一种剪切增稠-电泳复合抛光方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110026828A

    公开(公告)日:2019-07-19

    申请号:CN201910231076.8

    申请日:2019-03-26

    Abstract: 一种剪切增稠-电泳复合抛光方法,包括如下步骤:1)选用工件夹具,将其安装在机械臂上;2)将工件装夹在工件夹具上;3)配置具有剪切增稠-电泳复合效应的抛光液,并将抛光液置于输液管内;4)将抛光液输入到抛光盘上,启动主轴带动抛光盘;5)启动剪切增稠效应控制用机械臂、电泳效应控制用直流电源,在机械臂的作用下,工件表面接触具有剪切增稠-电泳复合效应的抛光液,并提供载荷,主动控制工件微转动,同时电源电极两端产生磨料颗粒的电泳效应,形成抛光液与工件表面的高度吻合与材料去除,实现剪切增稠-电泳复合抛光。本发明提供一种高效的、低/无表面损伤或亚表面损伤的剪切增稠-电泳复合超精密抛光方法。

    一种电化学增稠抛光装置

    公开(公告)号:CN109877656A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910221004.5

    申请日:2019-03-22

    Abstract: 一种电化学增稠抛光装置,包括工件夹具、抛光盘、抛光垫、抛光液池和主轴,所述抛光盘安装在主轴上,抛光垫安装在抛光盘上,抛光液池安装在抛光盘下;所述工件夹具在抛光盘的上方,工件装夹在工件夹具上;所述抛光装置还包括电化学增稠发生器,所述的电化学增稠发生器安装在工件夹具内,其反应电极在反应池内;抛光液包括可电化学增稠粒子,所述可电化学增稠粒子能溶于水,在电化学增稠发生器的作用下,生成增稠相;粗抛时,未启动可电化学增稠抛光液,粘度小;精抛时,启动电化学增稠发生器,抛光液是电化学增稠抛光液,粘度大。本发明粗抛减少总抛光时间,精抛(电化学增稠抛光)可获得表面质量高、无/低表面损伤的工件。

    一种具有胀流特性的柔性磨具及其抛光方法

    公开(公告)号:CN109894990A

    公开(公告)日:2019-06-18

    申请号:CN201910221152.7

    申请日:2019-03-22

    Abstract: 一种具有胀流特性的柔性磨具,所述柔性磨具是由水凝胶、胀流相、磨料、凝固剂组成的固态磨具,抛光过程中,水凝胶和凝固剂会缓慢逐渐溶解,释放出胀流相和磨料,在水溶液的参与下形成胀流抛光液,胀流抛光液产生胀流现象,粘度上升,胀流抛光液会吸附在工件表面,在磨具膨胀产生的载荷和夹具提供的剪切速率双重作用下,实现磨具对工件表面的柔性抛光。以及提供一种具有胀流特性的柔性磨具实现的抛光方法。本发明具有胀流特性的柔性磨具有着使用方便、易储存、低经济成本等优点;由于磨具的胀流特性和柔性抛光,磨具能够适应多种面型(平面、简单或复杂曲面),能够获得无/低表面损伤或亚表面损伤的工件。

    一种电化学增稠抛光方法

    公开(公告)号:CN109877657A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910221630.4

    申请日:2019-03-22

    Abstract: 一种电化学增稠抛光方法,包括如下步骤:1)选用工件夹具;2)将工件装夹在工件夹具上;3)配置具有可电化学增稠的抛光液,并将抛光液置于抛光液箱内;4)启动主轴和抛光液箱水泵,形成抛光液循环系统,将抛光液经夹具输入到抛光盘上,使得抛光液在抛光盘上相对运动;5)粗抛:使工件在抛光液下抛光一段时间;6)精抛:启动工件夹具内部电化学增稠发生器,输入到反应池的抛光液发生变化,形成电化学增稠抛光液;与此同时,增稠抛光液经微型水泵输入到抛光盘上,实现对工件的电化学增稠抛光。本发明粗抛减少总抛光时间,精抛(电化学增稠抛光)可获得表面质量高、无/低表面损伤的工件。

    一种剪切增稠-电泳复合抛光装置

    公开(公告)号:CN109877658B

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN201910231081.9

    申请日:2019-03-26

    Abstract: 一种剪切增稠‑电泳复合抛光装置,包括抛光垫、直流电源、主轴、抛光盘、第一电极、机械臂、工件夹具、集液器和抛光液池,所述工件夹具为第二电极,直流电源的正负极分别与所述第一电极、第二电极连接;所述的抛光盘在主轴上,由主轴带动抛光盘,第一电极在抛光盘上,绝缘层在第一电极上,抛光垫在所述绝缘层上,工件夹具位于抛光垫的上方,机械臂上设有工件夹具;所述抛光盘位于所述抛光液池内,所述抛光液池的回流口与集液器连接,所述集液器与输液管连接,所述输液管的出口为加工工位。本发明提供一种高效的、低/无表面损伤或亚表面损伤的剪切增稠‑电泳复合超精密抛光装置。

    一种具有胀流特性的柔性磨具及其抛光方法

    公开(公告)号:CN109894990B

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN201910221152.7

    申请日:2019-03-22

    Abstract: 一种具有胀流特性的柔性磨具,所述柔性磨具是由水凝胶、胀流相、磨料、凝固剂组成的固态磨具,抛光过程中,水凝胶和凝固剂会缓慢逐渐溶解,释放出胀流相和磨料,在水溶液的参与下形成胀流抛光液,胀流抛光液产生胀流现象,粘度上升,胀流抛光液会吸附在工件表面,在磨具膨胀产生的载荷和夹具提供的剪切速率双重作用下,实现磨具对工件表面的柔性抛光。以及提供一种具有胀流特性的柔性磨具实现的抛光方法。本发明具有胀流特性的柔性磨具有着使用方便、易储存、低经济成本等优点;由于磨具的胀流特性和柔性抛光,磨具能够适应多种面型(平面、简单或复杂曲面),能够获得无/低表面损伤或亚表面损伤的工件。

    主动控制剪切作用与温度诱导梯度增稠抛光方法

    公开(公告)号:CN109822401A

    公开(公告)日:2019-05-31

    申请号:CN201910246394.1

    申请日:2019-03-29

    Abstract: 一种主动控制剪切作用与温度诱导梯度增稠抛光方法,包括以下步骤:1)选用工件夹具;2)将工件装夹在工件夹具上;3)配置具有温度诱导梯度增稠效应的抛光液,并将抛光液置于抛光液箱内;4)启动主轴和水泵,将抛光液输入到抛光盘上,使得抛光液在抛光盘上相对运动,形成抛光液循环系统;5)使工件在大剪切作用下粗抛;6)使用温度传感器,监测到抛光液的温度T℃,启动变温棒,每隔一段时间梯度调整抛光液温度、结合主动剪切速率控制,即每隔一段时间抛光液粘度增大,造成抛光液梯度增稠,实现温度诱导梯度增稠抛光。本发明提供一种抛光效率较高、抛光过程可控性和灵活性良好的主动控制剪切温度诱导梯度增稠抛光方法。

    一种高效超精密剪切增稠-化学协同抛光方法

    公开(公告)号:CN108555698A

    公开(公告)日:2018-09-21

    申请号:CN201810095554.2

    申请日:2018-01-31

    Abstract: 本发明公开了一种高效超精密剪切增稠-化学协同抛光方法,包括如下步骤:1)将工件固定在实施设备的抛光固动盘上;2)配制高效超精密剪切增稠-化学协同抛光液,抛光液包括抛光磨粒或微粉、剪切增稠增强相、水及绿色化学环保物质;3)将配制的抛光液添加到防尘罩内,开启抛光液循环装置,使得抛光液在经抛光工具供给至工件表面;4)开启驱动装置及驱动机构,使得抛光工具相对于工件运动,对工件的加工表面进行抛光。本发明利用液流边界主动约束与抛光液流流动主动控制、剪切增稠与绿色化学作用协同,提高加工效率、精度,并扩展可加工材料及面形。

    一种电化学增稠抛光装置

    公开(公告)号:CN109877656B

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN201910221004.5

    申请日:2019-03-22

    Abstract: 一种电化学增稠抛光装置,包括工件夹具、抛光盘、抛光垫、抛光液池和主轴,所述抛光盘安装在主轴上,抛光垫安装在抛光盘上,抛光液池安装在抛光盘下;所述工件夹具在抛光盘的上方,工件装夹在工件夹具上;所述抛光装置还包括电化学增稠发生器,所述的电化学增稠发生器安装在工件夹具内,其反应电极在反应池内;抛光液包括可电化学增稠粒子,所述可电化学增稠粒子能溶于水,在电化学增稠发生器的作用下,生成增稠相;粗抛时,未启动可电化学增稠抛光液,粘度小;精抛时,启动电化学增稠发生器,抛光液是电化学增稠抛光液,粘度大。本发明粗抛减少总抛光时间,精抛(电化学增稠抛光)可获得表面质量高、无/低表面损伤的工件。

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