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发明公开
用于在扫描重叠计量中抑制工具所引入的偏移的系统及方法审中-实审

公开(公告)号：CN119317876A

公开(公告)日：2025-01-14

申请号：CN202380041347.8

申请日：2023-10-27

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： I·戈多尔 , Y·卢巴舍夫斯基 , V·莱温斯基 , D·内格里 , A·亚金 , N·伊萨科威驰

IPC: G03F7/20 , G03F7/00

Abstract: 公开一种用于产生包含具有呈反转顺序的结构的单元的重叠目标的重叠测量的重叠计量系统及方法。所述重叠计量系统可包含照明子系统及集光子系统。所述集光子系统可包含用以收集来自样本的测量光的一或多个检测器。根据计量配方，所述样本可包含具有第一单元类型的第一单元及第二单元类型的第二单元的重叠目标，其中所述第二单元类型包含相对于所述第一单元类型呈反转顺序的结构。所述计量配方可包含：接收检测信号；基于所述检测信号来产生每一单元的重叠测量；及基于指示每一单元的所述重叠测量的平均值的值来产生与所述重叠目标相关联的重叠测量。

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