公开(公告)号：CN103119688B

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201180045304.4

申请日：2011-09-14

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 常胜武 ,  约瑟·C·欧尔森 ,  法兰克·辛克莱 ,  马太·P·麦卡伦

IPC: H01J37/10 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/21 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/24405 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/24542

Abstract: 一种束线式离子植入机，包括：离子源，其被配置为用以产生离子束；扫描器，其被配置为用以对离子束进行扫描，从而产生具有从扫描起点向外发散的轨迹的被扫描离子束；以及聚焦元件，其具有聚焦场，位于扫描器的上游，被配置为用以使离子束聚焦于位于扫描起点处的焦点。一种离子束调整方法包括：产生离子束；使离子束聚焦于位于扫描起点处的焦点；以及对离子束进行扫描，以产生具有从扫描起点向外发散的轨迹的被扫描离子束。

公开(公告)号：CN103119688A

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN201180045304.4

申请日：2011-09-14

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 常胜武 ,  约瑟·C·欧尔森 ,  法兰克·辛克莱 ,  马太·P·麦卡伦

IPC: H01J37/10 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/21 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/24405 ,  H01J2237/24528 ,  H01J2237/24542

Abstract: 一种束线式离子植入机，包括：离子源，其被配置为用以产生离子束；扫描器，其被配置为用以对离子束进行扫描，从而产生具有从扫描起点向外发散的轨迹的被扫描离子束；以及聚焦元件，其具有聚焦场，位于扫描器的上游，被配置为用以使离子束聚焦于位于扫描起点处的焦点。一种离子束调整方法包括：产生离子束；使离子束聚焦于位于扫描起点处的焦点；以及对离子束进行扫描，以产生具有从扫描起点向外发散的轨迹的被扫描离子束。