公开(公告)号：CN1110122C

公开(公告)日：2003-05-28

申请号：CN99107784.9

申请日：1999-05-28

Applicant: 清华大学

Inventor： 李勇 ,  严晓敏 ,  吴鹰飞 ,  周兆英

IPC: H02N2/02

Abstract: 本发明涉及一种微小型一体化平面精密运动机构及其装置，包括运动台面、柔性铰链杠杆机构、箝位件和固定底板。柔性铰链杠杆机构由压电/电致伸缩致动件、中心联接件、四个支撑杠杆、四个边框杠杆与四个边框架联接件通过柔性铰链连接而成。该机构由于减少驱动件的数量有利于驱动控制，适合点到点的微进给定位。对称结构有利于保证机构沿X、Y轴运动的方向性。结构简单紧凑易于微小型化，不仅可用于XYθ超精密工作台，亦可用于微小型平动机器人。

公开(公告)号：CN1235405A

公开(公告)日：1999-11-17

申请号：CN99107784.9

申请日：1999-05-28

Applicant: 清华大学

Inventor： 李勇 ,  严晓敏 ,  吴鹰飞 ,  周兆英

IPC: H02N2/02 ,  H02N2/04

Abstract: 本发明涉及一种微小型一体化平面精密运动机构及其装置,包括运动台面、柔性铰链杠杆机构、箝位件和固定底板。柔性铰链杠杆机构由压电/电致伸缩致动件、中心联接件、四个支撑杠杆、四个边框杠杆与四个边框架联接件通过柔性铰链连接而成。该机构由于减少驱动件的数量有利于驱动控制,适合点到点的微进给定位。对称结构有利于保证机构沿X、Y轴运动的方向性。结构简单紧凑易于微小型化,不仅可用于XYθ超精密工作台,亦可用于微小型平动机器人。