IC片的生产方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1507651A

    公开(公告)日:2004-06-23

    申请号:CN03800232.9

    申请日:2003-01-15

    Abstract: 本发明的目的是提供一种IC片的生产方法,其中,可以防止晶片受损,能够改善处理晶片的容易程度,因此,即使晶片的厚度极度降低至约50μm,也能够适当地将晶片加工成IC片。本发明提供一种IC片的生产方法,其至少包括:用支撑胶带将晶片固定在支撑板上的步骤,支撑胶带具有包括含由于刺激而生成气体的气体发生剂的粘结剂(A)的表面层和包括粘结剂(B)的表面层;用所述支撑胶带将所述晶片固定在所述支撑板上的时候将所述晶片抛光的步骤;将切块胶带粘结在所述抛光晶片上的步骤;为所述粘结剂(A)层提供所述刺激的步骤;将所述支撑胶带从所述晶片上除去的步骤;将所述晶片切块的步骤,在用所述支撑胶带将所述晶片固定在所述支撑板上的步骤中包括将所述包括粘结剂(A)的表面层粘结在所述晶片上和将所述包括粘结剂(B)的表面层粘结在所述支撑板上,在负压下从其切块胶带侧均匀抽吸整个所述晶片的同时提供所述刺激,然后在为所述粘结剂(A)层提供刺激的步骤中和在将所述支撑胶带从所述晶片上除去的步骤中,将所述支撑胶带从所述晶片上除去。

    IC片的生产方法
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1322554C

    公开(公告)日:2007-06-20

    申请号:CN03800232.9

    申请日:2003-01-15

    Abstract: 本发明的目的是提供一种IC片的生产方法,其中,可以防止晶片受损,能够改善处理晶片的容易程度,因此,即使晶片的厚度极度降低至约50μm,也能够适当地将晶片加工成IC片。本发明提供一种IC片的生产方法,其至少包括:用支撑胶带将晶片固定在支撑板上的步骤,支撑胶带具有包括含由于刺激而生成气体的气体发生剂的粘结剂(A)的表面层和包括粘结剂(B)的表面层;用所述支撑胶带将所述晶片固定在所述支撑板上的时候将所述晶片抛光的步骤;将切块胶带粘结在所述抛光晶片上的步骤;为所述粘结剂(A)层提供所述刺激的步骤;将所述支撑胶带从所述晶片上除去的步骤;将所述晶片切块的步骤,在用所述支撑胶带将所述晶片固定在所述支撑板上的步骤中包括将所述包括粘结剂(A)的表面层粘结在所述晶片上和将所述包括粘结剂(B)的表面层粘结在所述支撑板上,在负压下从其切块胶带侧均匀抽吸整个所述晶片的同时提供所述刺激,然后在为所述粘结剂(A)层提供刺激的步骤中和在将所述支撑胶带从所述晶片上除去的步骤中,将所述支撑胶带从所述晶片上除去。

    半导体加工用层叠体、半导体加工用粘合带及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN114341296A

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202080062479.5

    申请日:2020-11-05

    Inventor: 林聪史 菱田诚

    Abstract: 本发明的目的在于提供不损害切割时的粘接性且在拾取半导体封装时能够容易地剥离的半导体加工用层叠体和半导体加工用粘合带。另外,本发明的目的在于提供使用了该半导体加工用粘合带的半导体装置的制造方法。本发明的半导体加工用层叠体具有临时固定带和层叠于上述临时固定带上的半导体加工用粘合带,上述临时固定带至少具有粘合剂层,上述半导体加工用粘合带具有基材和层叠于上述基材的一个面的粘合剂层,上述半导体加工用粘合带以上述半导体加工用粘合带的上述基材与上述临时固定带的上述粘合剂层接触的方式层叠于上述临时固定带上,上述半导体加工用粘合带和上述临时固定带满足下述式(1)。2.0×10‑3≤(Fa/Fb)≤6.0×10‑2(1)式(1)中,Fa表示将半导体加工用粘合带贴附于铜板并在150℃加热1小时后的180°方向的剥离力,Fb表示将临时固定带贴附于半导体加工用粘合带的基材面并在150℃加热1小时后的180°方向的剥离力。

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