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公开(公告)号：CN111952398A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201910411454.0
申请日：2019-05-17
Applicant: 清华大学
IPC: H01L31/105 , H01L31/0352
Abstract: 本申请公开了一种平衡探测器及其制备方法，涉及相干光通信器件技术。其中，该平衡探测器，包括衬底、第一探测器本体、第二探测器本体、第一PN结结构和第二PN结结构；第一探测器本体和第二探测器本体之间通过导线连接，用于光电信号的探测；第一PN结结构位于第一探测器本体和衬底之间；第二PN结结构位于第二探测器本体和衬底之间；第一PN结结构和第二PN结结构，用于对第一探测器本体和第二探测器本体之间通过衬底产生的暗电流进行隔离。本申请利用位于探测器本体与衬底之间的PN结结构，在对探测器本体之间产生的暗电流进行有效的隔离，提升平衡探测器在探测微弱信号的情况下的共模抑制比和噪声抑制能力，提升平衡探测器探测微弱信号的能力。
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