公开(公告)号：CN106680906A

公开(公告)日：2017-05-17

申请号：CN201610926129.4

申请日：2016-10-24

Applicant: 清华大学

Inventor： 孟永钢 ,  胡跃强 ,  纪佳馨 ,  王鸿栋

IPC: G02B3/00 ,  F16C32/06 ,  B82B3/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: G02B3/00 ,  B82B3/0004 ,  B82Y40/00 ,  F16C32/0603 ,  F16C2370/20 ,  G03F7/2049

Abstract: 本发明提出了等离子体透镜、空气轴承、飞行头、纳米加工系统及其应用。该用于飞行头的等离子体透镜包括：基体，该基体的表面设置有金属薄膜；中心小孔，该中心小孔形成在基体的表面且贯穿金属薄膜；以及多个圆槽，该多个圆槽形成在基体的表面且贯穿金属薄膜，并且多个圆槽与中心小孔构成同心圆；其中，金属薄膜的厚度为30～100nm，多个圆槽的槽周期为300～400nm、槽宽度为100～200nm。本发明所提出的等离子体透镜，能够减小聚束光斑的同时增大光强，可使光刻加工的聚束光被限制在更小的范围内。

公开(公告)号：CN106680906B

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201610926129.4

申请日：2016-10-24

Applicant: 清华大学

Inventor： 孟永钢 ,  胡跃强 ,  纪佳馨 ,  王鸿栋

IPC: G02B3/00 ,  F16C32/06 ,  B82B3/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明提出了等离子体透镜、空气轴承、飞行头、纳米加工系统及其应用。该用于飞行头的等离子体透镜包括：基体，该基体的表面设置有金属薄膜；中心小孔，该中心小孔形成在基体的表面且贯穿金属薄膜；以及多个圆槽，该多个圆槽形成在基体的表面且贯穿金属薄膜，并且多个圆槽与中心小孔构成同心圆；其中，金属薄膜的厚度为30～100nm，多个圆槽的槽周期为300～400nm、槽宽度为100～200nm。本发明所提出的等离子体透镜，能够减小聚束光斑的同时增大光强，可使光刻加工的聚束光被限制在更小的范围内。

公开(公告)号：CN104893786B

公开(公告)日：2017-06-30

申请号：CN201510282938.1

申请日：2015-05-28

Applicant: 清华大学

Inventor： 刘宇宏 ,  王鸿栋 ,  陈哲 ,  雒建斌 ,  任婧 ,  胡跃强

IPC: C10M125/10 ,  C10M173/02 ,  C10M177/00 ,  C10N30/06

Abstract: 一种水滑石纳米添加剂制备方法,所述水滑石纳米添加剂的粒径范围是1纳米至100纳米；所述制备方法包括以下步骤：1)将可溶性的二价及三价无机金属盐溶于水中配成A溶液，二价金属离子与三价金属离子的摩尔比为2～4；2)将分散剂加入有机溶剂中配成B溶液；B溶液与A溶液的质量比例为9～1。本发明水滑石纳米添加剂制备方法简单易操作，实用性强，性能优越，可靠性高。使用本添加剂制成水基润滑液后，在摩擦过程中水滑石能及时进入接触区，有效避免粗糙峰的直接接触，防止磨损，大大提高了减摩耐磨性能。

公开(公告)号：CN104893786A

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201510282938.1

申请日：2015-05-28

Applicant: 清华大学

Inventor： 刘宇宏 ,  王鸿栋 ,  陈哲 ,  雒建斌 ,  任婧 ,  胡跃强

IPC: C10M125/10 ,  C10M173/02 ,  C10M177/00 ,  C10N30/06

Abstract: 一种水滑石纳米添加剂制备方法,所述水滑石纳米添加剂的粒径范围是1纳米至100纳米；所述制备方法包括以下步骤：1)将可溶性的二价及三价无机金属盐溶于水中配成A溶液，二价金属离子与三价金属离子的摩尔比为2～4；2)将分散剂加入有机溶剂中配成B溶液；B溶液与A溶液的质量比例为9～1。本发明水滑石纳米添加剂制备方法简单易操作，实用性强，性能优越，可靠性高。使用本添加剂制成水基润滑液后，在摩擦过程中水滑石能及时进入接触区，有效避免粗糙峰的直接接触，防止磨损，大大提高了减摩耐磨性能。