公开(公告)号：CN104136881A

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201380007820.7

申请日：2013-02-01

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 蒲原敏浩 ,  野中一洋 ,  远坂启太

IPC: G01B11/02

CPC classification number: G01B11/0608 ,  G01B2210/56

Abstract: 本发明涉及计测物品表面上的突起或突条的高度的方法及用于该方法的装置，在计测形成在物品表面上的细微的突起或突条的高度时，能够以非接触的方式高效并且短时间地计测高度。以形成相对于物品(1)的表面呈小角度的摄影光轴(OA)的方式设置摄像装置(20)，在来自照明光源(40)的照明光下通过摄像装置(20)对物品(1)的表面进行摄影，通过图像处理装置(30)计测由摄影而得到的图像中与突起或突条的高度相当的尺寸，根据摄像装置(20)的摄影倍率来求得突起的高度。另外，对物品(1)表面呈小角度地照射激光，一边进行扫描一边测定由物品(1)表面上的突起或突条产生的散射光的强度，根据强度分布中峰值的宽度来求得突起或突条的高度。

公开(公告)号：CN104136881B

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201380007820.7

申请日：2013-02-01

Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所

Inventor： 蒲原敏浩 ,  野中一洋 ,  远坂启太

IPC: G01B11/02

CPC classification number: G01B11/0608 ,  G01B2210/56

Abstract: 本发明涉及计测物品表面上的突起或突条的高度的方法及用于该方法的装置，在计测形成在物品表面上的细微的突起或突条的高度时，能够以非接触的方式高效并且短时间地计测高度。以形成相对于物品(1)的表面呈小角度的摄影光轴(OA)的方式设置摄像装置(20)，在来自照明光源(40)的照明光下通过摄像装置(20)对物品(1)的表面进行摄影，通过图像处理装置(30)计测由摄影而得到的图像中与突起或突条的高度相当的尺寸，根据摄像装置(20)的摄影倍率来求得突起的高度。另外，对物品(1)表面呈小角度地照射激光，一边进行扫描一边测定由物品(1)表面上的突起或突条产生的散射光的强度，根据强度分布中峰值的宽度来求得突起或突条的高度。