公开(公告)号：CN107431030B

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN201680019869.8

申请日：2016-04-06

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： M·D·史密斯 ,  J·所罗门 ,  S·舍温 ,  W·D·米厄尔 ,  A·莱维

IPC: H01L21/66

Abstract: 本发明揭示衬底的平面内变形的确定，其包含：测量所述衬底在未夹紧状态中的一或多个平面外变形；基于所述衬底在所述未夹紧状态中的所述所测量平面外变形确定在所述未夹紧状态中的所述衬底上的膜的有效膜应力；基于在所述未夹紧状态中的所述衬底上的所述膜的所述有效膜应力确定所述衬底在夹紧状态中的平面内变形；及基于所述所测量平面外变形或所述所确定平面内变形中的至少一者调整处理工具或叠加工具中的至少一者。

公开(公告)号：CN107431030A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680019869.8

申请日：2016-04-06

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： M·D·史密斯 ,  J·所罗门 ,  S·舍温 ,  W·D·米厄尔 ,  A·莱维

IPC: H01L21/66

Abstract: 本发明揭示衬底的平面内变形的确定，其包含：测量所述衬底在未夹紧状态中的一或多个平面外变形；基于所述衬底在所述未夹紧状态中的所述所测量平面外变形确定在所述未夹紧状态中的所述衬底上的膜的有效膜应力；基于在所述未夹紧状态中的所述衬底上的所述膜的所述有效膜应力确定所述衬底在夹紧状态中的平面内变形；及基于所述所测量平面外变形或所述所确定平面内变形中的至少一者调整处理工具或叠加工具中的至少一者。