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公开(公告)号：CN103185665B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201310079741.9
申请日：2013-03-13
Applicant: 清华大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明提供一种双折射元件光轴的测量方法，包括以下步骤：半外腔激光器连续输出激光，模式为单纵模；调整所述偏振片，使所述偏振片的偏振方向与所述半外腔激光器输出激光的初始偏振方向垂直；将所述双折射设置于所述输出腔镜与所述外腔平面反射镜之间，所述双折射元件在沿半外腔激光器输出激光的光路上具有相对平行的两个平面，且所述激光沿垂直于所述两个平面的方向入射；将所述双折射元件以平行于半外腔激光器输出激光方向的轴线为旋转轴旋转，并驱动所述外腔平面反射镜沿输出激光方向往复运动；继续旋转所述双折射元件，使得所述显示装置出现消光状态，得到双折射元件的光轴。
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公开(公告)号：CN102607814A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210084675.X
申请日：2012-03-27
Applicant: 清华大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种光学元件各向异性检测装置，它包括激光器、回馈外腔、信号控制系统和信号处理系统，所述激光器包括激光增益管，所述激光增益管的轴线左侧设置内腔凹面反射镜，所述激光增益管的轴线右侧依次设置增透窗片和外腔平面反射镜，所述外腔平面反射镜与设置在所述外腔平面反射镜右侧的回馈镜构成所述回馈外腔；其特征在于：它还包括一加力元件，所述加力元件的径向设置有一个以上的螺纹孔，所述加力元件通过螺钉穿过所述螺纹孔顶设在所述增透窗片上。本发明可以广泛应用于采用激光回馈测量法对光学元件各向异性的检测中。
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公开(公告)号：CN103185550B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201310079648.8
申请日：2013-03-13
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明提供一种转动角度的测量方法，包括以下步骤：半外腔激光器连续输出激光，模式为单纵模；将待测样品与所述双折射元件固定连接，所述待测样品带动所述双折射元件共同转动；转动所述待测样品及所述双折射元件，使所述双折射元件以垂直于输出激光方向的轴线为旋转轴旋转角度θ；驱动所述外腔平面反射镜沿半外腔激光器输出激光的轴线往复运动，计算在θ角度下产生的位相延迟δ的大小，并进一步计算出所述转动角度θ的大小。
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公开(公告)号：CN103185665A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201310079741.9
申请日：2013-03-13
Applicant: 清华大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明提供一种双折射元件光轴的测量方法，包括以下步骤：半外腔激光器连续输出激光，模式为单纵模；调整所述偏振片，使所述偏振片的偏振方向与所述半外腔激光器输出激光的初始偏振方向垂直；将所述双折射设置于所述输出腔镜与所述外腔平面反射镜之间，所述双折射元件在沿半外腔激光器输出激光的光路上具有相对平行的两个平面，且所述激光沿垂直于所述两个平面的方向入射；将所述双折射元件以平行于半外腔激光器输出激光方向的轴线为旋转轴旋转，并驱动所述外腔平面反射镜沿输出激光方向往复运动；继续旋转所述双折射元件，使得所述显示装置出现消光状态，得到双折射元件的光轴。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103196865A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310079733.4
申请日：2013-03-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种同时测量双折射元件厚度及折射率的测量方法，包括以下步骤：半外腔激光器连续输出激光，模式为单纵模；调整偏振片的偏振方向与所述半外腔激光器输出激光的偏振方向垂直；将双折射元件设置于所述输出腔镜与所述外腔平面反射镜之间，并使双折射元件的光轴方向与所述激光的初始偏振方向一致；将双折射元件以垂直于光轴的轴线为轴旋转一定角度θ1，驱动所述外腔平面反射镜沿半外腔激光器输出激光的轴线往复运动，得到θ1角度下产生的位相延迟δ1的大小；继续沿双折射元件慢轴方向旋转双折射元件，得到多个角度θ1、θ2、θ3…θn及相应的位相延迟δ1、δ2、δ3…δn的大小，n≥4，获得所述双折射元件的折射率及厚度。
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公开(公告)号：CN103185550A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201310079648.8
申请日：2013-03-13
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明提供一种转动角度的测量方法，包括以下步骤：半外腔激光器连续输出激光，模式为单纵模；将待测样品与所述双折射元件固定连接，所述待测样品带动所述双折射元件共同转动；转动所述待测样品及所述双折射元件，使所述双折射元件以垂直于输出激光方向的轴线为旋转轴旋转角度θ；驱动所述外腔平面反射镜沿半外腔激光器输出激光的轴线往复运动，计算在θ角度下产生的位相延迟δ的大小，并进一步计算出所述转动角度θ的大小。
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公开(公告)号：CN102507145A
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN201110298154.X
申请日：2011-09-30
Applicant: 清华大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开一种激光回馈光学元件位相延迟在盘检测装置，包括激光器、激光回馈外腔以及数据采集与处理系统，其中；激光器，为光学元件位相延迟检测向激光回馈外腔提供测量光；激光回馈外腔，实现激光偏振态的偏振跳动过程，并向数据采集与处理系统传输光强信号；数据采集与处理系统，接收内腔长调节阶段扫描的光强信号和外腔长调节阶段扫描的光强信号并进行比较计算处理。本发明利用He-Ne激光器与外部凹面反射镜构成激光回馈系统，在光学元件光胶于光胶盘的状态下测量光学元件的位相延迟。由于测量光从光胶盘的孔中穿过，消除了光胶盘内应力和光学元件与光胶盘光胶附着力产生的双折射效应，从而提高波片生产成品率。
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公开(公告)号：CN103196865B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201310079733.4
申请日：2013-03-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种同时测量双折射元件厚度及折射率的测量方法，包括以下步骤：半外腔激光器连续输出激光，模式为单纵模；调整偏振片的偏振方向与所述半外腔激光器输出激光的偏振方向垂直；将双折射元件设置于所述输出腔镜与所述外腔平面反射镜之间，并使双折射元件的光轴方向与所述激光的初始偏振方向一致；将双折射元件以垂直于光轴的轴线为轴旋转一定角度θ1，驱动所述外腔平面反射镜沿半外腔激光器输出激光的轴线往复运动，得到θ1角度下产生的位相延迟δ1的大小；继续沿双折射元件慢轴方向旋转双折射元件，得到多个角度θ1、θ2、θ3…θn及相应的位相延迟δ1、δ2、δ3…δn的大小，n≥4，获得所述双折射元件的折射率及厚度。
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公开(公告)号：CN102607814B
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201210084675.X
申请日：2012-03-27
Applicant: 清华大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及一种光学元件各向异性检测装置，它包括激光器、回馈外腔、信号控制系统和信号处理系统，所述激光器包括激光增益管，所述激光增益管的轴线左侧设置内腔凹面反射镜，所述激光增益管的轴线右侧依次设置增透窗片和外腔平面反射镜，所述外腔平面反射镜与设置在所述外腔平面反射镜右侧的回馈镜构成所述回馈外腔；其特征在于：它还包括一加力元件，所述加力元件的径向设置有一个以上的螺纹孔，所述加力元件通过螺钉穿过所述螺纹孔顶设在所述增透窗片上。本发明可以广泛应用于采用激光回馈测量法对光学元件各向异性的检测中。
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