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公开(公告)号：CN103292707B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201310151501.5
申请日：2013-04-27
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技股份有限公司
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种动圈式平面电机动子三自由度位移测量方法，该方法包括2个二维位置敏感传感器、2个绝对直线光栅和信号处理系统；根据2个二维位置敏感传感器的测量值和Ⅰ号绝对直线光栅的测量值求解平面电机动子在线缆台坐标系下的三自由度位移，再根据Ⅱ号绝对直线光栅的测量值求解线缆台坐标系与基台坐标系的转换矩阵，从而求解平面电机动子在基台坐标系下的三自由度位移，进一步可求解平面电机任意线圈中心在基台坐标系下的坐标。本发明为平面电机动子提供了一种结构简单、测量精度高、响应速度快的三自由度位移测量方法，并满足其大行程水平直线位移测量的需求。
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公开(公告)号：CN103292706B
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201310151394.6
申请日：2013-04-27
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种动圈式平面电机动子三自由度位移测量方法，该方法包括3个电涡流传感器、2个绝对直线光栅和信号处理系统；根据3个电涡流传感器的测量值和Ⅰ号绝对直线光栅的测量值求解平面电机动子在线缆台坐标系下的三自由度位移，再根据Ⅱ号绝对直线光栅的测量值求解线缆台坐标系与基台坐标系的转换矩阵，从而求解平面电机动子在基台坐标系下的三自由度位移，进一步可求解平面电机任意线圈中心在基台坐标系下的坐标。本发明为平面电机动子提供了一种结构简单、测量精度高、响应速度快的三自由度位移测量方法，并满足其大行程水平直线位移测量的需求。
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公开(公告)号：CN102800369B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201210242284.6
申请日：2012-07-12
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G12B5/00
Abstract: 气浮平面电机初始零位的定位方法，所述气浮平面电机包括定子平台和动子平台，定子平台上方固定安装平面磁钢阵列，动子平台采用气浮支承，且动子平台下表面固定安装两组结构相同的三相调整线圈，第一调整线圈组与第二调整线圈组均沿X方向。所述初始零位为线圈坐标系与磁场坐标系无夹角，所述定位方法包括：采用驱动装置给两组线圈输入一定规律的电流，驱动动子平台运动，两组线圈达到平衡位置，最终实现动子平台定位到初始零位。本发明为气浮永磁平面电机系统提供了一种简单、便捷的初始零位确定方法，为动子平台控制系统测量设备的正常工作提供必要的工作条件。
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公开(公告)号：CN102800369A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210242284.6
申请日：2012-07-12
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: G12B5/00
Abstract: 气浮平面电机初始零位的定位方法，所述气浮平面电机包括定子平台和动子平台，定子平台上方固定安装平面磁钢阵列，动子平台采用气浮支承，且动子平台下表面固定安装两组结构相同的三相调整线圈，第一调整线圈组与第二调整线圈组均沿X方向。所述初始零位为线圈坐标系与磁场坐标系无夹角，所述定位方法包括：采用驱动装置给两组线圈输入一定规律的电流，驱动动子平台运动，两组线圈达到平衡位置，最终实现动子平台定位到初始零位。本发明为气浮永磁平面电机系统提供了一种简单、便捷的初始零位确定方法，为动子平台控制系统测量设备的正常工作提供必要的工作条件。
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公开(公告)号：CN102709222A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210192044.X
申请日：2012-06-11
Applicant: 清华大学
IPC: H01L21/687
CPC classification number: H01L21/68707
Abstract: 一种利用线绳弹簧拉伸的晶圆夹持装置，该装置包括托盘、四个底面支撑组件、两个侧面支撑组件和一个线绳伸缩夹持组件。线绳伸缩夹持组件包括电机、线绳、两个移动夹子、两个挡板装置和两个弹簧元件。在电机与弹簧元件的作用下，线绳和弹簧元件拉动移动夹子张合运动，弹簧的拉伸变形作用对晶圆边缘产生压力，使得晶圆固定在两个侧面支撑组件与两个移动夹子之间。通过改变凸起支撑件的位置并通过调整限位装置，可以实现对不同直径尺寸晶圆的传输，解决了现有传输结构中可传输晶圆尺寸单一的问题。通过调整挡板装置可以改变弹簧元件的拉力，利用弹簧元件的柔性，起到夹持缓冲的作用，避免了夹持晶圆过程中由于夹持力的冲击引起的晶圆损坏。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102707579A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210170547.7
申请日：2012-05-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种双工件台位置交换过程中驱动器切换装置，该双台包括一个基台及安装在基台上的两个工件台、四个激光尺、四个驱动器和两个切换开关。在双工件台位置交换过程中，初始阶段由一侧的激光尺和驱动器测量并控制工件台的运动；当两工件台运动到一定位置时，切换开关会产生一个切换信号，通过切换信号切换至对应侧的激光尺和驱动器测量并控制工件台的运动。采用该驱动器切换方案可以解决光刻机双台交换过程中由于激光尺信号被遮挡而引起的驱动器失控问题。
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公开(公告)号：CN102801369B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210241762.1
申请日：2012-07-12
Applicant: 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC: H02N15/00
Abstract: 一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置，所述双台交换系统包括基台、两个结构相同的硅片台和平面电机，平面电机定子采用平面永磁阵列，动子采用线圈阵列，平面电机动子采用气浮支承，所述电流环辅助整定装置包括磁钢阵列、移动部件和驱动器组件，将平面电机动子安装于电流环辅助整定装置的移动部件上，采用驱动器依次对动子每组线圈进行电流环整定，整定完成后，将平面电机动子和线圈对应的驱动器移至双台交换系统。本发明为带有复杂动子线圈结构的单台或多台系统提供一种简单、快捷的电流环整定方式，避免单台或多台系统在电流环整定过程中在结构上或控制上增添附加设备造成的麻烦。
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公开(公告)号：CN102647143B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201210116967.7
申请日：2012-04-19
Applicant: 清华大学
CPC classification number: G05B19/18 , G05B2219/41117 , H02P25/06
Abstract: 一种直线电机单自由度隔振装置及其运动控制方法，该隔振装置包括一个平衡块、一个防漂移驱动单元以及控制单元。平衡块的上表面与直线电机的定子固连，平衡块的下表面通过第一气浮轴承与基座连接；防漂移驱动单元用于平衡块的位置控制，驱动单元与平衡块之间采用第二气浮轴承连接，防漂移驱动单元包括一个防漂移直线电机、一个光栅尺和一个导轨；运动控制方法有两种：第一技术方案采用第二光栅尺信号作为反馈信号输入至控制单元，对平衡块进行变刚度非线性控制；第二技术方案采用第一光栅尺信号和第二光栅尺信号作为反馈信号输入至控制单元，获取直线电机动子与平衡块的合质心位移信号，对平衡块进行非线性防漂移控制。
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公开(公告)号：CN102722086A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210179247.5
申请日：2012-06-01
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种无接触式单自由度定位装置及其同步运动控制方法，该定位装置包括两个沿Y轴方向运动的粗动台，该两个粗动台之间无机械连接。每个粗动台由一个独立驱动的直线电机、一个气浮支撑、一个气浮导向组成。该定位装置的测量装置包括两个光栅尺，能够测量每个粗动台沿Y轴方向的绝对位置。第一粗动台以第一光栅尺为位置反馈，采用非线性控制算法实现沿Y轴运动，第二粗动台以两个光栅尺信号的差值为位置反馈，根据设计的同步控制方法实现第二粗动台与第一粗动台的同步运动。
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公开(公告)号：CN102709223B
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201210192117.5
申请日：2012-06-11
Applicant: 清华大学
IPC: H01L21/687
CPC classification number: H01L21/68707
Abstract: 一种利用线绳弹簧拉伸的推杆式晶圆夹持装置，该装置包括托盘、四个底面支撑组件、两个侧面支撑组件和一个线绳伸缩夹持组件。线绳伸缩夹持组件包括电机、线绳、一个推杆、两个移动夹子、两个限位装置和两个弹簧元件。在电机与弹簧元件的作用下，线绳拉动推杆沿X轴方向运动，使得晶圆夹在两个侧面支撑组件与两个移动夹子之间，弹簧的压缩变形作用对晶圆边缘产生压力，可固定晶圆。通过改变凸起支撑件的位置并通过调整限位装置，可以实现对不同直径尺寸晶圆的夹持，解决了现有传输结构中可传输晶圆尺寸单一的问题。利用弹簧元件使夹持晶圆时具有柔性，起到夹持缓冲的作用，避免了夹持晶圆过程中由于夹持力的冲击引起的晶圆损坏。
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