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公开(公告)号：CN101545815B
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200910128545.X
申请日：2009-03-18
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor： 本山久雄
CPC classification number: G01L9/0033
Abstract: 本发明提供压力传感器及其制造方法，该压力传感器具有在内部不使用作为承压介质的油的结构，其目的是提测量精度。压力传感器(1)具有：收纳后述各构件的壳体(4)，其内部为真空且具有对置配置的第一和第二压力输入口(2)、(3)；第一膜片(5)，其配置在第一压力输入口的前端部，并对应于作为测量对象的液体的压力而弯曲；第一轴(6)，其一端在相对于第一膜片垂直的方向上连接在第一膜片上；波纹管(7)，其配置于第二压力输入口，大气侧的压力被施加到该波纹管；悬臂(8)，在其一端(8a)上连接有第一轴的另一端和波纹管的另一端；和压敏元件(10)，是频率变化型压电元件，其配置在悬臂的另一端(8b)和L字形的固定部件(9)之间。
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公开(公告)号：CN101545815A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200910128545.X
申请日：2009-03-18
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor： 本山久雄
CPC classification number: G01L9/0033
Abstract: 本发明提供压力传感器及其制造方法，该压力传感器具有在内部不使用作为承压介质的油的结构，其目的是提高压力传感器的测量精度。压力传感器(1)具有：收纳后述各构件的壳体(4)，其内部为真空且具有对置配置的第一压力输入口(2)和第二压力输入口(3)；第一膜片(5)，其配置在第一压力输入口的前端部，并对应于作为测量对象的液体的压力而弯曲；第一轴(6)，其一端在相对于第一膜片垂直的方向上连接在第一膜片上；波纹管(7)，其配置于第二压力输入口，大气侧的压力被施加到该波纹管；悬臂(8)，在其一端(8a)上连接有第一轴的另一端和波纹管的另一端；和压敏元件(10)，其配置在悬臂(8)的另一端(8b)和固定部件(9)之间。
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公开(公告)号：CN101545816B
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200910126883.X
申请日：2009-03-24
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor： 本山久雄
CPC classification number: G01L9/008 , G01L9/0033 , G01L13/023
Abstract: 本发明提供一种压力传感器，不使用油作为内部的承压介质，通过使力传递部件的结构简单化从而实现小型化，并且压力检测的测定精度提高且灵敏度良好。在外壳(4)的第一压力输入口(2)的前端部安装有随着测定对象液体的压力而弯曲的第一膜片(5)，在第二压力输入口(3)的前端部安装有随着大气压力而弯曲的第二膜片(6)。在第一膜片(5)和第二膜片(6)之间安装有轴(7)。在轴(7)的预定位置安装有活动部件(9)。通过将两端的支撑部分别连接并支撑在活动单元(9)和固定单元(10)上来对压敏元件(11)进行固定，压敏元件(11)的所述两端的支撑部沿力的检测轴方向进行配置。压敏元件(11)被配置为其移位方向与轴(7)的移位方向相同。
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公开(公告)号：CN101603870A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200910147416.5
申请日：2009-06-10
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor： 本山久雄
CPC classification number: G01L13/025 , G01L9/0022 , G01L19/0046
Abstract: 本发明提供抑制了对熔接后的受压面造成的残留应力并改善了经年劣化的压力传感器用膜片和搭载了该膜片的压力传感器。压力传感器(10)用膜片(32)呈同心圆状一体地具有中央部(膜片主体)(40)和周缘部(凸缘)(44)，该中央部(40)的外表面受到外部压力而变形，内表面向外壳(12)内部的感压元件(38)传递力，该周缘部(44)在所述中央部(膜片主体)(40)的外侧，与形成在外壳(12)上的接头(22)的外周熔接，所述压力传感器(10)用膜片(32)封闭所述接头(22)，设置有在所述中央部(膜片主体)(40)和所述周缘部(凸缘)(44)之间形成阶梯的缓冲部(42)。
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公开(公告)号：CN101603871B
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN200910147417.X
申请日：2009-06-10
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor： 本山久雄
IPC: G01L9/08
CPC classification number: G01L9/0008 , G01L9/0022
Abstract: 本发明提供能够实现小型化且具有良好的灵敏度的压力传感器。压力传感器具有：外壳(12)；一面为受压面的膜片(32)，其封闭所述外壳(12)的接头(22)；力传递单元(34)，其从所述外壳(12)内部连接到所述膜片(32)的另一面的中央部；以及感压元件(38)，其以力的检测方向为检测轴，所述力传递单元(34)的位移方向和所述检测轴的方向与所述受压面大致垂直，所述感压元件(38)的一端经由粘接单元支承固定在所述外壳(12)上，另一端经由粘接单元支承固定在所述力传递单元(34)上，所述粘接单元是无机粘接剂(40)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101603869A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200910139281.8
申请日：2009-06-05
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor： 本山久雄
CPC classification number: G01L9/0022 , G01L9/0008
Abstract: 本发明提供能够实现小型化且具有良好的灵敏度的压力传感器。压力传感器具有：外壳(12)；一面为受压面的膜片(32)，其封闭所述外壳(12)的接头(22)；以及感压部，其以力的检测方向为检测轴，该感压部的一端与所述膜片(32)的另一面的中央区域(40)连接，所述感压部的另一端与所述外壳(12)连接，所述检测轴与所述受压面大致垂直，所述中央区域(40)和所述感压部的一端的接触部分的外周位于所述中央区域(40)的外周的内侧，所述中央区域(40)的厚度比所述中央区域(40)的周围的部位的厚度厚。
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公开(公告)号：CN101603869B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN200910139281.8
申请日：2009-06-05
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor： 本山久雄
CPC classification number: G01L9/0022 , G01L9/0008
Abstract: 本发明提供能够实现小型化且具有良好的灵敏度的压力传感器。压力传感器具有：外壳(12)；一面为受压面的膜片(32)，其封闭所述外壳(12)的接头(22)；以及感压部，其以力的检测方向为检测轴，该感压部的一端与所述膜片(32)的另一面的中央区域(40)连接，所述感压部的另一端与所述外壳(12)连接，所述检测轴与所述受压面大致垂直，所述中央区域(40)和所述感压部的一端的接触部分的外周位于所述中央区域(40)的外周的内侧，所述中央区域(40)的厚度比所述中央区域(40)的周围的部位的厚度厚。
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公开(公告)号：CN101634598A
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：CN200910160905.4
申请日：2009-07-22
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
CPC classification number: G01L9/0022 , G01L19/02
Abstract: 本发明提供一种减少伴随温度变化的压力测定值的误差的压力传感器。压力传感器(10)具有：外壳(12)；受压单元(膜片24)，其封闭所述外壳的开口部(22)，将外部压力传递到所述外壳(12)内部；以及感压元件(40)，其具有感压部(振动臂)(40c)和与所述感压部的两端连接的一对基部(第1基部40a、第2基部40b)，将力的检测方向作为检测轴，连接所述一对基部的直线和所述受压单元的位移方向平行配置，并且，将所述基部的一方(第1基部40a)连接到由于所述压力而位移的所述受压单元的中央区域(24a)，将所述基部的另一方(第2基部40b)经由连接部件(42)连接到所述受压单元的固定侧的周缘区域(24c)。
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公开(公告)号：CN101603871A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200910147417.X
申请日：2009-06-10
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor： 本山久雄
IPC: G01L9/08
CPC classification number: G01L9/0008 , G01L9/0022
Abstract: 本发明提供能够实现小型化且具有良好的灵敏度的压力传感器。压力传感器具有：外壳(12)；一面为受压面的膜片(32)，其封闭所述外壳(12)的接头(22)；力传递单元(34)，其从所述外壳(12)内部连接到所述膜片(32)的另一面的中央部；以及感压元件(38)，其以力的检测方向为检测轴，所述力传递单元(34)的位移方向和所述检测轴的方向与所述受压面大致垂直，所述感压元件(38)的一端经由粘接单元支承固定在所述外壳(12)上，另一端经由粘接单元支承固定在所述力传递单元(34)上，所述粘接单元是无机粘接剂(40)。
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公开(公告)号：CN101545816A
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200910126883.X
申请日：2009-03-24
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor： 本山久雄
CPC classification number: G01L9/008 , G01L9/0033 , G01L13/023
Abstract: 本发明提供一种压力传感器，不使用油作为内部的承压介质，通过使力传递部件的结构简单化从而实现小型化，并且压力检测的测定精度提高且灵敏度良好。在外壳(4)的第一压力输入口(2)的前端部安装有随着测定对象液体的压力而弯曲的第一膜片(5)，在第二压力输入口(3)的前端部安装有随着大气压力而弯曲的第二膜片(6)。在第一膜片(5)和第二膜片(6)之间安装有轴(7)。在轴(7)的预定位置安装有活动部件(9)。通过将两端的支撑部分别连接并支撑在活动单元(9)和固定单元(10)上来对压敏元件(11)进行固定，压敏元件(11)的所述两端的支撑部沿力的检测轴方向进行配置。压敏元件(11)被配置为其移位方向与轴(7)的移位方向相同。
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