一种AB两相梯度薄膜、大面积梯度薄膜材料及制备方法

    公开(公告)号:CN115852311A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202211369543.1

    申请日:2022-11-03

    Applicant: 湘潭大学

    Abstract: 本发明公开了一种利用高通量制备方法获得AB两相梯度薄膜和大面积梯度薄膜材料,属于复合薄膜材料技术领域,大面积梯度薄膜材料包括基底层、底电极层和功能层;基底层为刚性基底SrTiO3衬底,底电极层为基于所述基底层生长的SrRuO3薄膜;功能层为基于所述底电极层生长的AB两相梯度薄膜,实现多功能应用。本发明采用高通量制备方法,制备了以BaTiO3和SrTiO3为基本单元的梯度薄膜,相比于单一成分的薄膜来说,能在大面积衬底上同时获得大量不同组分的梯度薄膜,极大程度便于在更短时间内筛选多组分薄膜的最佳组分,为薄膜材料的应用与发展提供了新的途径和方法。

    一种高通量反铁电-介电储能固溶薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN115763074A

    公开(公告)日:2023-03-07

    申请号:CN202211449424.7

    申请日:2022-11-18

    Applicant: 湘潭大学

    Abstract: 本发明公开了一种高通量反铁电‑介电储能固溶薄膜,包括:衬底,以及在衬底上依次生长的底电极层和反铁电‑介电层;衬底为刚性基底SrTiO3;底电极层为SrRuO3薄膜;反铁电‑介电层是由PbZrO3反铁电层和SrTiO3介电层交替生长的固溶薄膜;PbZrO3反铁电层成分沿水平方向阶梯式减少,SrTiO3介电层成分沿水平方向阶梯式增多。本发明通过改变PbZrO3和SrTiO3的激光发数比、循环周期等生长参数优化了高通量薄膜的反铁电特性,从而实现了更低漏电流密度以及更优性能,有望使其应用于储能薄膜以及电容器等应用领域。

    AB复合多铁薄膜、高通量复合多铁薄膜材料及制备方法

    公开(公告)号:CN115910522A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202211369793.5

    申请日:2022-11-03

    Applicant: 湘潭大学

    Abstract: 本发明公开了一种AB复合多铁薄膜、高通量复合多铁薄膜材料及其制备方法,属于复合薄膜材料技术领域,高通量复合多铁薄膜材料包括衬底、底电极层和功能层;衬底为刚性基底SrTiO3衬底;底电极层设置在衬底上,底电极层为基于衬底生长的SrRuO3薄膜;功能层设置在底电极层上,功能层为基于底电极层生长的AB复合多铁薄膜。本发明结合双靶材法与自动掩膜版系统,制备了以Ga0.5Fe1.5O3和Fe3O4为基本单元的梯度复合多铁薄膜,通过改变Ga0.5Fe1.5O3和Fe3O4的激光发数比、循环周期等生长参数调控其磁电耦合效应,有望真正实现基于磁电复合薄膜的功能器件的集成化、微型化和多功能化。

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