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公开(公告)号：CN102271859B
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN200980153474.7
申请日：2009-12-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/53 , B23K26/03 , B23K26/064 , B23K26/073 , H01L21/301
Abstract: 本发明涉及激光加工装置。柱面透镜(4)使激光(L1)在Y轴方向(即YZ平面内)上发散，在X轴方向(即在ZX平面内)上不发散且不收束。而且，物镜(5)使从柱面透镜(4)射出的激光(L1)在Y轴方向上收束在点(P1)，在X轴方向上收束在点(P2)。由此，激光(L1)的剖面形状，在点(P1)成为在X轴方向上延伸的长条形状，在点(P2)成为在Y轴方向上延伸的长条形状。因此，通过使点(P1)位于加工对象物(S)的外部，使点(P2)位于加工对象物(S)的内部，从而在加工对象物(S)的内部的点(P2)所位于的部分，可以形成在Y轴方向上延伸的长条形状的加工区域。
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公开(公告)号：CN102177624A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200980140176.4
申请日：2009-09-14
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B17/004 , G02B27/0944 , G02B27/0977 , H01S3/005
Abstract: 本发明提供一种光学元件、激光振荡装置和激光放大装置。本发明的光学元件(20A)由具有光透过性的介质构成，且具有比空气的折射率大的折射率，使入射的激光在壁面(20a)多次反射并在内部传播，该光学元件(20A)具备：入射窗口(21)，位于壁面(20a)的一部分，用于使激光入射；出射窗口(22)，位于壁面(20a)的一部分，用于使在内部传播的激光出射；以及波长分散补偿部(31、32)，一体地位于介质的一部分，通过使激光至少经两次透过或反射来补偿波长分散。
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公开(公告)号：CN102271857B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN200980153486.X
申请日：2009-12-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/38 , B23K26/064 , B23K26/073 , B23K26/08
Abstract: 本发明涉及激光加工装置。柱面透镜(4)使激光(L1)在Y轴方向(即YZ平面内)上发散，在X轴方向(即ZX平面内)上不发散且不收束。而且，物镜(5)使从柱面透镜(4)射出的激光(L1)在Y轴方向上收束在点P1，在X轴方向上收束在点P2。进一步，一对刀缘(13)在Y轴方向上调节入射至物镜(5)的激光(L1)的发散角θ。由此，激光(L1)的剖面形状，在点P2成为在Y轴方向上延伸的长条形状，Y轴方向的最大长度被调节。因此，通过使点P2位于加工对象物(S)的表面，可以将在Y轴方向上延伸所期望的长度的长条形状的加工区域形成于加工对象物(S)的表面。
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公开(公告)号：CN114868314A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202080089595.6
申请日：2020-11-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01S3/10 , B23K26/0622 , H01S3/00
Abstract: 激光加工用光源具备：激光振荡部，其出射第1脉冲光列；第1光产生部，其通过对第1脉冲光列实施分波、多个光路上的传播及合波，而产生包含多个第2脉冲光列的第3脉冲光列；第2光产生部，其在第3脉冲光列中，自多个第2脉冲光列选择至少1个第2脉冲光列，而产生包含至少1个第2脉冲光列的第4脉冲光列；及控制部，其控制第2光产生部；控制部将用于在第3脉冲光列中自多个第2脉冲光列选择至少1个第2脉冲光列的控制信号发送至第2光产生部。
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公开(公告)号：CN104641286B
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201380048513.3
申请日：2013-09-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02F1/37 , G02B5/3091 , G02F1/133553 , G02F1/1337 , G02F1/136277 , G02F1/292 , G02F1/3534 , G02F2203/18 , G03F7/70291
Abstract: 本发明的波长转换型空间光调制装置具备：空间光调制部(10)，具有相位调制面(10a)，其输入比紫外区更长的波长区的激光(L1)，在二维排列的多个区域的各个对激光(L1)的相位进行调制并产生调制激光(L2)；波长转换部(20)，具有接收从空间光调制部(10)输出的调制激光(L2)的光入射面，且用以将调制激光(L2)的波长转换成紫外区的波长；及像转移光学系统(30)，将空间光调制部(10)的相位调制面和波长转换部(20)的光入射面，以彼此光学上成为共轭系统的方式进行结合。由此，能输出空间上经相位调制的紫外线激光，且实现能减少对空间光调制部的影响的波长转换型空间光调制装置。
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公开(公告)号：CN102271857A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200980153486.X
申请日：2009-12-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/04 , B23K26/03 , B23K26/06 , B23K26/073 , B23K26/08
Abstract: 本发明涉及激光加工装置。柱面透镜(4)使激光(L1)在Y轴方向(即YZ平面内)上发散，在X轴方向(即ZX平面内)上不发散且不收束。而且，物镜(5)使从柱面透镜(4)射出的激光(L1)在Y轴方向上收束在点P1，在X轴方向上收束在点P2。进一步，一对刀缘(13)在Y轴方向上调节入射至物镜(5)的激光(L1)的发散角θ。由此，激光(L1)的剖面形状，在点P2成为在Y轴方向上延伸的长条形状，Y轴方向的最大长度被调节。因此，通过使点P2位于加工对象物(S)的表面，可以将在Y轴方向上延伸所期望的长度的长条形状的加工区域形成于加工对象物(S)的表面。
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公开(公告)号：CN104641286A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201380048513.3
申请日：2013-09-03
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02F1/37 , G02B5/3091 , G02F1/133553 , G02F1/1337 , G02F1/136277 , G02F1/292 , G02F1/3534 , G02F2203/18 , G03F7/70291 , G02F1/1333 , G02F1/353 , G02F2203/12
Abstract: 本发明的波长转换型空间光调制装置具备：空间光调制部(10)，具有相位调制面(10a)，其输入比紫外区更长的波长区的激光(L1)，在二维排列的多个区域的各个对激光(L1)的相位进行调制并产生调制激光(L2)；波长转换部(20)，具有接收从空间光调制部(10)输出的调制激光(L2)的光入射面，且用以将调制激光(L2)的波长转换成紫外区的波长；及像转移光学系统(30)，将空间光调制部(10)的相位调制面和波长转换部(20)的光入射面，以彼此光学上成为共轭系统的方式进行结合。由此，能输出空间上经相位调制的紫外线激光，且实现能减少对空间光调制部的影响的波长转换型空间光调制装置。
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公开(公告)号：CN103779781A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410040066.3
申请日：2007-07-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: H01S3/2333 , H01S3/0057 , H01S3/027 , H01S3/0407 , H01S3/042 , H01S3/0606 , H01S3/0621 , H01S3/0623 , H01S3/08095 , H01S3/083 , H01S3/09415 , H01S3/2316 , H01S3/2325 , H01S3/235
Abstract: 本发明提供一种小型化、高输出化以及稳定化容易的光放大装置。光放大装置（1A）具备光放大部（10A）和能量供给部（30）。光放大部（10A）包括光放大介质（11）和透明介质（12）。能量供给部（30）是向光放大介质（11）供给激发能量（例如激发光）的装置。光放大介质（11）接受该激发光的供给将光放大并将其输出。并且，透明介质（12）是使光放大介质（11）中的被放大光多次通过的介质。透明介质（12），例如能够使被放大光在其内部曲折地传播。
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公开(公告)号：CN102271859A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN200980153474.7
申请日：2009-12-04
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/38 , B23K26/03 , B23K26/06 , B23K26/073 , B23K26/08 , B23K26/40 , H01L21/301
Abstract: 本发明涉及激光加工装置。柱面透镜(4)使激光(L1)在Y轴方向(即YZ平面内)上发散，在X轴方向(即在ZX平面内)上不发散且不收束。而且，物镜(5)使从柱面透镜(4)射出的激光(L1)在Y轴方向上收束在点(P1)，在X轴方向上收束在点(P2)。由此，激光(L1)的剖面形状，在点(P1)成为在X轴方向上延伸的长条形状，在点(P2)成为在Y轴方向上延伸的长条形状。因此，通过使点(P1)位于加工对象物(S)的外部，使点(P2)位于加工对象物(S)的内部，从而在加工对象物(S)的内部的点(P2)所位于的部分，可以形成在Y轴方向上延伸的长条形状的加工区域。
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公开(公告)号：CN101490914A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200780026392.7
申请日：2007-07-11
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01S3/10
CPC classification number: H01S3/2333 , H01S3/0057 , H01S3/027 , H01S3/0407 , H01S3/042 , H01S3/0606 , H01S3/0621 , H01S3/0623 , H01S3/08095 , H01S3/083 , H01S3/09415 , H01S3/2316 , H01S3/2325 , H01S3/235
Abstract: 提供一种小型化、高输出化以及稳定化容易的光放大装置。光放大装置(1A)具备光放大部(10A)和能量供给部(30)。光放大部(10A)包括光放大介质(11)和透明介质(12)。能量供给部(30)是向光放大介质(11)供给激发能量(例如激发光)的装置。光放大介质(11)接受该激发光的供给将光放大并将其输出。并且，透明介质(12)是使光放大介质(11)中的被放大光多次通过的介质。透明介质(12)，例如能够使被放大光在其内部曲折地传播。
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