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公开(公告)号：CN109037101B
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN201810770023.9
申请日：2018-07-13
Applicant: 清华大学 , 华海清科股份有限公司
Inventor： 许振杰 , 王剑 , 王国栋 , 陈映松 , 王同庆 , 赵德文 , 沈攀 , 郭振宇 , 李昆 , 路新春 , 裴召辉 , 贾弘源 , 郑家旺 , 庞伶伶 , 刘卫国 , 王春龙 , 韩宏飞 , 甄辉 , 时亚秋
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种晶圆加工设备，晶圆加工设备包括：晶圆缓存模块和两个晶圆加工系统，两个晶圆加工系统相对设置且可独立工作，每个晶圆加工系统包括：抛光单元、第一机械手、传输单元、第二机械手和清洗单元，抛光单元和清洗单元相邻设置，清洗单元邻近晶圆缓存模块，第一机械手在晶圆缓存模块和传输单元之间以及传输单元和清洗单元之间运动，传输单元在第一机械手和第二机械手之间传输，第二机械手用于为抛光单元传输晶圆。由此，通过晶圆缓存模块和两个晶圆加工系统配合，两个晶圆加工系统能够独立工作，互不影响，可以提高生产效率，并且，该晶圆加工设备的工艺更灵活，生产出的晶圆适应性更强。
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公开(公告)号：CN118641301A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410747693.4
申请日：2024-06-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本申请公开了一种制备模拟月壤的方法，包括：对矿物原料进行破碎筛分处理，以获得多个粒径区间的矿物筛分料；计算得到模拟月壤初级产品中多个粒径区间对应的体积比；将模拟月壤初级产品与玻璃材料进行混合处理，并进行烧结处理，以获得玻璃质粘合集块岩集合物；将模拟月壤初级产品与玻璃质粘合集块岩集合物混合，以获得模拟月壤。由此，可以获得含有玻璃质粘合集块岩的高相似度模拟月壤。
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公开(公告)号：CN109037101A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810770023.9
申请日：2018-07-13
Applicant: 清华大学 , 天津华海清科机电科技有限公司
Inventor： 许振杰 , 王剑 , 王国栋 , 陈映松 , 王同庆 , 赵德文 , 沈攀 , 郭振宇 , 李昆 , 路新春 , 裴召辉 , 贾弘源 , 郑家旺 , 庞伶伶 , 刘卫国 , 王春龙 , 韩宏飞 , 甄辉 , 时亚秋
IPC: H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67092 , H01L21/67023
Abstract: 本发明公开了一种晶圆加工设备，晶圆加工设备包括：晶圆缓存模块和两个晶圆加工系统，两个晶圆加工系统相对设置且可独立工作，每个晶圆加工系统包括：抛光单元、第一机械手、传输单元、第二机械手和清洗单元，抛光单元和清洗单元相邻设置，清洗单元邻近晶圆缓存模块，第一机械手在晶圆缓存模块和传输单元之间以及传输单元和清洗单元之间运动，传输单元在第一机械手和第二机械手之间传输，第二机械手用于为抛光单元传输晶圆。由此，通过晶圆缓存模块和两个晶圆加工系统配合，两个晶圆加工系统能够独立工作，互不影响，可以提高生产效率，并且，该晶圆加工设备的工艺更灵活，生产出的晶圆适应性更强。
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公开(公告)号：CN104619013A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201510009708.8
申请日：2015-01-08
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种被困人员手机搜寻定位的方法，包括以下步骤：通过伪基站定位装置在目标区域内建立救援网络；通过伪基站定位装置发送广播信号以使目标区域内的手机进入救援网络，其中，如果目标区域中存在基站则根据存在基站的广播参数设置伪基站定位装置的参数，并调整伪基站定位装置的功率大于存在基站的功率；通过全向天线和定向天线对目标区域中的手机进行探测，以获取目标区域中手机的位置数据、方向数据和信号强度数据；根据目标区域中手机的位置数据、方向数据和信号强度数据对手机进行定位。本发明实施例的方法可以对手机进行精确定位，提高定位精度，更好地对被困人员实行搜救工作，简单便捷，实用性强。
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公开(公告)号：CN116756259A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310761139.7
申请日：2023-06-26
Applicant: 清华大学
IPC: G06F16/29 , G06F30/28 , G06F113/08 , G06F119/14
Abstract: 本发明涉及自然灾害领域，提供了一种冰碛土滑坡致灾情景数据库构建方法及滑坡预警方法。其中，冰碛土滑坡致灾情景数据库构建方法，包括：获取待预警区域中各冰碛土的物源数据和物理强度指标；将各冰碛土的物源数据、物理强度指标，以及多个第一降雨数据，输入至预构建的滑坡运动模型中，模拟各冰碛土的灾害运动数据，滑坡运动模型通过流体力学的浅水方程来描述冰碛土的动态过程；根据各第一降雨数据，以及各灾害运动数据，建立冰碛土滑坡致灾情景数据库。通过本发明，解决冰碛土滑坡危害范围计算效率低导致的预警时间不足的困境，实现基于实时监测的降雨数据对未来冰碛土滑坡的快速动态监测预警，对避免冰碛土灾害损失有重要意义。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108698193A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780003705.0
申请日：2017-09-13
Applicant: 清华大学 , 天津华海清科机电科技有限公司
CPC classification number: B24B37/10 , B24B37/30 , B24B37/34 , B24B41/00 , B24B41/02 , B24B41/06 , B24B55/06 , H01L21/67
Abstract: 一种化学机械抛光系统，包括：前端模块(101)，所述前端模块用于存储和/或检测晶圆；多个抛光单元(102，103，104，105)，多个所述抛光单元并排设置，且至少一个邻近所述前端模块；抛光机械手(107，109)，所述抛光机械手设在多个所述抛光单元之间用以传递晶圆；后清洗单元(108，110)，所述后清洗单元与所述抛光单元和所述前端模块均相连，且设置为清洗时晶圆纵置；中转机械手(408)，所述中转机械手用于将晶圆在所述抛光单元与所述后清洗单元之间顺次传递。化学机械抛光系统生产效率高，工艺流程更加灵活，清洗效果更好，且后清洗单元的体积小，结构紧凑。
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公开(公告)号：CN117007768A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202310728354.7
申请日：2023-06-19
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种冰碛土滑坡侵蚀试验模拟装置及方法，一种冰碛土滑坡侵蚀试验模拟装置包括：试验舱、多段式槽体和温度控制模组。在试验舱内设置多段式槽体，多段式槽体用于模拟冰碛土滑坡侵蚀的运动状态，通过温度传感器监测试验舱内的温度，并通过温度控制器实时控制试验舱内的温度，使得冰碛土在预设的恒定温度条件下实现滑坡侵蚀模拟试验，此外又可以实现温度周期变化条件下的冰碛土滑坡侵蚀试验，可更好地模拟自然界中冰川区冰碛土滑坡的孕灾环境，实现冰碛土滑坡运动的定量化研究。
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公开(公告)号：CN208368479U
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201821120550.7
申请日：2018-07-13
Applicant: 清华大学 , 天津华海清科机电科技有限公司
Inventor： 许振杰 , 王剑 , 王国栋 , 陈映松 , 王同庆 , 赵德文 , 沈攀 , 郭振宇 , 李昆 , 路新春 , 裴召辉 , 贾弘源 , 郑家旺 , 庞伶伶 , 刘卫国 , 王春龙 , 韩宏飞 , 甄辉 , 时亚秋
IPC: H01L21/67
Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆加工设备，晶圆加工设备包括：晶圆缓存模块和两个晶圆加工系统，两个晶圆加工系统相对设置且可独立工作，每个晶圆加工系统包括：抛光单元、第一机械手、传输单元、第二机械手和清洗单元，抛光单元和清洗单元相邻设置，清洗单元邻近晶圆缓存模块，第一机械手在晶圆缓存模块和传输单元之间以及传输单元和清洗单元之间运动，传输单元在第一机械手和第二机械手之间传输，第二机械手用于为抛光单元传输晶圆。由此，通过晶圆缓存模块和两个晶圆加工系统配合，两个晶圆加工系统能够独立工作，互不影响，可以提高生产效率，并且，该晶圆加工设备的工艺更灵活，生产出的晶圆适应性更强。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209045492U
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201821698430.5
申请日：2018-10-19
Applicant: 清华大学 , 天津华海清科机电科技有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/673
Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆缓存装置及后处理单元，晶圆缓存装置包括：壳体和支撑结构，所述壳体内设置有缓存空间且所述壳体上设置有与所述缓存空间连通的开口，所述支撑结构设置在所述缓存空间内且适于支撑晶圆。根据本实用新型的晶圆缓存装置可以稳定地存放晶圆，提高晶圆生产线的加工效率，有效地保护晶圆。
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公开(公告)号：CN206672910U
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201621085830.X
申请日：2016-09-27
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
IPC: H01L21/687
Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆支撑装置，晶圆支撑装置包括：基板；柔性组件，所述柔性组件为多个且连接在所述基板上；晶圆支撑件，所述晶圆支撑件连接在多个所述柔性组件上。在机械手取放晶圆时，柔性组件在感受到压力后可以变形，从而可以缓冲机械手传递来的冲击力，这样可以有效避免晶圆碎片，进而可以降低对机械手的要求，以及可以提高晶圆的取放安全性。
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