公开(公告)号：CN101634598A

公开(公告)日：2010-01-27

申请号：CN200910160905.4

申请日：2009-07-22

Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社

Inventor： 渡边润 ,  藤崎昌伸 ,  本山久雄

IPC: G01L9/08 ,  G01L27/00

CPC classification number: G01L9/0022 ,  G01L19/02

Abstract: 本发明提供一种减少伴随温度变化的压力测定值的误差的压力传感器。压力传感器(10)具有：外壳(12)；受压单元(膜片24)，其封闭所述外壳的开口部(22)，将外部压力传递到所述外壳(12)内部；以及感压元件(40)，其具有感压部(振动臂)(40c)和与所述感压部的两端连接的一对基部(第1基部40a、第2基部40b)，将力的检测方向作为检测轴，连接所述一对基部的直线和所述受压单元的位移方向平行配置，并且，将所述基部的一方(第1基部40a)连接到由于所述压力而位移的所述受压单元的中央区域(24a)，将所述基部的另一方(第2基部40b)经由连接部件(42)连接到所述受压单元的固定侧的周缘区域(24c)。