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公开(公告)号：CN107768461A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201610686153.5
申请日：2016-08-18
Applicant: 清华大学
IPC: H01L31/0352 , H01L31/102
CPC classification number: H01L31/035236 , H01L31/102
Abstract: 本发明实施例公开了一种内嵌重掺杂光栅的半导体红外探测器。该半导体红外探测器包括：衬底；在所述衬底上依次生长的下电极层、多量子阱有源层、以及上电极层；在所述衬底上还生长有重掺杂光栅层，所述重掺杂光栅层生长在所述上电极层和所述多量子阱有源层之间，或者所述多量子阱有源层和所述下电极层之间；在所述衬底上还生长有过渡层，所述过渡层生长在所述重掺杂光栅层和所述多量子阱有源层之间。本发明实施例通过在多量子阱有源层和下电极层之间，或者多量子阱有源层和上电极层之间设置重掺杂光栅层，以使得入射光与重掺杂光栅层中的电子相互作用并在光栅层界面形成等离激元，从而在多量子阱有源层内形成局域增强的光场，进而提高探测器有源区的吸收效率。
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公开(公告)号：CN111220965B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010067982.1
申请日：2020-01-20
Applicant: 清华大学
IPC: G01S7/481
Abstract: 本公开提供一种多光束表面发射波导相控阵，包括：输入波导、分束器、一维相位调制器阵列、分束器阵列、波导阵列以及光栅辐射天线阵列，其中一维相位调制器阵列中的各相位调制器分别与所述分束器各出光路相连，对由分束器输出的光进行相位调制；分束器阵列将经过相位调制器后的每路光分成具有一系列具有设定幅度和相位的波导模式；波导阵列用于传输具有设定分束比的二级分束器产生的一系列具有设定幅度和相位的波导模式；光栅辐射天线阵列将波导阵列中的光耦合到自由空间中，输出二维分布光束阵列。本公开通过多光束表面发射波导相控阵，通过波导单元和光栅辐射天线，将片上波导中的激光耦合为空间的宽覆盖二维光束出射。
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公开(公告)号：CN107768461B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201610686153.5
申请日：2016-08-18
Applicant: 清华大学
IPC: H01L31/0352 , H01L31/102
Abstract: 本发明实施例公开了一种内嵌重掺杂光栅的半导体红外探测器。该半导体红外探测器包括：衬底；在所述衬底上依次生长的下电极层、多量子阱有源层、以及上电极层；在所述衬底上还生长有重掺杂光栅层，所述重掺杂光栅层生长在所述上电极层和所述多量子阱有源层之间，或者所述多量子阱有源层和所述下电极层之间；在所述衬底上还生长有过渡层，所述过渡层生长在所述重掺杂光栅层和所述多量子阱有源层之间。本发明实施例通过在多量子阱有源层和下电极层之间，或者多量子阱有源层和上电极层之间设置重掺杂光栅层，以使得入射光与重掺杂光栅层中的电子相互作用并在光栅层界面形成等离激元，从而在多量子阱有源层内形成局域增强的光场，进而提高探测器有源区的吸收效率。
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公开(公告)号：CN111220965A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN202010067982.1
申请日：2020-01-20
Applicant: 清华大学
IPC: G01S7/481
Abstract: 本公开提供一种多光束表面发射波导相控阵，包括：输入波导、分束器、一维相位调制器阵列、分束器阵列、波导阵列以及光栅辐射天线阵列，其中一维相位调制器阵列中的各相位调制器分别与所述分束器各出光路相连，对由分束器输出的光进行相位调制；分束器阵列将经过相位调制器后的每路光分成具有一系列具有设定幅度和相位的波导模式；波导阵列用于传输具有设定分束比的二级分束器产生的一系列具有设定幅度和相位的波导模式；光栅辐射天线阵列将波导阵列中的光耦合到自由空间中，输出二维分布光束阵列。本公开通过多光束表面发射波导相控阵，通过波导单元和光栅辐射天线，将片上波导中的激光耦合为空间的宽覆盖二维光束出射。
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公开(公告)号：CN109507688A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201710832797.5
申请日：2017-09-15
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供一种激光发射装置、激光雷达探测装置及方法，所述激光发射装置包括：发射光学系统、相位预控制器和二维达曼光栅分束器；发射光学系统，用于对激光进行准直扩束；相位预控制器，用于对经过准直扩束之后的激光进行相位预调；二维达曼光栅分束器，用于对经过相位预调之后的激光进行分束，以获取二维排布的激光束阵。本发明提供的激光发射装置、激光雷达探测装置及方法，通过将相位预控制器设置于发射光学系统和二维达曼光栅分束器之间，使得二维排布的激光束阵照射在目标对象上的投影产生微小的移动，以实现对目标对象更为全面、精细的扫描。并且，该种激光发射装置以及激光雷达探测装置具有结构简单、紧凑和成本低等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109270550A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811059681.3
申请日：2018-09-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种扫描光束发射器件、激光雷达装置及探测方法。其中，扫描光束发射器件，包括：输入波导；分束波导阵列，与输入波导相连，将输入波导中的光均匀地等分成多路；一维光调制器阵列，与分束波导阵列相连，对分束波导阵列中的多路光进行相位调制；以及耦合分束光栅阵列，与一维光调制器阵列相连，将分束波导阵列中的光耦合到自由空间中，输出二维分布且强度均匀的光束阵列，且在一维光调制器阵列的调制下，该光束阵列可沿一维方向扫描。该扫描光束发射器件的控制线路简单、集成度高，且有利于增加激光雷达的空间方位分辨率。
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公开(公告)号：CN106680806A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201611052721.2
申请日：2016-11-24
Applicant: 清华大学
CPC classification number: G01S13/87 , G01S13/723 , G06K9/6288
Abstract: 本发明属于多雷达组网的点迹融合技术领域，尤其涉及一种多雷达点迹融合方法，包括：(1)接收多个雷达测量数据，进行空间配准，统一测量坐标系；(2)判断是否都包含目标多普勒速度信息，是则转(3)，否则转(6)；(3)时间配准；(4)进行点迹相关、点迹融合，得到融合后的点迹信息；(5)利用融合后的点迹信息与已形成的航迹进行航迹关联、滤波更新，转(7)；(6)将数据按时间排序，利用排序后的数据依次对已形成的航迹进行航迹关联、滤波更新；(7)利用没有参与航迹关联的雷达数据进行航迹起始；(8)输出航迹结果。本发明提出的上述多雷达点迹融合方法有利于提高目标的发现距离、提高跟踪精度及机动目标的跟踪性能。
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公开(公告)号：CN108614275A
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201810376929.2
申请日：2018-04-24
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种“伪”二维扫描的激光束阵的获取装置及方法、激光雷达扫描探测装置及方法，其中，该获取装置包括：一维光束扫描系统，对入射的一束激光进行一维方向上的偏转，所述一维方向指一维光束扫描系统的扫描方向；以及二维达曼光栅分束器，位于一维光束扫描系统之后，对偏转后的激光进行分束，得到二维方向上排布的光斑点阵；通过调节一维光束扫描系统使得光斑点阵在一维方向上移动，获取“伪”二维扫描的激光束阵。通过将一维光束扫描系统与二维达曼光栅分束器结合，能够使得激光的光斑点阵在一维方向上移动，实现目标平面的“伪”二维扫描，从而实现后续对目标全面、精细的扫描。
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公开(公告)号：CN109270550B
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN201811059681.3
申请日：2018-09-11
Applicant: 清华大学
IPC: G01S17/894 , G01S7/484
Abstract: 本发明公开了一种扫描光束发射器件、激光雷达装置及探测方法。其中，扫描光束发射器件，包括：输入波导；分束波导阵列，与输入波导相连，将输入波导中的光均匀地等分成多路；一维光调制器阵列，与分束波导阵列相连，对分束波导阵列中的多路光进行相位调制；以及耦合分束光栅阵列，与一维光调制器阵列相连，将分束波导阵列中的光耦合到自由空间中，输出二维分布且强度均匀的光束阵列，且在一维光调制器阵列的调制下，该光束阵列可沿一维方向扫描。该扫描光束发射器件的控制线路简单、集成度高，且有利于增加激光雷达的空间方位分辨率。
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公开(公告)号：CN109507688B
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN201710832797.5
申请日：2017-09-15
Applicant: 清华大学
IPC: G01S17/894 , G01S7/484
Abstract: 本发明提供一种激光发射装置、激光雷达探测装置及方法，所述激光发射装置包括：发射光学系统、相位预控制器和二维达曼光栅分束器；发射光学系统，用于对激光进行准直扩束；相位预控制器，用于对经过准直扩束之后的激光进行相位预调；二维达曼光栅分束器，用于对经过相位预调之后的激光进行分束，以获取二维排布的激光束阵。本发明提供的激光发射装置、激光雷达探测装置及方法，通过将相位预控制器设置于发射光学系统和二维达曼光栅分束器之间，使得二维排布的激光束阵照射在目标对象上的投影产生微小的移动，以实现对目标对象更为全面、精细的扫描。并且，该种激光发射装置以及激光雷达探测装置具有结构简单、紧凑和成本低等优点。
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