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公开(公告)号：CN100427759C
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN03157069.0
申请日：2003-09-12
Applicant: 清华大学 , 韩国三星综合技术研究院
IPC: F04B45/047
Abstract: 本发明公开了属于精密机械中微型流体泵技术领域的一种双压电梁驱动的膜片气泵。它包含一个腔体、两个双压电梁、一个带有单向阀的膜片以及引出电极。其中双压电梁一端固支，另一端与膜片的侧边相连。泵腔内的双压电梁通入交变电压驱动膜片在谐振点振动，通过膜片上单向阀的作用，使空气沿一个方向流动，实现与外界的气体交换。这种气泵具有结构简单、输出流量大、功耗低、侧面尺寸小、无电磁噪音、可动部件少、可靠性高等诸多优点，易于推广应用。
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公开(公告)号：CN1318751A
公开(公告)日：2001-10-24
申请号：CN01129216.4
申请日：2001-06-15
Applicant: 清华大学
IPC: G01P3/00
Abstract: 本发明属于传感器技术领域。本发明采用由驱动器振动膜和喷口构成的合成喷射流源,一对或者多对热敏传感器对称布置在所说的合成喷的中心线两侧,该热敏传感器的位置位于喷口直径9－15倍距离外。本发明适合于不同场合下的应用,特别是工作环境恶劣的情况。这种角速度计具有结构简单、可靠性好、灵敏度和分辨率高、成本低的特点。并可容易地实现大规模产品系列化生产。硅加工可以大大降低成本,同时能保证性能良好。
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公开(公告)号：CN1153046C
公开(公告)日：2004-06-09
申请号：CN01129222.9
申请日：2001-06-15
Applicant: 清华大学 , 信息产业部电子第十三研究所
Abstract: 本发明属于传感器技术领域。涉及双向合成喷射流陀螺仪。采用两股速度相反的完全相同的由带驱动器的振动膜、合成喷腔体和喷口构成的合成喷射流源，一对或者多对温度传感器对称布置在合成喷射流的中心线两侧，该温度传感器的位置位于喷口直径9-15倍距离外。本发明无论在匀角速度和非匀角速度情况下，都能顺利地检测角速度，结构简单，寿命长，可以采用微加工技术，加工方便，成本低。灵敏度和分辨率较高。本发明适合于不同场合下的应用，特别是工作环境恶劣的情况。
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公开(公告)号：CN1373367A
公开(公告)日：2002-10-09
申请号：CN02116842.3
申请日：2002-04-12
Applicant: 清华大学
IPC: G01P15/00
Abstract: 本发明属于传感器技术领域,涉及一种微型硅桥式热对流加速度传感器加速度传感器。包括一密封腔体,在该腔体中心处的一加热丝,对称置于该加热丝两侧的两对温度传感器,以及由该两对温度传感器构成的桥式温度检测电路。在汽车、航空、船舶导航系统、民用产品及军事等领域中有广泛的应用。本发明采用热对流原理来检测加速度信息,没有质量块,可工作在高量程下,耐冲击;采用硅微加工方法制造,便于大批量生产,尺寸小,成本低;用两对温度传感器检测加速度信息,并对结构参数和工作介质作了优化,使它具有良好的线性度、灵敏度和响应频率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1892028A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN03157069.0
申请日：2003-09-12
Applicant: 清华大学 , 韩国三星综合技术研究院
IPC: F04B45/047
Abstract: 本发明公开了属于精密机械中微型流体泵技术领域的一种双压电梁驱动的膜片气泵。它包含一个腔体、两个双压电梁、一个带有单向阀的膜片以及引出电极。其中双压电梁一端固支，另一端与膜片的侧边相连。泵腔内的双压电梁通入交变电压驱动膜片在谐振点振动，通过膜片上单向阀的作用，使空气沿一个方向流动，实现与外界的气体交换。这种气泵具有结构简单、输出流量大、功耗低、侧面尺寸小、无电磁噪音、可动部件少、可靠性高等诸多优点，易于推广应用。
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公开(公告)号：CN1117987C
公开(公告)日：2003-08-13
申请号：CN01129216.4
申请日：2001-06-15
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于传感器技术领域。本发明采用由驱动器振动膜和喷口构成的合成喷射流源，一对或者多对热敏传感器对称布置在所说的合成喷的中心线两侧，该热敏传感器的位置位于喷口直径9-15倍距离外。本发明适合于不同场合下的应用，特别是工作环境恶劣的情况。这种角速度计具有结构简单、可靠性好、灵敏度和分辨率高、成本低的特点。并可容易地实现大规模产品系列化生产。硅加工可以大大降低成本，同时能保证性能良好。
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公开(公告)号：CN1161618C
公开(公告)日：2004-08-11
申请号：CN02116842.3
申请日：2002-04-12
Applicant: 清华大学
IPC: G01P15/00
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，涉及一种微型硅桥式热对流加速度传感器加速度传感器。包括一密封腔体，在该腔体中心处的一加热丝，对称置于该加热丝两侧的两对温度传感器，以及由该两对温度传感器构成的桥式温度检测电路。在汽车、航空、船舶导航系统、民用产品及军事等领域中有广泛的应用。本发明采用热对流原理来检测加速度信息，没有质量块，可工作在高量程下，耐冲击；采用硅微加工方法制造，便于大批量生产，尺寸小，成本低；用两对温度传感器检测加速度信息，并对结构参数和工作介质作了优化，使它具有良好的线性度、灵敏度和响应频率。
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公开(公告)号：CN1326090A
公开(公告)日：2001-12-12
申请号：CN01129222.9
申请日：2001-06-15
Applicant: 清华大学 , 信息产业部电子第十三研究所
Abstract: 本发明属于传感器技术领域。采用两股速度相反的完全相同的由驱动器振动膜和喷口构成的合成喷射流源,一对或者多对加热热敏传感器对称布置在合成喷射流的中心线两侧,该热敏传感器的位置位于喷口直径9－15倍距离外。本发明无论在匀角速度和非匀角速度情况下,都能顺利地检测角速度,结构简单,寿命长,可以采用微加工技术,加工方便,成本低。灵敏度和分辨率较高。本发明适合于不同场合下的应用,特别是工作环境恶劣的情况。
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公开(公告)号：CN2674145Y
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN03209484.1
申请日：2003-09-12
IPC: F04B45/047 , G06F1/20
CPC classification number: Y02D10/16
Abstract: 本实用新型公开了属于精密机械中微型流体泵领域的一种采用双压电梁驱动的膜片气泵。它由一个腔体、两个双压电梁、一个带有单向阀的膜片以及引出电极。其中双压电梁一端固支，另一端与膜片的侧边相连。泵腔内的双压电梁通入交变电压驱动膜片在谐振点振动，通过膜片上单向阀的作用，使空气沿一个方向流动，实现与外界的气体交换。这种气泵具有结构简单、输出流量大、功耗低、侧面尺寸小、无电磁噪音、可动部件少、可靠性高等诸多优点，适用于微电子芯片的散热和冷却。
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