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公开(公告)号：CN114930161A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202180008016.5
申请日：2021-01-26
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： A·戈洛塔斯万 , I·塔尔西斯-沙皮尔 , M·吉诺乌克 , R·迪拉韦
IPC: G01N21/956 , H01L21/027 , H01L21/68 , G03F7/20 , G03F9/00 , G01J4/00
Abstract: 一种计量目标包含沿着一或多个方向与第一计量模式兼容的第一组图案元素及沿着一或多个方向与第二计量模式兼容的第二组图案元素，其中所述第二组图案元素包含所述第一组图案元素的第一部分，且其中所述第二组图案元素是由所述第一组图案元素的不包含于所述第二组图案元素中的第二部分包围。
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