公开(公告)号：CN102571023B

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201110305466.9

申请日：2011-09-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 花冈辉直 ,  进藤昭则 ,  山崎康男 ,  千叶诚一 ,  远田寿幸 ,  小岛修司

IPC: H03H9/02 ,  G01C19/5705 ,  H03H3/02

CPC classification number: H01L27/0207 ,  G01C19/5769 ,  G01C19/5783

Abstract: 本发明涉及一种电子部件、电子设备、以及电子部件的制造方法。所述电子部件具有：半导体元件，其具有电路；振动元件；第1电极，其被配置于所述半导体元件的第1面上，并与所述电路和被配置在所述第1面侧的所述振动元件相连接；第2电极，其被配置于所述第1面上；第1布线基板，其具有与所述第2电极相连接的第1布线；第2布线基板，其具有与所述第1布线相连接的第2布线，并且，在朝向所述第1面俯视观察时，所述第2电极以与所述振动元件的外轮廓线的内侧区域的至少一部分重叠的方式被配置。

公开(公告)号：CN102571023A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110305466.9

申请日：2011-09-30

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 花冈辉直 ,  进藤昭则 ,  山崎康男 ,  千叶诚一 ,  远田寿幸 ,  小岛修司

IPC: H03H9/02 ,  G01C19/5705 ,  H03H3/02

CPC classification number: H01L27/0207 ,  G01C19/5769 ,  G01C19/5783

Abstract: 本发明涉及一种电子部件、电子设备、以及电子部件的制造方法。所述电子部件具有：半导体元件，其具有电路；振动元件；第1电极，其被配置于所述半导体元件的第1面上，并与所述电路和被配置在所述第1面侧的所述振动元件相连接；第2电极，其被配置于所述第1面上；第1布线基板，其具有与所述第2电极相连接的第1布线；第2布线基板，其具有与所述第1布线相连接的第2布线，并且，在朝向所述第1面俯视观察时，所述第2电极以与所述振动元件的外轮廓线的内侧区域的至少一部分重叠的方式被配置。

公开(公告)号：CN102445197A

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN201110241308.1

申请日：2011-08-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 千叶诚一 ,  小岛修司 ,  远田寿幸 ,  进藤昭则 ,  花冈辉直 ,  山崎康男

IPC: G01C19/5642 ,  G01C19/5663

CPC classification number: G01P15/097 ,  B81B7/0006 ,  G01C19/5783 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/00014

Abstract: 提供一种传感器装置、运动传感器、以及电子设备，其防止了由于在传感器元件的调频时所使用的激光而导致的应力缓和层的熔融，并具有稳定的电特性。传感器装置(1)的特征在于，具有：第1电极(11)，其被设置在硅基板(10)的有源面(10a)侧；外部连接端子(12)，其与第1电极电连接；应力缓和层(15)，其被设置在硅基板与外部连接端子之间；连接用端子(13)，其被设置在硅基板的有源面侧；振动陀螺元件(20)，其具有作为质量调节部的锤部(26a、26b、27a、27b、28a、28b)，其中，振动陀螺元件通过连接电极与外部连接端子之间的连接而被保持在硅基板上，所述传感器装置具有被形成在应力缓和层与质量调节部在俯视观察时相重合的部分之间的熔融保护层(42)。

公开(公告)号：CN102445197B

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：CN201110241308.1

申请日：2011-08-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 千叶诚一 ,  小岛修司 ,  远田寿幸 ,  进藤昭则 ,  花冈辉直 ,  山崎康男

IPC: G01C19/5642 ,  G01C19/5663

CPC classification number: G01P15/097 ,  B81B7/0006 ,  G01C19/5783 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/00014

Abstract: 提供一种传感器装置、运动传感器、以及电子设备，其防止了由于在传感器元件的调频时所使用的激光而导致的应力缓和层的熔融，并具有稳定的电特性。传感器装置(1)的特征在于，具有：第1电极(11)，其被设置在硅基板(10)的有源面(10a)侧；外部连接端子(12)，其与第1电极电连接；应力缓和层(15)，其被设置在硅基板与外部连接端子之间；连接用端子(13)，其被设置在硅基板的有源面侧；振动陀螺元件(20)，其具有作为质量调节部的锤部(26a、26b、27a、27b、28a、28b)，其中，振动陀螺元件通过连接电极与外部连接端子之间的连接而被保持在硅基板上，所述传感器装置具有被形成在应力缓和层与质量调节部在俯视观察时相重合的部分之间的熔融保护层(42)。