公开(公告)号：CN116121703A

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN202211463300.4

申请日：2022-11-18

Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)

Inventor： 乔梁 ,  杨雁博 ,  丁翔 ,  徐明辉 ,  龚洁 ,  赵钧睿

IPC: C23C14/08 ,  C23C14/28 ,  C30B29/22

Abstract: 本发明公开了一种钙钛矿氧化物自支撑薄膜的制备方法，包括以下步骤：烧结得到SrCoO2.5靶材和BiFeO3靶材；将SrCoO2.5靶材、BiFeO3靶材和处理后的SrTiO3基片一同放入脉冲激光沉积系统中；用脉冲激光沉积法在合适的条件下依次在SrTiO3基片上外延生长出SrCoO2.5和BiFeO3单晶薄膜；将聚甲基丙烯酸甲酯旋涂在外延生长得到的薄膜上并放入雪碧中溶解；一段时间后，SrCoO2.5薄膜溶解，PMMA和BiFeO3薄膜漂浮到雪碧上，用Si片将其打捞并加热烘干；将得到的样品放入丙酮中除去最上方的聚甲基丙烯酸甲酯；取出烘干后得到BiFeO3自支撑薄膜，该薄膜应用于牺牲层中具有优异的稳定性。