公开(公告)号：CN102782797B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201080064197.5

申请日：2010-12-28

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 彼德·L·凯勒曼 ,  法兰克·辛克莱 ,  维克多·M·本夫尼斯特 ,  陆钧

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/1477 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/24514

Abstract: 本发明揭示一种用于控制离子束的偏移、减速及聚焦的方法及设备。所述设备可包含分级偏移/减速透镜，其包含安置于离子束的相对侧的多个上部及下部电极，及用于调整施加至所述电极的电压的控制系统。使用可操作以独立地控制所述离子束的偏移及减速的一组“虚拟旋纽”来改变上部与下部电极对之间的电位差。虚拟旋纽包含：对束聚焦及残余能量污染的控制；对上游电子抑制的控制；对束偏移的控制；以及对所述束的最终偏移角度的微调，同时将所述束的位置约束于所述透镜的出口处。在另一实施例中，藉由在量测晶圆平面处所述束位置及角度的同时微调束偏移来进行此步骤。在又一实施例中，藉由调谐偏移因子以达成定中心于所述晶圆平面处的束来进行此步骤。

公开(公告)号：CN102782797A

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN201080064197.5

申请日：2010-12-28

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 彼德·L·凯勒曼 ,  法兰克·辛克莱 ,  维克多·M·本夫尼斯特 ,  陆钧

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/1477 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/24514

Abstract: 本发明揭示一种用于控制离子束的偏移、减速及聚焦的方法及设备。所述设备可包含分级偏移/减速透镜，其包含安置于离子束的相对侧的多个上部及下部电极，及用于调整施加至所述电极的电压的控制系统。使用可操作以独立地控制所述离子束的偏移及减速的一组“虚拟旋纽”来改变上部与下部电极对之间的电位差。虚拟旋纽包含：对束聚焦及残余能量污染的控制；对上游电子抑制的控制；对束偏移的控制；以及对所述束的最终偏移角度的微调，同时将所述束的位置约束于所述透镜的出口处。在另一实施例中，藉由在量测晶圆平面处所述束位置及角度的同时微调束偏移来进行此步骤。在又一实施例中，藉由调谐偏移因子以达成定中心于所述晶圆平面处的束来进行此步骤。