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公开(公告)号:CN115398589A
公开(公告)日:2022-11-25
申请号:CN202180028052.8
申请日:2021-01-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J19/12 , G21K5/00 , G21K5/02 , G21K5/04 , H01J1/13 , H01J1/18 , H01J1/22 , H01J19/16 , H01J19/20 , H01J35/00 , H01J35/06 , H05G1/00
Abstract: 电子束产生源具有:电子发射部,其在所期望的轴线上延伸,并发射电子;支承部,其与向电子发射部供电的供电装置电连接;张力保持部,其连接在电子发射部的一个端部与支承部之间,通过按压力或拉伸力来保持电子发射部的张力;和供电路径部,其一个端部与支承部电连接,并且另一个端部与电子发射部的一个端部电连接。张力保持部的电阻值比供电路径部的电阻值大。
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公开(公告)号:CN115398589B
公开(公告)日:2025-04-29
申请号:CN202180028052.8
申请日:2021-01-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J19/12 , G21K5/00 , G21K5/02 , G21K5/04 , H01J1/13 , H01J1/18 , H01J1/22 , H01J19/16 , H01J19/20 , H01J35/00 , H01J35/06 , H05G1/00
Abstract: 电子束产生源具有:电子发射部,其在所期望的轴线上延伸,并发射电子;支承部,其与向电子发射部供电的供电装置电连接;张力保持部,其连接在电子发射部的一个端部与支承部之间,通过按压力或拉伸力来保持电子发射部的张力;和供电路径部,其一个端部与支承部电连接,并且另一个端部与电子发射部的一个端部电连接。张力保持部的电阻值比供电路径部的电阻值大。
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公开(公告)号:CN115398588A
公开(公告)日:2022-11-25
申请号:CN202180028045.8
申请日:2021-01-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01J19/12 , H01J35/00 , H01J35/06 , G21K5/00 , G21K5/02 , G21K5/04 , H05G1/00 , H01J1/18 , H01J1/22 , H01J19/16
Abstract: 电子束产生源包括:电子发射部,其在所期望的轴线上延伸,并发射电子;可动部,其与电子发射部的一个端部连结;支承部,其以可动部能够沿着轴线移动的方式支承可动部;和张力保持部,其通过对可动部施加按压力或拉伸力来保持电子发射部的张力。可动部和张力保持部分别配置在轴线上。
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