公开(公告)号：CN116779539A

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：CN202311036419.8

申请日：2023-08-17

Applicant: 清华大学

Inventor： 王海东 ,  罗旭雯

IPC: H01L21/78 ,  H01L21/463 ,  B81C1/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了高精度定向转移二维材料的系统、方法和用途。该转移二维材料的系统用于制备异质结，二维材料用于形成异质结，该系统包括：微米级切刀、微米级夹取装置、微米级探针、操作平台、显示装置、驱动装置、控制单元，驱动装置与微米级切刀、微米级夹取装置、微米级探针相连；控制单元与驱动装置和显示装置相连，且适于通过显示装置放大操作平台的操作画面和二维材料的位置，以及基于驱动装置执行以下操作：控制微米级切刀对位于操作平台上的二维材料进行切割、控制微米级夹取装置对二维材料进行转移、控制微米级探针对二维材料进行辅助定位。该系统结构简单，操作方便，能够精确控制二维材料转移，实现高精度异质结的制备。

公开(公告)号：CN116779539B

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202311036419.8

申请日：2023-08-17

Applicant: 清华大学

Inventor： 王海东 ,  罗旭雯

IPC: H01L21/78 ,  H01L21/463 ,  B81C1/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了高精度定向转移二维材料的系统、方法和用途。该转移二维材料的系统用于制备异质结，二维材料用于形成异质结，该系统包括：微米级切刀、微米级夹取装置、微米级探针、操作平台、显示装置、驱动装置、控制单元，驱动装置与微米级切刀、微米级夹取装置、微米级探针相连；控制单元与驱动装置和显示装置相连，且适于通过显示装置放大操作平台的操作画面和二维材料的位置，以及基于驱动装置执行以下操作：控制微米级切刀对位于操作平台上的二维材料进行切割、控制微米级夹取装置对二维材料进行转移、控制微米级探针对二维材料进行辅助定位。该系统结构简单，操作方便，能够精确控制二维材料转移，实现高精度异质结的制备。

公开(公告)号：CN115235729A

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：CN202210842746.1

申请日：2022-07-18

Applicant: 清华大学

Inventor： 王海东 ,  罗旭雯 ,  赵帅伊

IPC: G01M9/06 ,  G01K7/18 ,  G01K1/143

Abstract: 本发明公开了测量面向以及法向热流的温度测量系统以及测量热流的方法。该系统包括：测温单元、数据采集单元以及高温火焰实验台，其中，所述高温火焰实验台包括乙炔高温火焰发生器以及定位组件，所述定位组件靠近所述乙炔高温火焰发生器设置，所述定位组件上固定有所述测温单元，所述测温单元包括基板以及至少一组测温元件，所述测温元件具有金属薄膜电极，所述数据采集系统和所述测温单元电连接。该系统可以较好地模拟高超声速飞行器表面的气动热特性，测温单元具有好的面向以及法向热流跟随性以及敏感性，且空间、时间分辨率均较高。