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公开(公告)号：CN114659657A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210309541.7
申请日：2022-03-28
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 叠层结构薄膜热流传感器的制备方法，涉及传感器技术。本发明包括下述步骤：1）通过真空镀膜的方式在第一热电材料薄膜上生长第二热电材料薄膜，获得复合单元层，第一热电材料的厚度是第二热电材料薄膜的3~5倍；2）将预设数量的复合单元层重叠后，真空下烧结形成一个复合结构体；3）切割复合结构体，形成由各复合单元层斜向重叠构成的传感结构体；4）在传感结构体两端设置电极。本发明可以在有限尺寸条件下，使用微加工工艺，减小金属薄膜厚度，提高金属叠层数量，使得人造倾斜叠层结构薄膜热流传感器的灵敏度大大提升。
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