公开(公告)号：CN114411124A

公开(公告)日：2022-04-29

申请号：CN202210104274.X

申请日：2022-01-28

Applicant: 福州大学

Inventor： 孙捷 ,  刘义锋 ,  牛萌 ,  杜佳怡 ,  严子雯 ,  田亮 ,  聂君扬 ,  严群 ,  杨天溪 ,  黄忠航

IPC: C23C18/12

Abstract: 本发明公开了一种化学液相沉积法制备氧化铪薄膜的方法，主要通过铪的无机盐与强碱弱酸盐发生双水解反应，同时加入能促进水解反应和促进凝聚作用的硫酸根离子，再通过控制强碱弱酸盐的量调节溶液pH值，使得沉淀缓慢析出并沉积在衬底表面，之后进行退火处理得到致密且连续、有良好的漏电性和高透过率的氧化铪薄膜，本发明可以作为一种成本低廉、工艺简便的新型氧化铪薄膜的制备方法，应用于光学，电学器件中。

公开(公告)号：CN113675129B

公开(公告)日：2023-07-28

申请号：CN202110840302.X

申请日：2021-07-24

Applicant: 福州大学 ,  闽都创新实验室

Inventor： 严群 ,  孙捷 ,  潘魁 ,  李晓 ,  林畅 ,  宋继彬 ,  毛作东 ,  张智 ,  牛萌 ,  李敏 ,  张永爱 ,  阮璐

IPC: H01L21/683 ,  H01L33/00

Abstract: 本发明涉及一种粘附力可调控衬底及其在转移方面的应用，所述粘附力可调控衬底包括衬底和设于衬底上的粘附力可调控层，所述粘附力可调控层用于与Micro LED或Mini LED芯片粘合，所述衬底为可透过紫外光衬底，所述粘附力可调控层主要由与衬底有良好粘附性同时给包结物提供反应位点的聚合物层、包结物层和含有光响应分子的被包结物层组成。在转移Micro LED或Mini LED芯片过程中，用所述粘附力可调控衬底与Micro LED或Mini LED芯片粘合，实现对Micro LED或Mini LED芯片转移。该衬底可以调节Micro LED或Mini LED芯片转移过程中粘附载体对芯片的粘附力，进而提高转移良率和效率。

公开(公告)号：CN113675129A

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202110840302.X

申请日：2021-07-24

Applicant: 福州大学 ,  闽都创新实验室

Inventor： 严群 ,  孙捷 ,  潘魁 ,  李晓 ,  林畅 ,  宋继彬 ,  毛作东 ,  张智 ,  牛萌 ,  李敏 ,  张永爱 ,  阮璐

IPC: H01L21/683 ,  H01L33/00

Abstract: 本发明涉及一种粘附力可调控衬底及其在转移方面的应用，所述粘附力可调控衬底包括衬底和设于衬底上的粘附力可调控层，所述粘附力可调控层用于与Micro LED或Mini LED芯片粘合，所述衬底为可透过紫外光衬底，所述粘附力可调控层主要由与衬底有良好粘附性同时给包结物提供反应位点的聚合物层、包结物层和含有光响应分子的被包结物层组成。在转移Micro LED或Mini LED芯片过程中，用所述粘附力可调控衬底与Micro LED或Mini LED芯片粘合，实现对Micro LED或Mini LED芯片转移。该衬底可以调节Micro LED或Mini LED芯片转移过程中粘附载体对芯片的粘附力，进而提高转移良率和效率。

公开(公告)号：CN114411124B

公开(公告)日：2023-01-03

申请号：CN202210104274.X

申请日：2022-01-28

Applicant: 福州大学

Inventor： 孙捷 ,  刘义锋 ,  牛萌 ,  杜佳怡 ,  严子雯 ,  田亮 ,  聂君扬 ,  严群 ,  杨天溪 ,  黄忠航

IPC: C23C18/12

Abstract: 本发明公开了一种化学液相沉积法制备氧化铪薄膜的方法，主要通过铪的无机盐与强碱弱酸盐发生双水解反应，同时加入能促进水解反应和促进凝聚作用的硫酸根离子，再通过控制强碱弱酸盐的量调节溶液pH值，使得沉淀缓慢析出并沉积在衬底表面，之后进行退火处理得到致密且连续、有良好的漏电性和高透过率的氧化铪薄膜，本发明可以作为一种成本低廉、工艺简便的新型氧化铪薄膜的制备方法，应用于光学，电学器件中。