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公开(公告)号:CN119374541A
公开(公告)日:2025-01-28
申请号:CN202411503267.2
申请日:2024-10-25
Applicant: 海宁集成电路与先进制造研究院
Abstract: 本申请提供一种用于机床设备检测的校准平台,包括检测台、移动组件和清扫组件,其中,检测台包括底板和设置在底板上的加工台;移动组件设置在底板上,沿加工台的长度方向移动;清扫组件,通过升降组件设置在移动组件上,并沿加工台的高度方向升降,以使清扫组件位于加工台的上方对加工台进行清扫。升降组件可以带动清扫组件上下移动,从而可以使清扫组件适应不同高度的加工台,移动组件可以带动清扫组件沿加工台的长度方向移动,能够使清扫组件对加工台的端面进行全面清扫,通过升降组件设置在移动组件上,两者配合能够带动清扫组件对不同大小的加工台进行全面清扫,提高加工台的工作精度。