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公开(公告)号:CN101594360B
公开(公告)日:2012-07-25
申请号:CN200910088657.7
申请日:2009-07-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了局域网系统和维护局域网信息安全的方法,属于网络安全领域。该系统包括网络监控设备以及与其相连的安全终端、主控制服务器、公共/私有涉密资源服务器和防护服务器,网络监控设备监控数据的交换和转发;安全终端实施本地监控;主控制服务器验证身份,维护安全策略;公共涉密资源服务器监控对公共涉密资源的访问;私有涉密资源服务器监控对私有涉密资源的访问;防护服务器提供数据还原保护。该方法包括:安全终端输入认证信息和登录模式;主控制服务器验证用户的身份,如验证通过:由主控制服务器、网络监控设备、公共涉密资源服务器、私有涉密资源服务器、防护服务器和安全终端共同维护网络安全。本发明提高了网络访问的安全性。
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公开(公告)号:CN102306620B
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN201110256442.9
申请日:2011-09-01
Applicant: 清华大学
IPC: H01L21/00 , H01L21/268
Abstract: 本发明公开一种激光退火片台装置,包括:底座、炉壳、加热组件、隔热组件、托盘和卸片组件。炉壳内限定有炉腔,炉腔的上表面敞开,炉壳支撑在底座上;加热组件设在炉腔内;隔热组件设在加热组件与炉壳的内壁之间;托盘设在炉壳的顶面上且设有沿托盘轴向贯通的通孔;卸片组件设在底座上且位于炉壳与底座之间,卸片组件包括多个顶针和驱动组件,驱动组件用于驱动多个顶针沿上下方向移动以便每个顶针能够向上穿过对应的通孔向上伸出托盘的上表面。根据本发明的激光退火片台装置结构简单,对硅晶片加热均匀。在安放、卸载硅晶片时卸片组件起到辅助作用,使安放、卸载硅晶片更加方便。
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公开(公告)号:CN102306620A
公开(公告)日:2012-01-04
申请号:CN201110256442.9
申请日:2011-09-01
Applicant: 清华大学
IPC: H01L21/00 , H01L21/268
Abstract: 本发明公开一种激光退火片台装置,包括:底座、炉壳、加热组件、隔热组件、托盘和卸片组件。炉壳内限定有炉腔,炉腔的上表面敞开,炉壳支撑在底座上;加热组件设在炉腔内;隔热组件设在加热组件与炉壳的内壁之间;托盘设在炉壳的顶面上且设有沿托盘轴向贯通的通孔;卸片组件设在底座上且位于炉壳与底座之间,卸片组件包括多个顶针和驱动组件,驱动组件用于驱动多个顶针沿上下方向移动以便每个顶针能够向上穿过对应的通孔向上伸出托盘的上表面。根据本发明的激光退火片台装置结构简单,对硅晶片加热均匀。在安放、卸载硅晶片时卸片组件起到辅助作用,使安放、卸载硅晶片更加方便。
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公开(公告)号:CN101594360A
公开(公告)日:2009-12-02
申请号:CN200910088657.7
申请日:2009-07-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了局域网系统和维护局域网信息安全的方法,属于网络安全领域。该系统包括网络监控设备以及与其相连的安全终端、主控制服务器、公共/私有涉密资源服务器和防护服务器,网络监控设备监控数据的交换和转发;安全终端实施本地监控;主控制服务器验证身份,维护安全策略;公共涉密资源服务器监控对公共涉密资源的访问;私有涉密资源服务器监控对私有涉密资源的访问;防护服务器提供数据还原保护。该方法包括:安全终端输入认证信息和登录模式;主控制服务器验证用户的身份,如验证通过:由主控制服务器、网络监控设备、公共涉密资源服务器、私有涉密资源服务器、防护服务器和安全终端共同维护网络安全。本发明提高了网络访问的安全性。
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