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公开(公告)号：CN101059971B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200610060442.0
申请日：2006-04-20
Applicant: 北京大学深圳研究生院 , 清华大学深圳研究生院
IPC: G11B7/095
Abstract: 本发明涉及一种光盘偏心测量方法，该测量方法包括：将光盘伺服系统设置为聚焦闭环循迹开环状态；获得光盘伺服系统在读取预检测光盘时产生的道跟踪误差信号，并确定道跟踪误差信号中高频段的正弦波数量；将正弦波数量乘以轨道间距，以确定预检测光盘的偏心值。本发明的偏心测量方法只需采集聚焦闭环循迹开环跟踪误差信号，适用于弹性实验操作，实验参数可调，主轴电机转速及光头的位置可调。操作简单，适用于所有盘片的测量，具有较高的精度。
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公开(公告)号：CN100498944C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200710063051.9
申请日：2007-01-26
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种使用蓝光激光的光学头结构系统，该结构系统包括激光器、准直镜、整形棱镜、偏振分光棱镜、反射镜、1/4波片、物镜、盘片、单透镜、平板玻璃、柱面镜、信号探测器、信号聚光镜、激光功率探测器、圆形光栏。该系统特征在于：1.激光器发出蓝光波段激光，该激光为P偏振光，2.由准直镜、整形棱镜、圆形光栏对产生的激光进行处理，得到光强分布均匀的圆形平行光束，3.由偏振分光棱镜对产生的圆形平行P偏振光束进行分光，少量P偏振光反馈到功率探测器进行激光器恒功率控制；绝大部分平行的P偏振光透过经过1/4波片后变为圆偏振光对光学盘片中的坑道信号数据进行聚光采集，4.由1/4波片将光学盘片表面坑道反射的圆偏振光转化为S偏振光，S偏振光经过偏振分光棱镜反射到信号探测器上，进行数据读取。本发明解决光盘容量受限问题，可大大提高光盘的存储容量。
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公开(公告)号：CN1490804A
公开(公告)日：2004-04-21
申请号：CN03156366.X
申请日：2003-09-05
Applicant: 清华大学
IPC: G11B7/28
Abstract: 只读光盘扫描投影复制方法及装置，属于光盘复制技术领域。为了解决现有技术中高密度光盘复制困难和新型的灰度分阶多阶只读光盘的复制问题，本发明提出了只读光盘扫描投影复制方法及装置，所述方法的主要步骤为：照明系统在母盘上形成照明光斑，母盘上处于照明区域的部分经过1∶1投影成像系统在待复制光盘表面的抗蚀剂、具有电锁特性的光致变色材料或感光剂上成像曝光。通过母盘和待复制只读光盘的同步旋转和直线进给运动完成对整张光盘的扫描投影复制。本发明可以实现无损复制，提高母盘的使用寿命，选用大的数值孔径，满足高密度光盘复制的需要。该技术不但适合传统的坑点边缘记录型只读光盘的复制，也适合新型的灰度分阶多阶只读光盘的复制。
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公开(公告)号：CN1356695A
公开(公告)日：2002-07-03
申请号：CN01134740.6
申请日：2001-11-09
Applicant: 清华大学
IPC: G11B7/135
Abstract: 一种用于数字彩色三层多阶光盘的读写装置,涉及一种彩色数字多层光盘光学头的结构设计。本发明包括三套相同的子光学系统,其中的两个子光学系统的主光轴互相平行且垂直于第三个子光学系统。通过采用激光器、整形准直镜、偏振分光镜、1/4波片和合光分光直角棱镜组及消色差物镜结构,把三个不同波长的激光光束耦合成同轴输出的平行光束,经消色差物镜聚焦在彩色数字三层光盘上进行读写。本发明实现了三光束表面耦合,为已有的彩色数字多层多阶光盘的纵向并行高速读、写提供了有效装置。应用这种读写装置,可以实现彩色三层光盘的并行读写,大幅度提高光盘的信号的读、写速度,并具有结构紧凑、制造和调试简单的特点。
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公开(公告)号：CN1356595A
公开(公告)日：2002-07-03
申请号：CN01144580.7
申请日：2001-12-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 阵列式集成电路光刻扫描装置用的线阵光源属于扫描光学头技术领域,其特征在于,它含有:在同一线阵长度内依次排列着的下列元件:n个出射光强均匀的半导体激光器,n个分别会聚该激光器出射光的会聚透镜,n束分别接收上述透镜出射光的每束共有m根光纤的光导纤维,m个由分别来自各个光纤束的n根光纤排列成直线的线阵光纤头和每个线阵光纤头对应的成像透镜。m和n可以相等,也可以不相等。所述线阵光纤头包括:光纤阵列层,覆盖在线阵光纤头上用掩膜制成的光强均匀层,对应光纤处呈严格正方形且对所用波长的激光有高透射率的相位孔径层。与原来提出的线阵光源概念相比,本装置具有更高的照明均匀性、更严格的单个微光源形状和更小的单个微光源尺寸。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1305064C
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200310121702.7
申请日：2003-12-19
Applicant: 清华大学
Abstract: 用于光致变色多阶光存储的游程长度受限编码式写入方法，其特征在于：它采用了由现场可编程门阵列FPGA制成的编码器，基于有限状态图的状态切分与合并方法，把3比特的用户数据映射为2比特的8阶通道数据。这种映射关系固化在编码器的ROM只读存储器中，一旦有用户数据输入到编码器中，先进入数据缓存器中，再每3比特一组进入ROM只读存储器，映射成所述的通道序列。编码器的码率R＝3/2，编码后的字符序列中包含字符‘0’，‘1’，‘2’，‘3’，‘4’，‘5’，‘6’和‘7’。在连续的非零字符之间至少有1个‘0’，最多有2个‘0’。它具有编码器/解码器易于实现，编码效率高，代码密度高的优点，用于光致变色多阶光存储中，可获得两至三倍于现有方法的光存储容量及传输速率。
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公开(公告)号：CN1210627C
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：CN03153502.X
申请日：2001-07-26
Applicant: 清华大学
IPC: G03F9/00 , G03F7/00 , H01L21/027 , B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法和装置，首先根据电路图形确定关键点，将电路图形的区别特征进行编码，并刻写在硅片上，设置一对校准图形，使校准图形位于电路图形处，校准图形由校准子图形组成。根据图形关键点，在硅片上刻写校准子图形，当套刻进行到图形关键点时，读取校准子图形坐标，并将该坐标与记录的校准子图形的坐标进行比较。本发明的装置中，工作台放置在基座上，由精密伺服电机驱动，待加工硅片通过吸盘固定于工作台上，校准光学头和光探针阵列位于硅片上方，一对校准光学头位于光探针阵列中间，光探针阵列呈矩形排列。采用本发明进行对准，可以一次对准所有电路图形，节省了对准时间，提高了对准效率。
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公开(公告)号：CN1207710C
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN03102682.6
申请日：2003-02-14
Applicant: 清华大学
IPC: G11B7/0045 , G11B7/125 , G11B7/24
Abstract: 多波长多阶只读光盘的母盘刻录和制造方法，属于高密度数字光存储技术和微细加工技术领域，其特征在于：它是一种利用记录材料对应的选择吸收特性，用多波长刻录激光进行多路并行刻录，并在每一层上多阶存储的方法，它依次包含以下步骤：在玻璃盘基上旋涂由多种波长激光一一对应的多种光致变色材料混合而成的感光层；多种波长的刻录激光通过复消色差物镜聚焦在同一感光层上，进行多路并行刻录；改变曝光区域光致变色材料对特定波长激光的吸收率，并按吸收率的高低分阶以记录数据；对感光层进行固定处理；在感光层上再旋涂一层透明的固化介质层；把固化介质层和感光层从玻璃盘基上一起剥离；在感光层上甩涂保护层，三者组成的掩膜即为母盘。
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公开(公告)号：CN1200410C
公开(公告)日：2005-05-04
申请号：CN03121143.7
申请日：2003-03-28
Applicant: 清华大学
IPC: G11B7/0045 , G11B7/125 , G11B7/26
Abstract: 多阶母盘刻录的控制方法及刻录用的激光器驱动装置，属于母盘刻录中的微细工程技术领域。其特征在于，本控制方法是在传统的二阶母盘刻录控制方法的基础上，增加了多阶功率的选通控制和多阶功率的大小稳定控制，本发明还根据该控制方法设计了激光器驱动装置，它采用了一个能实现多阶功率选通和调节的驱动电路，该驱动电路含有一个由三极管电阻网络和差分运算放大器构成的功率选通调节电路和一个功率放大电路。本控制方法能够有效控制在母盘上进行的多阶刻录，本激光器驱动装置能够改变流过激光器的电流，使激光器发出不同功率的激光，从而在母盘感光层上刻录下不同灰度的信号，实现多阶刻录。
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公开(公告)号：CN1495538A
公开(公告)日：2004-05-12
申请号：CN03153502.X
申请日：2001-07-26
Applicant: 清华大学
IPC: G03F9/00 , G03F7/00 , H01L21/027 , B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种阵列式光探针扫描集成电路光刻系统中的对准方法和装置，首先根据电路图形确定关键点，将电路图形的区别特征进行编码，并刻写在硅片上，设置一对校准图形，使校准图形位于电路图形处，校准图形由校准子图形组成。根据图形关键点，在硅片上刻写校准子图形，当套刻进行到图形关键点时，读取校准子图形坐标，并将该坐标与记录的校准子图形的坐标进行比较。本发明的装置中，工作台放置在基座上，由精密伺服电机驱动，待加工硅片通过吸盘固定于工作台上，校准光学头和光探针阵列位于硅片上方，一对校准光学头位于光探针阵列中间，光探针阵列呈矩形排列。采用本发明进行对准，可以一次对准所有电路图形，节省了对准时间，提高了对准效率。
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