公开(公告)号：CN115210842A

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202180017793.6

申请日：2021-01-12

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 川上博己 ,  影山一巳 ,  长谷川义人

IPC: H01J35/08 ,  H01J35/12 ,  H01J35/16 ,  H01J35/18

Abstract: 本发明的X射线产生装置(1)具备：电子枪(2)，其出射电子束(EB)；目标部(K)，其以因电子束(EB)的入射而产生X射线(L)的多个长条的目标(22)为相互平行的方式配置；框体(4)，其容纳电子枪(2)及目标部(K)；及X射线出射窗(5)，其设置于框体(4)，使在目标部(K)产生的X射线(L)出射至框体(4)的外部，目标部(K)中，目标(22)配置成以相对于电子束(EB)的出射轴的规定的倾斜角度(θ1)而与电子枪(2)相对，X射线出射窗(5)以在可透过沿与目标部(K)垂直的方向产生的X射线(L)的位置，相对于目标部(K)以规定的倾斜角度(θ2)相对的方式配置。

公开(公告)号：CN115398589B

公开(公告)日：2025-04-29

申请号：CN202180028052.8

申请日：2021-01-28

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 原口大 ,  长谷川义人

IPC: H01J19/12 ,  G21K5/00 ,  G21K5/02 ,  G21K5/04 ,  H01J1/13 ,  H01J1/18 ,  H01J1/22 ,  H01J19/16 ,  H01J19/20 ,  H01J35/00 ,  H01J35/06 ,  H05G1/00

Abstract: 电子束产生源具有：电子发射部，其在所期望的轴线上延伸，并发射电子；支承部，其与向电子发射部供电的供电装置电连接；张力保持部，其连接在电子发射部的一个端部与支承部之间，通过按压力或拉伸力来保持电子发射部的张力；和供电路径部，其一个端部与支承部电连接，并且另一个端部与电子发射部的一个端部电连接。张力保持部的电阻值比供电路径部的电阻值大。

公开(公告)号：CN115398588A

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202180028045.8

申请日：2021-01-28

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 原口大 ,  长谷川义人

IPC: H01J19/12 ,  H01J35/00 ,  H01J35/06 ,  G21K5/00 ,  G21K5/02 ,  G21K5/04 ,  H05G1/00 ,  H01J1/18 ,  H01J1/22 ,  H01J19/16

Abstract: 电子束产生源包括：电子发射部，其在所期望的轴线上延伸，并发射电子；可动部，其与电子发射部的一个端部连结；支承部，其以可动部能够沿着轴线移动的方式支承可动部；和张力保持部，其通过对可动部施加按压力或拉伸力来保持电子发射部的张力。可动部和张力保持部分别配置在轴线上。

公开(公告)号：CN115398589A

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202180028052.8

申请日：2021-01-28

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 原口大 ,  长谷川义人

IPC: H01J19/12 ,  G21K5/00 ,  G21K5/02 ,  G21K5/04 ,  H01J1/13 ,  H01J1/18 ,  H01J1/22 ,  H01J19/16 ,  H01J19/20 ,  H01J35/00 ,  H01J35/06 ,  H05G1/00

Abstract: 电子束产生源具有：电子发射部，其在所期望的轴线上延伸，并发射电子；支承部，其与向电子发射部供电的供电装置电连接；张力保持部，其连接在电子发射部的一个端部与支承部之间，通过按压力或拉伸力来保持电子发射部的张力；和供电路径部，其一个端部与支承部电连接，并且另一个端部与电子发射部的一个端部电连接。张力保持部的电阻值比供电路径部的电阻值大。