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公开(公告)号：CN101325240B
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN200810099857.8
申请日：2008-05-30
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 株式会社电装
Abstract: 本发明涉及一种压电体薄膜、压电体及其制造方法、使用该压电体薄膜的压电体谐振子、执行器元件以及物理传感器。其中，压电体薄膜包括含有钪的氮化铝薄膜，氮化铝薄膜中的钪的含有率在钪的原子数和铝的原子数的总量设定为100原子％时为0.5～50原子％。由此，本发明的压电体薄膜不会失去氮化铝薄膜所具有的弹性波的传播速度、Q值以及频率温度系数等特性，从而能提高压电响应性。
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公开(公告)号：CN101325240A
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200810099857.8
申请日：2008-05-30
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 株式会社电装
Abstract: 本发明涉及一种压电体薄膜、压电体及其制造方法、使用该压电体薄膜的压电体谐振子、执行器元件以及物理传感器。其中，压电体薄膜包括含有钪的氮化铝薄膜，氮化铝薄膜中的钪的含有率在钪的原子数和铝的原子数的总量设定为100原子％时为0.5～50原子％。由此，本发明的压电体薄膜不会失去氮化铝薄膜所具有的弹性波的传播速度、Q值以及频率温度系数等特性，从而能提高压电响应性。
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公开(公告)号：CN104136881A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380007820.7
申请日：2013-02-01
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/0608 , G01B2210/56
Abstract: 本发明涉及计测物品表面上的突起或突条的高度的方法及用于该方法的装置，在计测形成在物品表面上的细微的突起或突条的高度时，能够以非接触的方式高效并且短时间地计测高度。以形成相对于物品(1)的表面呈小角度的摄影光轴(OA)的方式设置摄像装置(20)，在来自照明光源(40)的照明光下通过摄像装置(20)对物品(1)的表面进行摄影，通过图像处理装置(30)计测由摄影而得到的图像中与突起或突条的高度相当的尺寸，根据摄像装置(20)的摄影倍率来求得突起的高度。另外，对物品(1)表面呈小角度地照射激光，一边进行扫描一边测定由物品(1)表面上的突起或突条产生的散射光的强度，根据强度分布中峰值的宽度来求得突起或突条的高度。
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公开(公告)号：CN104136881B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201380007820.7
申请日：2013-02-01
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/0608 , G01B2210/56
Abstract: 本发明涉及计测物品表面上的突起或突条的高度的方法及用于该方法的装置，在计测形成在物品表面上的细微的突起或突条的高度时，能够以非接触的方式高效并且短时间地计测高度。以形成相对于物品(1)的表面呈小角度的摄影光轴(OA)的方式设置摄像装置(20)，在来自照明光源(40)的照明光下通过摄像装置(20)对物品(1)的表面进行摄影，通过图像处理装置(30)计测由摄影而得到的图像中与突起或突条的高度相当的尺寸，根据摄像装置(20)的摄影倍率来求得突起的高度。另外，对物品(1)表面呈小角度地照射激光，一边进行扫描一边测定由物品(1)表面上的突起或突条产生的散射光的强度，根据强度分布中峰值的宽度来求得突起或突条的高度。
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