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发明公开
X射线产生装置审中-实审

公开(公告)号：CN115210842A

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202180017793.6

申请日：2021-01-12

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 川上博己 , 影山一巳 , 长谷川义人

IPC: H01J35/08 , H01J35/12 , H01J35/16 , H01J35/18

Abstract: 本发明的X射线产生装置(1)具备：电子枪(2)，其出射电子束(EB)；目标部(K)，其以因电子束(EB)的入射而产生X射线(L)的多个长条的目标(22)为相互平行的方式配置；框体(4)，其容纳电子枪(2)及目标部(K)；及X射线出射窗(5)，其设置于框体(4)，使在目标部(K)产生的X射线(L)出射至框体(4)的外部，目标部(K)中，目标(22)配置成以相对于电子束(EB)的出射轴的规定的倾斜角度(θ1)而与电子枪(2)相对，X射线出射窗(5)以在可透过沿与目标部(K)垂直的方向产生的X射线(L)的位置，相对于目标部(K)以规定的倾斜角度(θ2)相对的方式配置。

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