一种金属氧化物存储器及其制备方法

    公开(公告)号:CN109755255A

    公开(公告)日:2019-05-14

    申请号:CN201910069115.9

    申请日:2019-01-24

    Applicant: 福州大学

    Abstract: 本发明涉及了一种金属氧化物存储器及其制备方法。该金属氧化物晶体管存储器采用顶栅垂直结构,器件自下而上依次是纯硅片基底、漏电极、金属氧化物半导体薄膜、网状源极和源极接触电极、绝缘层和顶部栅极。垂直结构金属氧化物存储器除电极外,其余各层均采用旋涂法制备。本发明提供的垂直结构金属氧化物存储器,可突破传统工艺对尺寸的限制,并实现大的电流密度和出色的存储性能以及快速的存储速度,在非易失性存储、柔性存储器和智能机器人等方面有很大的应用前景。

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