公开(公告)号：CN114879759A

公开(公告)日：2022-08-09

申请号：CN202210378970.X

申请日：2022-04-12

Applicant: 清华大学

Inventor： 覃思博 ,  蔡坤鹏 ,  龚娅 ,  黄钰诚 ,  张扬

IPC: G05D7/06

Abstract: 本发明公开了一种基于音速喷嘴的气体流量自动控制装置及其控制方法，基于音速喷嘴的气体流量自动控制装置主要包括音速喷嘴、球阀、减压阀、温度传感器、压力传感器和控制器。该装置利用音速喷嘴原理将质量流量控制过程转化为压力控制过程，并且采用机械自动控制实现压力波动下流量的精确控制，利用新型结构实现量程段的拓展，实现低成本变压力耐受的质量流量控制。本发明还提出了一种基于音速喷嘴的气体流量自动控制装置及其控制方法。

公开(公告)号：CN217587924U

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN202220838414.1

申请日：2022-04-12

Applicant: 清华大学

Inventor： 覃思博 ,  蔡坤鹏 ,  龚娅 ,  黄钰诚 ,  张扬

IPC: G05D7/06

Abstract: 本实用新型公开了一种基于音速喷嘴的气体流量自动控制装置，该装置主要包括音速喷嘴、多通球阀、球阀、减压阀、温度传感器、压力传感器和控制器。该装置利用音速喷嘴原理将质量流量控制过程转化为压力控制过程，并且采用机械自动控制实现压力波动下流量的精确控制，利用新型结构实现量程段的拓展，实现低成本变压力耐受的质量流量控制。