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公开(公告)号：CN114197048A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111490995.0
申请日：2021-12-08
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
Abstract: 本发明公开了一种具有二维电子气的单晶薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)将氧化镧和氧化钛前驱体粉末均匀混合后研磨，并用压片机压靶，在马弗炉中高温烧结后得到LaTiO3靶材；(2)清洗并刻蚀SrTiO3基片；(3)将LaTiO3靶材和处理后的SrTiO3基片一同放入脉冲激光沉积系统，在合适的条件下生长LaTiO3单晶薄膜；(4)在真空环境下，获得不同温度下的相同厚度的LaTiO3薄膜；(5)控制不同的氧压，在薄膜生长时能达到的真空度从高真空降到低真空，每隔一个数量级生长一个薄膜，制得不同氧压下的LaTiO3薄膜。本发明通过曲线可以看出薄膜与STO界面之间都存在二维电子气，使薄膜表现出金属性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114197048B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202111490995.0
申请日：2021-12-08
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
Abstract: 本发明公开了一种具有二维电子气的单晶薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)将氧化镧和氧化钛前驱体粉末均匀混合后研磨，并用压片机压靶，在马弗炉中高温烧结后得到LaTiO3靶材；(2)清洗并刻蚀SrTiO3基片；(3)将LaTiO3靶材和处理后的SrTiO3基片一同放入脉冲激光沉积系统，在合适的条件下生长LaTiO3单晶薄膜；(4)在真空环境下，获得不同温度下的相同厚度的LaTiO3薄膜；(5)控制不同的氧压，在薄膜生长时能达到的真空度从高真空降到低真空，每隔一个数量级生长一个薄膜，制得不同氧压下的LaTiO3薄膜。本发明通过曲线可以看出薄膜与STO界面之间都存在二维电子气，使薄膜表现出金属性。
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公开(公告)号：CN115652258A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211438775.8
申请日：2022-11-17
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
Abstract: 本发明公开了一种具有良好电输运性能的非晶薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)将氧化镧和氧化钛前驱体粉末均匀混合后研磨，并用压片机压靶，在马弗炉中高温烧结后得到LaTiO3靶材；(2)清洗并刻蚀SrTiO3基片；(3)将LaTiO3靶材和处理后的SrTiO3基片一同放入脉冲激光沉积系统，在合适的条件下生长LaTiO3非晶薄膜；(4)在室温、真空环境下生长了不同厚度的非晶LaTiO3薄膜。本发明通过曲线可以看出薄膜表现出金属性，具有良好的电输运性。
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公开(公告)号：CN114197035A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111493121.0
申请日：2021-12-08
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
Abstract: 本发明属于功能薄膜材料制备技术领域，公开了一种钙钛矿薄膜及其外延制备方法，通过脉冲激光沉积的方法生长具有溶解性的单晶外延牺牲层薄膜，并且通过调控牺牲层的晶格参数匹配得以实现一定晶格参数范围内的钙钛矿结构单晶薄膜生长，调控牺牲层的晶格常数实现不同钙钛矿薄膜的转移。本发明通过向Sr3Al2O6掺杂Ca，调控Sr3Al2O6牺牲层的晶格常数实现不同种类钙钛矿薄膜的外延生长方法，所制备的单晶薄膜致密性好，稳定性高、生长速度快、具有良好的重复性以及与靶材拥有一致的化学计量比，Sr3Al2O6在溶解过程中不会对生长在上面的薄膜产生不良影响，通过调控其晶格常数使其可以作为其他材料的牺牲层。
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公开(公告)号：CN114086118A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202111319477.2
申请日：2021-11-09
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
Abstract: 本发明公开了一种自支撑柔性LaNiO3薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)制备Sr3Al2O6靶材；(2)制备LaNiO3靶材；(3)清洗并刻蚀SrTiO3基片；(4)将Sr3Al2O6靶材、LaNiO3靶材和处理后的SrTiO3基片一同放入脉冲激光沉积系统，接着依次在SrTiO3衬底上外延生长出Sr3Al2O6和LaNiO3单晶薄膜；(5)在薄膜表面悬涂一层PMMA并加热，接着溶解；(6)PMMA和LaNiO3薄膜漂浮在水面上后，用Si片将其打捞并烘干；(7)将样品去除PMMA，取出后烘干，制得产品。Sr3Al2O6作为牺牲层用来得到柔性导电的LaNiO3薄膜，其具有质量高，简单快捷的特点。
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公开(公告)号：CN114086118B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202111319477.2
申请日：2021-11-09
Applicant: 电子科技大学长三角研究院(湖州)
Abstract: 本发明公开了一种自支撑柔性LaNiO3薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)制备Sr3Al2O6靶材；(2)制备LaNiO3靶材；(3)清洗并刻蚀SrTiO3基片；(4)将Sr3Al2O6靶材、LaNiO3靶材和处理后的SrTiO3基片一同放入脉冲激光沉积系统，接着依次在SrTiO3衬底上外延生长出Sr3Al2O6和LaNiO3单晶薄膜；(5)在薄膜表面悬涂一层PMMA并加热，接着溶解；(6)PMMA和LaNiO3薄膜漂浮在水面上后，用Si片将其打捞并烘干；(7)将样品去除PMMA，取出后烘干，制得产品。Sr3Al2O6作为牺牲层用来得到柔性导电的LaNiO3薄膜，其具有质量高，简单快捷的特点。
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