公开(公告)号：CN118111360A

公开(公告)日：2024-05-31

申请号：CN202311409723.2

申请日：2023-10-27

Applicant: 福州大学

Inventor： 林杰文 ,  钟嘉璐 ,  张秋坤 ,  王文铉

IPC: G01B11/30

Abstract: 本发明涉及一种基于共路传输的宽带光干涉型粗糙度测量装置，包括超辐射发光二极管、1×2光纤耦合器、光纤准直器、立方体分光镜、参考臂、探测臂、光谱仪和上位机；准直器、分光镜、参考臂和探测臂组成干涉装置并安装于可调安装架上，位移台上设置被测对象；光纤耦合器同一侧的两接口连接超辐射发光二极管和光谱仪，另一侧的单输出口连接干涉装置；超辐射发光二极管辐射出宽带光经光纤耦合器传输，再经准直器、分光镜分成参考光与探测光，分别进入参考臂和探测臂，分别经过参考镜和被测对象表面反射后汇合并发生干涉，经过光纤耦合器进入光谱仪，进而进入线阵CMOS相机中成像并传输至上位机。该装置及方法有利于提高非接触式粗糙度测量的精确度。

公开(公告)号：CN117268256A

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202311232861.8

申请日：2023-09-22

Applicant: 福州大学

Inventor： 张秋坤 ,  林杰文 ,  钟嘉璐 ,  周桂仲

IPC: G01B9/02 ,  G01B9/02017

Abstract: 本发明提出宽带光干涉型微纳结构表面超精密成像装置及方法，装置包括光谱仪、超宽带宽光源、显微探测臂和显微参考臂，显微探测臂处设有参考光路，显微探测臂处设有探测光路；光源的光经光纤耦合器分光并分别输入参考光路和探测光路；进入参考光路的光经准直、聚焦后，送至反射镜反射形成参考光；进入探测光路的光经准直、聚焦后，送至被测目标表面反射形成探测光；所述参考光、探测光回送至光纤耦合器内相互干涉以形成送入光谱仪的干涉光信号；所述光谱仪以透射式光栅按波长展开干涉光信号，形成强度呈正弦式变化的成像信号；本发明能将系统的轴向分辨率提升至亚微米量级，在系统轴向分辨率的提升方面，能实现纳米级精度的微结构表面超精密成像。

公开(公告)号：CN221077581U

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202322900040.9

申请日：2023-10-27

Applicant: 福州大学

Inventor： 林杰文 ,  钟嘉璐 ,  张秋坤 ,  王文铉

IPC: G01B11/30

Abstract: 本实用新型涉及一种基于共路传输的宽带光干涉型粗糙度测量装置，包括超辐射发光二极管、1×2光纤耦合器、光纤准直器、立方体分光镜、参考臂、探测臂、光谱仪和上位机；准直器、分光镜、参考臂和探测臂组成干涉装置并安装于可调安装架上，位移台上设置被测对象；光纤耦合器同一侧的两接口连接超辐射发光二极管和光谱仪，另一侧的单输出口连接干涉装置；超辐射发光二极管辐射出宽带光经光纤耦合器传输，再经准直器、分光镜分成参考光与探测光，分别进入参考臂和探测臂，经过参考镜和被测对象表面反射后汇合并发生干涉，经过光纤耦合器进入光谱仪，进而进入线阵CMOS相机中成像并传输至上位机。该装置有利于提高非接触式粗糙度测量的精确度，且易用性好。

公开(公告)号：CN221302218U

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202322586933.0

申请日：2023-09-22

Applicant: 福州大学

Inventor： 张秋坤 ,  林杰文 ,  钟嘉璐 ,  周桂仲

IPC: G01B9/02 ,  G01B9/02015 ,  G01B9/04 ,  G01B11/24

Abstract: 本实用新型提出宽带光干涉型微纳结构表面超精密成像装置，装置包括光谱仪、超宽带宽光源、显微探测臂和显微参考臂，显微探测臂处设有参考光路，显微探测臂处设有探测光路；光源的光经光纤耦合器分光并分别输入参考光路和探测光路；进入参考光路的光经准直、聚焦后，送至反射镜反射形成参考光；进入探测光路的光经准直、聚焦后，送至被测目标表面反射形成探测光；参考光、探测光回送至光纤耦合器内相互干涉以形成送入光谱仪的干涉光信号；所述光谱仪以透射式光栅按波长展开干涉光信号，形成强度呈正弦式变化的成像信号；本实用新型能将系统的轴向分辨率提升至亚微米量级，在系统轴向分辨率的提升方面，能实现纳米级精度的微结构表面超精密成像。