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公开(公告)号：CN115201307A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210651353.2
申请日：2022-06-09
Applicant: 清华大学
IPC: G01N27/416 , G01N1/28 , H01M4/88 , C23C14/28
Abstract: 本发明公开了环境PLD生长及电化学性能测试系统、方法及用途。该系统包括：脉冲激光沉积腔室、靶材屏蔽盒、激光发射装置、电化学工作站、反射高能电子衍射仪、配套使用的荧屏和CCD相机、真空手套箱和抽真空设备，其中通过电机驱动样品托在竖直方向上顺时针或逆时针旋转，靶材屏蔽盒可周期性移动，其顶壁设有偏心通孔且内部内设有多个沿靶材屏蔽盒周向布置的子屏蔽区，多个子屏蔽区互不连通且可相对于靶材屏蔽盒的顶壁旋转。采用该系统能够在超清洁的环境下获得电极材料的电化学性能，消除样品测试前转移样品过程中气相杂质的污染，同时可在系统中通入不同种类的气体，调节气体的湿度，研究其对电极材料的影响，提高测试的准确性。
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公开(公告)号：CN114622177B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202210128721.5
申请日：2022-02-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了样品台、薄膜生长设备和原位测量系统。该原位样品台包括导热样品座、配套使用的用于固定衬底的第一环形绝缘压片、第二环形绝缘压片和紧固件，以及两组探针组件。探针组件中探针臂支架上部设有探针臂通道且中部设有弹性件，探针臂穿过探针臂通道且可上下移动和/或水平转动；弹性件的一端与探针臂支架相连，弹性件的另一端与探针臂可拆卸相连；金属导线贯穿探针臂且其一端与金属探针相连另一端适于与电化学测试装置相连；弹性件与探针臂相连时处于拉伸状态，探针臂在弹性件的回弹力作用下可使金属探针与集电极接触。采用该样品台可实现薄膜生长设备和电化学测试装置的耦合，原位精确、方便、高效地测试薄膜样品的高温电化学性能。
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公开(公告)号：CN115201307B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202210651353.2
申请日：2022-06-09
Applicant: 清华大学
IPC: G01N27/416 , G01N1/28 , H01M4/88 , C23C14/28
Abstract: 本发明公开了环境PLD生长及电化学性能测试系统、方法及用途。该系统包括：脉冲激光沉积腔室、靶材屏蔽盒、激光发射装置、电化学工作站、反射高能电子衍射仪、配套使用的荧屏和CCD相机、真空手套箱和抽真空设备，其中通过电机驱动样品托在竖直方向上顺时针或逆时针旋转，靶材屏蔽盒可周期性移动，其顶壁设有偏心通孔且内部内设有多个沿靶材屏蔽盒周向布置的子屏蔽区，多个子屏蔽区互不连通且可相对于靶材屏蔽盒的顶壁旋转。采用该系统能够在超清洁的环境下获得电极材料的电化学性能，消除样品测试前转移样品过程中气相杂质的污染，同时可在系统中通入不同种类的气体，调节气体的湿度，研究其对电极材料的影响，提高测试的准确性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114959627A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210651351.3
申请日：2022-06-09
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了超清洁PLD样品制备及转移的系统和方法。该系统包括脉冲激光沉积腔室、限位件、靶材屏蔽盒、激光发射装置、真空手套箱和抽真空设备，其中限位件用于限制电机通过传动装置驱动样品托架水平旋转的位置，靶材屏蔽盒内置于脉冲激光沉积腔室下部且可周期性移动，靶材屏蔽盒顶壁设有偏心通孔，靶材屏蔽盒内设有多个沿靶材屏蔽盒周向布置的子屏蔽区，多个子屏蔽区互不连通且可相对于靶材屏蔽盒的顶壁旋转；激光发射装置适于通过激光入射窗口和偏心通孔向置于子屏蔽区内的靶材发射激光，使靶材溅射到置于样品托架上的衬底上并沉积薄膜。该系统不仅方便进样和出样，还能在超清洁的环境下对薄膜样品进行封装转移，提高测试结果的准确性。
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公开(公告)号：CN114774844A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210346377.7
申请日：2022-03-31
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了在原子级别调控薄膜平整表面成分的方法。该方法包括：(1)对衬底的其中一个表面进行抛光处理，以便得到抛光面；(2)沿所述衬底的预定晶面取向对所述抛光面进行切割，以便得到切割面；(3)对所述衬底进行高温退火处理，以便使所述切割面形成原子级平整的表面或台阶表面；(4)在原子级平整的表面或台阶表面上外延生长氧化物薄膜，并采用反射式高能电子衍射仪监控薄膜生长过程，以便调控薄膜表面的原子组成，得到具有原子级别精度的氧化物薄膜。采用该方法可以实现原子尺度上对薄膜表面结构的任意调控，能够精确、方便、规则地调节薄膜表面的原子组成，得到具有原子级别精度的氧化物薄膜。
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公开(公告)号：CN114622177A
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202210128721.5
申请日：2022-02-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了样品台、薄膜生长设备和原位测量系统。该原位样品台包括导热样品座、配套使用的用于固定衬底的第一环形绝缘压片、第二环形绝缘压片和紧固件，以及两组探针组件。探针组件中探针臂支架上部设有探针臂通道且中部设有弹性件，探针臂穿过探针臂通道且可上下移动和/或水平转动；弹性件的一端与探针臂支架相连，弹性件的另一端与探针臂可拆卸相连；金属导线贯穿探针臂且其一端与金属探针相连另一端适于与电化学测试装置相连；弹性件与探针臂相连时处于拉伸状态，探针臂在弹性件的回弹力作用下可使金属探针与集电极接触。采用该样品台可实现薄膜生长设备和电化学测试装置的耦合，原位精确、方便、高效地测试薄膜样品的高温电化学性能。
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公开(公告)号：CN217112167U
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202220285592.6
申请日：2022-02-11
Applicant: 清华大学
IPC: G01N27/416
Abstract: 本实用新型公开了原位清洁PLD电化学表征系统。该系统包括：脉冲激光沉积腔室、激光发射装置、电化学工作站、反射高能电子衍射仪、配套使用的荧屏和CCD相机、真空手套箱和抽真空设备。该系统将电化学工作站集成到PLD设备中，不仅能够精确制备结构致密且界面清晰的超清洁薄膜图案电极，还能够原位精确地对样品进行在不同气氛和不同湿度下的性能测试和表征；此外将脉冲激光沉积(PLD)腔室和真空手套箱连接起来，能够维持样品表面高的洁净度，为后续其它性能表征提供高洁净度的样品，提高测试的准确性。由此，对理解器件失效原因和性能提升以及器件的工业生产和应用具有重大意义。
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公开(公告)号：CN216972668U
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202220285804.0
申请日：2022-02-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本实用新型公开了样品台、薄膜生长设备和原位测量系统。该原位样品台包括导热样品座、配套使用的用于固定衬底的第一环形绝缘压片、第二环形绝缘压片、紧固件和绝缘套管，以及两组探针组件。探针组件中探针臂支架上部设有探针臂通道且中部设有弹性件，探针臂穿过探针臂通道且可上下移动和/或水平转动；弹性件一端与探针臂支架相连且另一端与探针臂可拆卸相连；金属导线贯穿探针臂且其一端与金属探针相连另一端适于与电化学测试装置相连；弹性件与探针臂相连时处于拉伸状态，探针臂在弹性件的回弹力作用下可使金属探针与集电极接触。采用该样品台可实现薄膜生长设备和电化学测试装置的耦合，原位精确、方便、高效地测试薄膜样品的高温电化学性能。
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