 , H01L2224/45099 , H03H9/02047 , H03H9/02834
Abstract: 本发明提供集成电路装置、电子器件、电子设备及基站。能够提高引线键合的生产性。集成电路装置具有:基板;接合部,其设置于所述基板上,并与振子接合;以及多个键合焊盘,它们设置于所述基板上,在所述接合部设有覆盖所述基板的表面的一部分的绝缘性保护膜,在相邻的所述键合焊盘之间未设有所述绝缘性保护膜。
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公开(公告)号:CN102889888B
公开(公告)日:2016-12-21
申请号:CN201210251384.5
申请日:2012-07-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5705
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种振动陀螺元件、陀螺传感器及电子设备,其提高了振动陀螺元件的检测灵敏度。振动陀螺元件(1)具备从支承部(2)延伸的一对驱动用振动臂(3a、3b)和其相反侧的一对检测用振动臂(4a、4b),并具有:驱动模式,驱动用振动臂在面内方向反向地弯曲振动;第一检测模式,驱动用振动臂在面外方向以相互反向且与哥氏力的作用方向反相的方式弯曲振动,检测用振动臂在面外方向以相互反向且与驱动用振动臂反相的方式弯曲振动;第二检测模式,驱动用振动臂在面外方向以相互反向且与哥氏力的作用方向同相的方式弯曲振动,检测用振动臂在面外方向以相互反向且与驱动用振动臂同相的方式弯曲振动,各个检测用振动臂在第一检测模式和第二检测模式中以同相弯曲振动。
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公开(公告)号:CN102840858B
公开(公告)日:2015-09-09
申请号:CN201210212645.2
申请日:2012-06-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种弯曲振动片以及电子设备,所述弯曲振动片能够有效地抑制驱动模式下的错误检测信号的产生。双侧音叉型弯曲振动片(11)具有:与支承部(12)相连接的一对的驱动用振动臂(13)以及朝向与所述驱动用振动臂(13)相反的一对的检测用振动臂(14)。支承部具有:在宽度方向上的两侧部处形成的细槽状的凹部(17a、17b)、以及在所述支承部的平面部的大致中央且凹部的驱动用振动臂侧形成的贯穿孔(18)。在支承部的表面上,以通过支承部的两侧部处的凹部与平面部上的贯穿孔而在长度方向上被隔开的方式,从驱动用振动臂的驱动电极引出的驱动用电极衬垫被配置在驱动用振动臂侧,而从检测用振动臂的检测电极引出的检测用电极衬垫被配置在检测用振动臂侧。
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公开(公告)号:CN103226016A
公开(公告)日:2013-07-31
申请号:CN201310027250.X
申请日:2013-01-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: H01L41/107 , G01C19/5733 , G01P9/04
Abstract: 本发明提供振动片、振动器件、物理量检测装置以及电子设备,防止因振动泄漏现象产生的对驱动振动臂或检测振动臂的振动的影响,提高振动特性。振动片具有:与从振动体(4)延伸的第一梁(61)连接,支撑振动体(4)的第一支撑部(51);设置于第一支撑部(51),沿着与第一梁(61)的延伸方向交叉的方向分离且并列地设置的检测信号端子(714)及检测接地端子(724),第一梁(61)和第一支撑部(51)在检测信号端子(714)和检测接地端子(724)之间连接,在检测信号端子(714)和检测接地端子(724)之间设有薄部(54a)或贯通部,薄部形成为在第一支撑部的正反方向上的厚度薄,贯通部是在正反方向上贯通去除第一支撑部而形成的。
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