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公开(公告)号：CN110513394B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN201910792151.8
申请日：2019-08-26
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种真空气浮轴承、及其性能检测装置和检测方法，该气浮轴承包括至少一级抽气通道，采用本发明的多级抽气结构的真空气浮轴承，可以把提供给平面气浮轴承的气体抽排出真空腔体，将平面气浮轴承对真空度的影响减小到可接受的范围。该检测装置包括真空室；分别与真空室连接的多级抽气管路、抽真空管路、进气管路、氮气管路，真空室还连接一真空室真空计，该性能检测装置能够准确的评估该真空气浮轴承是否符合实际真空环境的使用需求，还可判断该真空气浮轴承工作时对真空环境的影响，此外还可以通过测试过程和测试结果指导真空气浮轴承的抽气系统的设计。
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公开(公告)号：CN110513394A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201910792151.8
申请日：2019-08-26
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种真空气浮轴承、及其性能检测装置和检测方法，该气浮轴承包括至少一级抽气通道，采用本发明的多级抽气结构的真空气浮轴承，可以把提供给平面气浮轴承的气体抽排出真空腔体，将平面气浮轴承对真空度的影响减小到可接受的范围。该检测装置包括真空室；分别与真空室连接的多级抽气管路、抽真空管路、进气管路、氮气管路，真空室还连接一真空室真空计，该性能检测装置能够准确的评估该真空气浮轴承是否符合实际真空环境的使用需求，还可判断该真空气浮轴承工作时对真空环境的影响，此外还可以通过测试过程和测试结果指导真空气浮轴承的抽气系统的设计。
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公开(公告)号：CN1088709A
公开(公告)日：1994-06-29
申请号：CN93120338.4
申请日：1993-12-04
Applicant: 清华大学
IPC: H01C7/02
Abstract: 本发明涉及一种多层并联叠片结构热敏电阻器的材料及制备工艺。热敏电阻片的材料可以是以BaTiO3为主成分，加入适量Pb(Li0.25Nb0.75)O3、Li2CO3和适量MnO作受主掺杂，最后加入SiO2和Bi2O3。将上述粉料磨细制成薄片，在薄片两面涂上电极，然后将奇数片PTC薄片相叠，端部涂上电极，最后在1150℃～1350℃下烧成热敏电阻器。也可以用聚合物和导电粒子相混合后，热压成薄片，在该薄片的二面粘贴金属铝箔作电极，整片复合PTC薄片相叠后热压成热敏电阻器。
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公开(公告)号：CN210859562U
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201921393672.8
申请日：2019-08-26
Applicant: 清华大学
Abstract: 本实用新型涉及一种真空气浮轴承及其性能检测装置，该气浮轴承包括至少一级抽气通道，采用本实用新型的多级抽气结构的真空气浮轴承，可以把提供给平面气浮轴承的气体抽排出真空腔体，将平面气浮轴承对真空度的影响减小到可接受的范围。该检测装置包括真空室；分别与真空室连接的多级抽气管路、抽真空管路、进气管路、氮气管路，真空室还连接一真空室真空计，该性能检测装置能够准确的评估该真空气浮轴承是否符合实际真空环境的使用需求，还可判断该真空气浮轴承工作时对真空环境的影响。
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