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公开(公告)号:CN108468027A
公开(公告)日:2018-08-31
申请号:CN201810261996.X
申请日:2018-03-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供了一种锑掺杂铜锌锡硫硒靶材及其制备方法。本发明首先将铜锌锡硫硒粉末和含Sb粉末球磨混合,得到原料混合物;然后对原料混合物进行烧结,得到锑掺杂铜锌锡硫硒靶材。本发明提供的制备方法操作简便,易于实施。采用本发明所述制备方法得到的锑掺杂铜锌锡硫硒靶材已经将锑元素和铜锌锡硫硒掺杂混合,直接采用溅射法来溅射得到锑掺杂铜锌锡硫硒吸收层薄膜即可,无需添加蒸发装置,操作简单。此外,所述靶材的晶粒尺寸较大,结晶质量良好,在应用于溅射制备吸收层薄膜时成分重复性好。
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公开(公告)号:CN108468027B
公开(公告)日:2019-08-30
申请号:CN201810261996.X
申请日:2018-03-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供了一种锑掺杂铜锌锡硫硒靶材及其制备方法。本发明首先将铜锌锡硫硒粉末和含Sb粉末球磨混合,得到原料混合物;然后对原料混合物进行烧结,得到锑掺杂铜锌锡硫硒靶材。本发明提供的制备方法操作简便,易于实施。采用本发明所述制备方法得到的锑掺杂铜锌锡硫硒靶材已经将锑元素和铜锌锡硫硒掺杂混合,直接采用溅射法来溅射得到锑掺杂铜锌锡硫硒吸收层薄膜即可,无需添加蒸发装置,操作简单。此外,所述靶材的晶粒尺寸较大,结晶质量良好,在应用于溅射制备吸收层薄膜时成分重复性好。
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