公开(公告)号：CN102636544A

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN201210119423.6

申请日：2012-04-23

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 太惠玲 ,  蒋亚东 ,  李娴 ,  但文超

IPC: G01N27/414 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明公开了一种多层薄膜OTFT甲醛传感器及其制作方法，为底栅底接触器件构型，设有源a、漏b、栅c三极，源极和漏极之间的沟道设计为叉指结构；其中源极和漏极为金/钛双层膜，以金材料做电极层，钛材料作为过渡层；源极和漏极之间设置敏感薄膜，该敏感薄膜为有机半导体材料-无机纳米氧化物多层薄膜。本发明将有机半导体材料与无机纳米氧化物相结合，采用多层膜的方式制备敏感薄膜，大大提高了传感器的灵敏度和响应速度，在实现甲醛气体检测的同时，解除了传统OTFT器件材料选择的局限性，并采用MEMS技术制备OTFT器件，具有体积小、成本低、可集成阵列等优点，为OTFT甲醛传感器的制备与应用开辟了新的途径。

公开(公告)号：CN101900607B

公开(公告)日：2012-07-25

申请号：CN201010208486.X

申请日：2010-06-24

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 许向东 ,  杨书兵 ,  蒋亚东 ,  周东 ,  杨洋 ,  但文超

IPC: G01J5/20

Abstract: 本发明公开了一种用于红外探测器的氧化钒薄膜及其制作方法，该薄膜为氧化钒-碳纳米管复合膜，即由一维碳纳米管与两维氧化钒膜复合而成，构成红外探测器的热敏电阻材料及红外吸收材料。采用这种氧化钒-碳纳米管复合膜用于红外探测器的制作，克服了现有制造技术对敏感薄膜化学结构造成的负面影响，同时，还能够克服单纯的碳纳米管、或单纯的氧化钒材料在电学和光学等性能的不足，提高器件的综合性能。本发明公开的氧化钒-碳纳米管复合膜的制备方法简单，无需复杂、昂贵的成膜设备，降低了制造成本，提高了红外探测器的工作性能，适宜大规模产业化生产。

公开(公告)号：CN101900607A

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN201010208486.X

申请日：2010-06-24

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 许向东 ,  杨书兵 ,  蒋亚东 ,  周东 ,  杨洋 ,  但文超

IPC: G01J5/20

Abstract: 本发明公开了一种用于红外探测器的氧化钒薄膜及其制作方法，该薄膜为氧化钒-碳纳米管复合膜，即由一维碳纳米管与两维氧化钒膜复合而成，构成红外探测器的热敏电阻材料及红外吸收材料。采用这种氧化钒-碳纳米管复合膜用于红外探测器的制作，克服了现有制造技术对敏感薄膜化学结构造成的负面影响，同时，还能够克服单纯的碳纳米管、或单纯的氧化钒材料在电学和光学等性能的不足，提高器件的综合性能。本发明公开的氧化钒-碳纳米管复合膜的制备方法简单，无需复杂、昂贵的成膜设备，降低了制造成本，提高了红外探测器的工作性能，适宜大规模产业化生产。