公开(公告)号：CN117497422A

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202311228225.8

申请日：2023-09-22

Applicant: 福州大学

Inventor： 陈惠鹏 ,  彭文鸿 ,  李喜峰 ,  陈耿旭 ,  叶为熙 ,  杨倩 ,  郭太良

IPC: H01L21/34 ,  H01L21/02 ,  H01L21/423

Abstract: 本发明提供了一种高稳定性高性能氧化物薄膜晶体管的制备方法，包括在衬底形成源漏极之后，并覆盖上一层氧化物半导体层，并使用两种气体对氧化物半导体层上在PECVD装置中进行等离子处理；本发明避免了一般等离子处理需要额外的步骤以及机器，通过在PECVD装置中直接进行等离子处理，降低制造工艺的复杂性，同时获得了稳定性良好、器件性能优良的氧化物晶体管。

公开(公告)号：CN117800711A

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202410002643.3

申请日：2024-01-02

Applicant: 福州大学

Inventor： 陈惠鹏 ,  范裕阳 ,  李喜峰 ,  叶为熙 ,  林嘉明 ,  陈耿旭 ,  杨倩

IPC: C04B35/01 ,  C04B35/457 ,  C04B35/453 ,  C04B35/622 ,  C04B35/626 ,  C23C14/34 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明提供一种氧化物靶材制备方法，先将多种不同的金属氧化物粉进行混合球磨，同时在球磨过程中加入超声技术，获得金属氧化物混合浆料1；然后将粘结剂加入到混合浆料1中后再次进行球磨，球磨过程中加入超声技术，细化分散过程，得到混合浆料2；将混合浆料2注入模具中进行成型，脱模后得到生坯，最后对生坯依次进行干燥、脱脂和烧结，得到高质量氧化物靶材；本发明在球磨过程中加入超声技术，利用超声波的高能量，进一步打散球磨过程中的团聚颗粒，有效解决球磨过程中混合不均匀的问题；在分散过程中利用球磨和超声波细化分散过程，使混合浆料粒径分布均匀，具有高的致密性。因此，本发明制备的氧化物靶材成分均匀，致密性高，性能好。