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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115411171A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202210881824.9
申请日：2022-07-26
Applicant: 电子科技大学 , 中国航发四川燃气涡轮研究院
Abstract: 本发明属于热流传感器技术领域，具体涉及一种高灵敏度微型原子层热电堆热流传感器及其制备方法。本发明通过采用两种热电势信号极性相反的热电堆线条制备多线条结构，以避免同种ALTP材料制备多线条结构所必须的导电金膜的使用，在此基础上进一步显著提高了ALTP薄膜的有效长度；在保证ALTP热流传感器的灵敏度的前提下缩小传感器尺寸，从而降低传感器对流场的影响。
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公开(公告)号：CN115411171B
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202210881824.9
申请日：2022-07-26
Applicant: 电子科技大学 , 中国航发四川燃气涡轮研究院
Abstract: 本发明属于热流传感器技术领域，具体涉及一种高灵敏度微型原子层热电堆热流传感器及其制备方法。本发明通过采用两种热电势信号极性相反的热电堆线条制备多线条结构，以避免同种ALTP材料制备多线条结构所必须的导电金膜的使用，在此基础上进一步显著提高了ALTP薄膜的有效长度；在保证ALTP热流传感器的灵敏度的前提下缩小传感器尺寸，从而降低传感器对流场的影响。
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公开(公告)号：CN114659657A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210309541.7
申请日：2022-03-28
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 叠层结构薄膜热流传感器的制备方法，涉及传感器技术。本发明包括下述步骤：1）通过真空镀膜的方式在第一热电材料薄膜上生长第二热电材料薄膜，获得复合单元层，第一热电材料的厚度是第二热电材料薄膜的3~5倍；2）将预设数量的复合单元层重叠后，真空下烧结形成一个复合结构体；3）切割复合结构体，形成由各复合单元层斜向重叠构成的传感结构体；4）在传感结构体两端设置电极。本发明可以在有限尺寸条件下，使用微加工工艺，减小金属薄膜厚度，提高金属叠层数量，使得人造倾斜叠层结构薄膜热流传感器的灵敏度大大提升。
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公开(公告)号：CN114608717B
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202210276343.5
申请日：2022-03-21
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01K7/22 , G01K13/024
Abstract: 本发明属于薄膜特种传感器技术领域，具体涉及一种热流与温度的单点同时测量方法。本发明基于原子层热电堆热流传感器，利用其功能层薄膜电阻值随温度变化而改变，将其视为热电阻传感器，根据测得原子层热流传感器功能层薄膜电阻值的大小来表征其温度。并将功能层薄膜同时作为热流敏感元件和温度敏感元件，实现了温度和热流在同一点的同时测量，通过温度值修正热流特性曲线，使得热流测量更加准确。本发明消除了现有技术使用两种不同传感器时由传感器尺寸、传感器安装位置不同等因素引起的误差，并且薄膜传感器体积小，实际测量位置更加精准。
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公开(公告)号：CN114608717A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210276343.5
申请日：2022-03-21
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01K7/22 , G01K13/024
Abstract: 本发明属于薄膜特种传感器技术领域，具体涉及一种热流与温度的单点同时测量方法。本发明基于原子层热电堆热流传感器，利用其功能层薄膜电阻值随温度变化而改变，将其视为热电阻传感器，根据测得原子层热流传感器功能层薄膜电阻值的大小来表征其温度。并将功能层薄膜同时作为热流敏感元件和温度敏感元件，实现了温度和热流在同一点的同时测量，通过温度值修正热流特性曲线，使得热流测量更加准确。本发明消除了现有技术使用两种不同传感器时由传感器尺寸、传感器安装位置不同等因素引起的误差，并且薄膜传感器体积小，实际测量位置更加精准。
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