公开(公告)号：CN117990006A

公开(公告)日：2024-05-07

申请号：CN202410160040.6

申请日：2024-02-05

Applicant: 福州大学

Inventor： 钟舜聪 ,  周桂仲 ,  张秋坤 ,  林杰文

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明涉及一种低相干光干涉型四方柱阵列微结构形貌精密检测装置及方法，该检测装置包括低相干光源、光纤耦合器、显微探测臂、参考臂、反射式光栅光谱仪和计算机；所述低相干光源的低相干光被引到光纤耦合器后分别进入显微探测臂和参考臂，进入参考臂的光经一对消色差透镜平行、聚焦到熔融石英玻璃表面并被其反射而回，形成参考光；进入显微探测臂的光经透镜平行后，由显微物镜聚焦到四方柱阵列微结构表面并被其背向散射而回，形成探测光；所述参考光、探测光在光纤耦合器处相遇并发生干涉；所述干涉信号进入反射式光栅光谱仪，被反射式光栅光谱仪采集并传输至计算机。该检测装置及方法有利于提高四方柱阵列微结构表面检测的精度和效率。

公开(公告)号：CN117268256A

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202311232861.8

申请日：2023-09-22

Applicant: 福州大学

Inventor： 张秋坤 ,  林杰文 ,  钟嘉璐 ,  周桂仲

IPC: G01B9/02 ,  G01B9/02017

Abstract: 本发明提出宽带光干涉型微纳结构表面超精密成像装置及方法，装置包括光谱仪、超宽带宽光源、显微探测臂和显微参考臂，显微探测臂处设有参考光路，显微探测臂处设有探测光路；光源的光经光纤耦合器分光并分别输入参考光路和探测光路；进入参考光路的光经准直、聚焦后，送至反射镜反射形成参考光；进入探测光路的光经准直、聚焦后，送至被测目标表面反射形成探测光；所述参考光、探测光回送至光纤耦合器内相互干涉以形成送入光谱仪的干涉光信号；所述光谱仪以透射式光栅按波长展开干涉光信号，形成强度呈正弦式变化的成像信号；本发明能将系统的轴向分辨率提升至亚微米量级，在系统轴向分辨率的提升方面，能实现纳米级精度的微结构表面超精密成像。

公开(公告)号：CN221302218U

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202322586933.0

申请日：2023-09-22

Applicant: 福州大学

Inventor： 张秋坤 ,  林杰文 ,  钟嘉璐 ,  周桂仲

IPC: G01B9/02 ,  G01B9/02015 ,  G01B9/04 ,  G01B11/24

Abstract: 本实用新型提出宽带光干涉型微纳结构表面超精密成像装置，装置包括光谱仪、超宽带宽光源、显微探测臂和显微参考臂，显微探测臂处设有参考光路，显微探测臂处设有探测光路；光源的光经光纤耦合器分光并分别输入参考光路和探测光路；进入参考光路的光经准直、聚焦后，送至反射镜反射形成参考光；进入探测光路的光经准直、聚焦后，送至被测目标表面反射形成探测光；参考光、探测光回送至光纤耦合器内相互干涉以形成送入光谱仪的干涉光信号；所述光谱仪以透射式光栅按波长展开干涉光信号，形成强度呈正弦式变化的成像信号；本实用新型能将系统的轴向分辨率提升至亚微米量级，在系统轴向分辨率的提升方面，能实现纳米级精度的微结构表面超精密成像。