-
公开(公告)号：CN102801369B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210241762.1
申请日：2012-07-12
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: H02N15/00
Abstract: 一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置，所述双台交换系统包括基台、两个结构相同的硅片台和平面电机，平面电机定子采用平面永磁阵列，动子采用线圈阵列，平面电机动子采用气浮支承，所述电流环辅助整定装置包括磁钢阵列、移动部件和驱动器组件，将平面电机动子安装于电流环辅助整定装置的移动部件上，采用驱动器依次对动子每组线圈进行电流环整定，整定完成后，将平面电机动子和线圈对应的驱动器移至双台交换系统。本发明为带有复杂动子线圈结构的单台或多台系统提供一种简单、快捷的电流环整定方式，避免单台或多台系统在电流环整定过程中在结构上或控制上增添附加设备造成的麻烦。
-
公开(公告)号：CN102456351A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201010515293.9
申请日：2010-10-14
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供了一种语音增强的系统，通过特定的双麦克结构，模拟人耳的听觉场景分析能力来实现语音增强，具有与噪声类型无关的特点，可广泛应用于各类噪声环境下的语音增强，利用计算听觉场景分析的原理，将目标语音从背景噪声中进行分离，从而实现去噪，从而实现了与噪声的具体类型、各种噪声源的个数、目标声源与噪声源的空间拓扑结构无关，在实现较好去噪效果的同时保证较高的语音质量。
-
公开(公告)号：CN103292706A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201310151394.6
申请日：2013-04-27
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种动圈式平面电机动子三自由度位移测量方法，该方法包括3个电涡流传感器、2个绝对直线光栅和信号处理系统；根据3个电涡流传感器的测量值和Ⅰ号绝对直线光栅的测量值求解平面电机动子在线缆台坐标系下的三自由度位移，再根据Ⅱ号绝对直线光栅的测量值求解线缆台坐标系与基台坐标系的转换矩阵，从而求解平面电机动子在基台坐标系下的三自由度位移，进一步可求解平面电机任意线圈中心在基台坐标系下的坐标。本发明为平面电机动子提供了一种结构简单、测量精度高、响应速度快的三自由度位移测量方法，并满足其大行程水平直线位移测量的需求。
-
公开(公告)号：CN102801369A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210241762.1
申请日：2012-07-12
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: H02N15/00
Abstract: 一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置，所述双台交换系统包括基台、两个结构相同的硅片台和平面电机，平面电机定子采用平面永磁阵列，动子采用线圈阵列，平面电机动子采用气浮支承，所述电流环辅助整定装置包括磁钢阵列、移动部件和驱动器组件，将平面电机动子安装于电流环辅助整定装置的移动部件上，采用驱动器依次对动子每组线圈进行电流环整定，整定完成后，将平面电机动子和线圈对应的驱动器移至双台交换系统。本发明为带有复杂动子线圈结构的单台或多台系统提供一种简单、快捷的电流环整定方式，避免单台或多台系统在电流环整定过程中在结构上或控制上增添附加设备造成的麻烦。
-
公开(公告)号：CN102799195A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210242269.1
申请日：2012-07-12
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G05D13/62
Abstract: 一种增量光栅信号处理方法，所述增量光栅信号包括三相差分信号，即：A+、A-、B+、B-、C+、C-，所述信号处理方法包括以下步骤：首先对增量光栅信号驱动整形，将整形后的差分信号转换为第一单端信号，再将所述第一单端信号输入到可编程逻辑器件中，可编程逻辑器件输出第二单端信号和第三单端信号，其中第二单端信号与第一单端信号相同，第三单端信号的频率是第一单端信号频率的1/n，n为正整数，将两路单端信号转换为差分信号后输出。本发明有效地解决了控制系统中位置测量分辨率与运动台速度的制约关系，分频信号给驱动器作为信号反馈，未分频信号给上位机作为控制系统位置反馈，既提高了允许的最大速度，又提高控制系统精度。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102707578A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210170181.3
申请日：2012-05-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种双台交换激光尺测量信号切换装置及方法，该双台包括一个基座及安装在基座上的两个工件台，每个工件台对应一个激光尺测量信号切换装置；每个切换装置包括两个激光尺，两个差分变单端模块，一个信号处理单元，一个切换模块，一个单端变差分模块和一个驱动器；每个激光尺由激光头和细分盒组成。在双台交换过程中，当两个工件台运动到一定位置时，切换模块产生一个切换信号，输入给信号处理单元，通过信号处理单元中的切换逻辑可以实现两路激光尺信号的快速切换，避免因工件台遮挡激光尺而产生的测量错误。本方案切换时间小于电机驱动器的采样周期，从而避免了切换过程中的信号丢失问题，保证了工件台的运动定位精度。
-
公开(公告)号：CN102661709B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201210121975.0
申请日：2012-04-23
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种大行程运动台位移测量方法，该方法包括光路分配装置，位置敏感探测器阵列以及探测头阵列；所述光路分配装置生成的多束第一测量光与所述位置敏感探测器阵列按照一定的方式排布，保证所述运动台在运动区域内任意位置均至少有1束第一测量光被位置敏感探测器阵列检测到；能够判断光束是否被遮挡的所述探测头阵列可用于所述运动台位置的辅助测量；根据上述测量方案，可确定所述位置敏感探测器阵列所测的第一测量光对应的运动台位置，进而解算所述运动台位移量。本发明有效地扩大了位置敏感探测器测量范围，实现了运动台长行程位移量的测量。
-
公开(公告)号：CN102707579B
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：CN201210170547.7
申请日：2012-05-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置，该双台包括一个基台及安装在基台上的两个工件台、四个激光尺、四个驱动器和两个切换开关。在双工件台位置交换过程中，初始阶段由一侧的激光尺和驱动器测量并控制工件台的运动；当两工件台运动到一定位置时，切换开关会产生一个切换信号，通过切换信号切换至对应侧的激光尺和驱动器测量并控制工件台的运动。采用该驱动器切换方案可以解决光刻机双台交换过程中由于激光尺信号被遮挡而引起的驱动器失控问题。
-
公开(公告)号：CN102800368A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210241753.2
申请日：2012-07-12
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G12B5/00
Abstract: 一种气浮平面电机初始零位的定位方法，所述气浮平面电机包括定子平台和动子平台，定子平台上方固定安装平面磁钢阵列，动子平台采用气浮支承，且动子平台下表面固定安装结构相同的四组三相线圈，其中第一、三组线圈长边沿Y方向，第二、四组线圈长边沿X方向，每组线圈采用星型连接方式，所述初始零位为线圈坐标系与磁场坐标系无转角，所述定位方法包括：采用驱动装置给任意不同方向的两组线圈输入一定规律的电流，驱动动子平台运动，两组线圈达到平衡位置，最终实现动子平台定位到初始零位。本发明为气浮永磁平面电机系统提供了一种简单、便捷的初始零位确定方法，为动子平台控制系统测量设备的正常工作提供必要的工作条件。
-
公开(公告)号：CN102661709A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210121975.0
申请日：2012-04-23
Applicant: 清华大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种大行程运动台位移测量方法，该方法包括光路分配装置，位置敏感探测器阵列以及探测头阵列；所述光路分配装置生成的多束第一测量光与所述位置敏感探测器阵列按照一定的方式排布，保证所述运动台在运动区域内任意位置均至少有1束第一测量光被位置敏感探测器阵列检测到；能够判断光束是否被遮挡的所述探测头阵列可用于所述运动台位置的辅助测量；根据上述测量方案，可确定所述位置敏感探测器阵列所测的第一测量光对应的运动台位置，进而解算所述运动台位移量。本发明有效地扩大了位置敏感探测器测量范围，实现了运动台长行程位移量的测量。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
19
records
(took 0.019 seconds)
