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公开(公告)号：CN109478487B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201780045501.3
申请日：2017-07-21
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 克里斯多夫·鲁波利 , 雪莉·A·德基 , 丹尼尔·梅吉立克帝 , 维克多·J·席瑞奥特 , 可劳斯·贝克
IPC: H01J37/08 , H01J37/317 , H05H7/06
Abstract: 一种操纵离子束的电极、加速器柱以及包含上述的离子植入装置。所述电极可包括：嵌件，具有离子束开孔以经由所述离子束开孔传导所述离子束，所述嵌件包含第一导电材料；框架，设置在所述嵌件周围且包含第二导电材料；以及外侧部分，所述外侧部分围绕所述框架设置且包含第三导电材料，其中所述嵌件能够可逆地从所述框架拆卸，且其中所述框架能够可逆地附装到所述外侧部分。
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公开(公告)号：CN101088138B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200580044839.4
申请日：2005-11-18
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/12
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J2237/047 , H01J2237/12
Abstract: 一种在减速模式过程中离子注入机的加速-减速管(240)的强聚焦效应的弱化装置及方法。该装置包括一管透镜(250)，围绕离子束(104)，并与加速-减速管(240)的减速透镜(260)相邻。该管透镜使离子束(104)在管透镜(250)的入口处散焦，从而减少由管产生的离子散焦问题。本发明也包括一加速-减速管以及与管透镜成为一体的离子注入机。在管透镜(250)中后续还可添加另外的减速抑制电极(270)，将电子限制在管透镜内。
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公开(公告)号：CN109478487A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780045501.3
申请日：2017-07-21
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 克里斯多夫·鲁波利 , 雪莉·A·德基 , 丹尼尔·梅吉立克帝 , 维克多·J·席瑞奥特 , 可劳斯·贝克
IPC: H01J37/08 , H01J37/317 , H05H7/06
Abstract: 一种操纵离子束的电极。所述电极可包括：嵌件，具有离子束开孔以经由所述离子束开孔传导所述离子束，所述嵌件包含第一导电材料；框架，设置在所述嵌件周围且包含第二导电材料；以及外侧部分，所述外侧部分围绕所述框架设置且包含第三导电材料，其中所述嵌件能够可逆地从所述框架拆卸，且其中所述框架能够可逆地附装到所述外侧部分。
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公开(公告)号：CN101088138A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200580044839.4
申请日：2005-11-18
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/12
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J2237/047 , H01J2237/12
Abstract: 一种在减速模式过程中离子注入机的加速－减速管(240)的强聚焦效应的弱化装置及方法。该装置包括一管透镜(250)，围绕离子束(104)，并与加速－减速管(240)的减速透镜(260)相邻。该管透镜使离子束(104)在管透镜(250)的入口处散焦，从而减少由管产生的离子散焦问题。本发明也包括一加速－减速管以及与管透镜成为一体的离子注入机。在管透镜(250)中后续还可添加另外的减速抑制电极(270)，将电子限制在管透镜内。
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