一种高效超精密剪切增稠-化学协同抛光装置

    公开(公告)号:CN108098536B

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN201810122104.8

    申请日:2018-02-07

    Abstract: 本发明公开了一种高效超精密剪切增稠‑化学协同抛光装置,包括抛光工具、抛光工具夹具、抛光固动盘、防尘罩及抛光液循环装置,抛光固动盘安装在防尘罩内,防尘罩上设有抛光工具夹具,抛光工具安装在抛光工具夹具上,抛光工具设置在防尘罩内;抛光工具包括抛光液性状调节室和中空管,中空管上端与抛光液性状调节室出口连接,抛光液性状调节室进口与抛光液循环装置的出口连接,抛光液循环装置的进口与抛光液出口连接,抛光工具的下端处设有凹腔,凹腔内设有液流边界约束机构。本发明提高了工件的加工效率、精度,并扩展了加工材料的范围及面形适应性。

    一种高效超精密剪切增稠-化学协同抛光装置

    公开(公告)号:CN108098536A

    公开(公告)日:2018-06-01

    申请号:CN201810122104.8

    申请日:2018-02-07

    Abstract: 本发明公开了一种高效超精密剪切增稠‑化学协同抛光装置,包括抛光工具、抛光工具夹具、抛光固动盘、防尘罩及抛光液循环装置,抛光固动盘安装在防尘罩内,防尘罩上设有抛光工具夹具,抛光工具安装在抛光工具夹具上,抛光工具设置在防尘罩内;抛光工具包括抛光液性状调节室和中空管,中空管上端与抛光液性状调节室出口连接,抛光液性状调节室进口与抛光液循环装置的出口连接,抛光液循环装置的进口与抛光液出口连接,抛光工具的下端处设有凹腔,凹腔内设有液流边界约束机构。本发明提高了工件的加工效率、精度,并扩展了加工材料的范围及面形适应性。

    一种高效超精密剪切增稠-化学协同抛光加工装置

    公开(公告)号:CN207840983U

    公开(公告)日:2018-09-11

    申请号:CN201820213320.9

    申请日:2018-02-07

    Abstract: 本实用新型公开了一种高效超精密剪切增稠-化学协同抛光加工装置,包括抛光工具、抛光工具夹具、抛光固动盘、防尘罩及抛光液循环装置,抛光固动盘安装在防尘罩内,防尘罩上设有抛光工具夹具,抛光工具安装在抛光工具夹具上,抛光工具设置在防尘罩内;抛光工具包括抛光液性状调节室和中空管,中空管上端与抛光液性状调节室出口连接,抛光液性状调节室进口与抛光液循环装置的出口连接,抛光液循环装置的进口与抛光液出口连接,抛光工具的下端处设有凹腔,凹腔内设有液流边界约束机构。本实用新型提高了工件的加工效率、精度,并扩展了加工材料的范围及面形适应性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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