公开(公告)号：CN104805417B

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：CN201510192313.6

申请日：2015-04-22

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 刘爽 ,  刘云飞 ,  唐海华 ,  周湘 ,  熊流峰 ,  钟智勇 ,  王继岷 ,  刘永

IPC: C23C16/513

Abstract: 一种PECVD薄膜沉积的反应腔，属于镀膜技术领域。包括设有温度输出端与射频输入端的反应腔本体，其内设有气体反应室及基板，基板固定于气体反应室上方，气体反应室中设有孔板扩散板，包括孔板电极，孔板电极通过陶瓷棒设置于孔板扩散板上方，气体反应室的下方及基板上方分别固定设置有加热板及加热板，基板上和气体反应室内部的底部分别设有与温度输出端相连的热电偶，反应腔本体底部设有进气管，还包括分别与射频输入端及孔板电极相连的射频线。采用双层扩散结构的进气结构，使反应气体均匀到达基片，并增加两个加热板，提高反应气体到达放电电极间的能量，得到在放电区域充分电离且均匀分布的等离子体，提高光学薄膜的均匀性；适用于沉积光学薄膜。

公开(公告)号：CN104805417A

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201510192313.6

申请日：2015-04-22

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 刘爽 ,  刘云飞 ,  唐海华 ,  周湘 ,  熊流峰 ,  钟智勇 ,  王继岷 ,  刘永

IPC: C23C16/513

Abstract: 一种PECVD薄膜沉积的反应腔，属于镀膜技术领域。包括设有温度输出端与射频输入端的反应腔本体，其内设有气体反应室及基板，基板固定于气体反应室上方，气体反应室中设有孔板扩散板，包括孔板电极，孔板电极通过陶瓷棒设置于孔板扩散板上方，气体反应室的下方及基板上方分别固定设置有加热板及加热板，基板上和气体反应室内部的底部分别设有与温度输出端相连的热电偶，反应腔本体底部设有进气管，还包括分别与射频输入端及孔板电极相连的射频线。采用双层扩散结构的进气结构，使反应气体均匀到达基片，并增加两个加热板，提高反应气体到达放电电极间的能量，得到在放电区域充分电离且均匀分布的等离子体，提高光学薄膜的均匀性；适用于沉积光学薄膜。

公开(公告)号：CN104749115A

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201510184777.2

申请日：2015-04-17

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 刘爽 ,  周湘 ,  陈逢彬 ,  刘云飞 ,  熊流峰 ,  钟智勇 ,  刘永

IPC: G01N21/25 ,  G01N21/45 ,  G01N21/59

Abstract: 一种测量薄膜材料热光系数的装置及方法，属于测试技术领域，以便提供一种能够直接快速测量热光系数的装置和方法。包括工作台、光源、Y型光纤、反射频谱仪及计算机，Y型光纤的两个光纤臂分别与光源及反射频谱仪相连，反射频谱仪与计算机相连，还包括支撑架及加热单元，加热单元通过支撑架架设在工作台上，加热单元包括箱体，箱体中设有测试腔体，箱体上设有进气口和通光口，测试腔体中放置有加热板，Y型光纤的共同端位于通光口上方，通光口与加热板的位置相对应，还包括与测试腔体相接的温度控制器。通过非接触式测量能够在不破坏薄膜表面的情况下获得不同温度下薄膜的光学常数和透射率的连续谱线，测量精度高，适用于测量薄膜材料的热光系数。

公开(公告)号：CN216560783U

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN202122733184.0

申请日：2021-11-09

Applicant: 成都亚光电子股份有限公司 ,  电子科技大学

Inventor： 周湘 ,  刘世文 ,  何放 ,  钟智勇

IPC: G01R29/027

Abstract: 本实用新型公开了一种射频通信器件及其过脉宽检测电路，该电路包括检波器，脉冲信号保宽电路，基准脉宽产生电路，比较电路。脉冲信号保宽电路的输入端与检波器连接，脉冲信号保宽电路的输出端分别与比较电路和基准脉宽产生电路的输入端连接；基准脉宽产生电路的输出端与比较电路连接。脉冲信号保宽电路用于将接收到的射频脉冲信号转换为与其脉冲宽度一致的TTL保宽信号，分别发送至比较电路与基准脉宽产生电路，基准脉宽产生电路将产生的基准脉冲信号发送至比较电路，比较电路将得出TTL保宽信号与基准脉冲信号的脉宽的比较结果。因此可以检测到射频脉冲信号过脉宽时以保护电路，此外，可调电阻还可设定不同基准脉冲信号以适用于不同需求的器件。

公开(公告)号：CN217037144U

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202123086439.5

申请日：2021-12-09

Applicant: 成都亚光电子股份有限公司 ,  电子科技大学

Inventor： 周湘 ,  刘世文 ,  何放 ,  钟智勇

IPC: H03G3/20

Abstract: 本申请公开了一种稳定输出功率的自动增益控制电路及其装置，该稳定输出功率的自动增益控制电路涉及控制电路技术领域。稳定输出功率的自动增益控制电路包括：电调衰减器、功率放大器、耦合器和AGC控制电路。电调衰减器与功率放大器的输入端连接，功率放大器的输出端与耦合器连接，耦合器与AGC控制电路的输入端连接，AGC控制电路的输出端与电调衰减器连接。AGC控制电路用于根据功率值的大小判断输出功率是否稳定，当输出功率不稳定时，电调衰减器将输出功率衰减至预设功率值输出，以此实现稳定输出功率。